如圖10所示,，保管部220(或者交接端口330)在,、第二裝置區(qū)域ta1,、ta2中也可以配置于,、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方,。根據(jù)該結(jié)構(gòu),，能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用,。此外,，針對該保管部220(或者交接端口230),，,、第二起重機(jī)40a,、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。但是,，在該結(jié)構(gòu)中,，高架搬運(yùn)車50無法針對裝載端口lp直接進(jìn)行物品2的交接。另一方面,，,、第二起重機(jī)40a,、40b能夠針對裝載端口lp進(jìn)行物品2的交接。另外,，如圖10所示,，也可以在、第二處理裝置tl1,、tl2與,、第二處理裝置tl1、tl2之間設(shè)置保管架80,。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個保管部320,，并在上表面80a設(shè)置有交接端口330。根據(jù)該結(jié)構(gòu),，能夠?qū)⒃?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用,。針對保管架80的保管部320,，、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接,。另外,，針對保管架80的上表面80a的交接端口330，,、第二起重機(jī)40a,、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,，,、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2,。此外,，在圖10中，示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子,，但也可以代替該結(jié)構(gòu),。惠山區(qū)專業(yè)商鋪搬運(yùn)報價哪家好,，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司,。江蘇品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報價

    在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口,、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1),。文獻(xiàn)1:日本第5880693號公報文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口,、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛,，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地,，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,，存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng),，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題,。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用,，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法,。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置,；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,。江蘇品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報價新吳區(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司,。

    但物品2也可是foup以外的物品,。另外，搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,，物品2也可以是由設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品,。如圖1所示，搬運(yùn)系統(tǒng)100具有：存儲庫10,、高架搬運(yùn)車軌道40,、高架搬運(yùn)車50、以及第二連結(jié)軌道60a,、60b以及控制裝置80,。存儲庫10被配置于存儲庫區(qū)域10a以及其它存儲庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b內(nèi)。圖2是表示存儲庫區(qū)域10a的一個例子的圖,。如圖2所示,，存儲庫10具備：保管部11、交接口12,、起重機(jī)軌道20以及懸掛式起重機(jī)30,。保管部11在上下方向被設(shè)置多層，并且在沿著懸掛式起重機(jī)30的移動方向的左右方向排列的狀態(tài)下保管物品2,。保管部11使用能夠載置物品2的貨架部等,。也可在載置物品2的貨架部設(shè)置有進(jìn)入到被設(shè)置于物品2的底面的槽部的多個銷。該銷進(jìn)入到物品2的槽部,，由此物品2被定位于貨架部,。多個保管部11在各存儲庫區(qū)域10a、10b中被設(shè)置于三個位置,，但并不限于該結(jié)構(gòu),，保管部11的數(shù)量是任意的。交接口12作為在與高架搬運(yùn)車50等之間進(jìn)行物品2的交接的場所設(shè)置,。交接口12在存儲庫區(qū)域10a中設(shè)置多個,。起重機(jī)軌道20沿著保管部11以及交接口12設(shè)置。

    保持部53通過把持物品2的凸緣部2a而懸掛保持物品2,。保持部53例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部53a的卡盤,，使爪部53a侵入至物品2的凸緣部的下方，使保持部53上升,，由此保持物品2,。保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅(qū)動部54懸掛且以能夠擺動的狀態(tài)升降,。保持部53可以與上述的,、第二起重機(jī)40a、40b的保持部49是同一結(jié)構(gòu),，也可以是不同結(jié)構(gòu),。升降驅(qū)動部54例如是升降機(jī)，通過抽出懸掛部件53b而使保持部53下降,，通過卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升,。升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制，使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升,。另外,，升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制，將保持部53保持于目標(biāo)高度,。橫向伸出機(jī)構(gòu)55例如具有在上下方向重疊配置的可動板,。可動板能夠向行駛部51的行駛方向的側(cè)方(與行駛方向正交的方向)移動,。在可動板安裝有轉(zhuǎn)動部和升降驅(qū)動部54,。主體部52具有引導(dǎo)橫向伸出機(jī)構(gòu)55的未圖示的引導(dǎo)件、和驅(qū)動橫向伸出機(jī)構(gòu)55的未圖示的驅(qū)動部等,。橫向伸出機(jī)構(gòu)55通過來自電動馬達(dá)等驅(qū)動部的驅(qū)動力,，使升降驅(qū)動部54和保持部53沿著引導(dǎo)件，在突出位置與收納位置之間移動,。突出位置是從主體部52向側(cè)方突出的位置,。收納位置是收納于主體部52內(nèi)的位置,。濱湖區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司,。

    其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置,；區(qū)段間頂棚軌道，其將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié),；保管部和第二保管部,，它們在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層，并用于保管物品,；交接端口和第二交接端口,，它們設(shè)置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方；起重機(jī),，其具備沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的行駛部,、從行駛部垂下的桅桿、以及被桅桿引導(dǎo)而升降的移送部,，并且在處理裝置的裝載端口,、保管部、以及交接端口之間搬運(yùn)物品,；第二起重機(jī),，其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿,、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部,，并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部,、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品,；以及高架搬運(yùn)車，其具備行駛部,、用于保持物品的保持部,、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動部、以及使升降驅(qū)動部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu),，并且在交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品,，上述行駛部沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛,。另外，可以起重機(jī)是懸掛式起重機(jī),。另外,。錫山區(qū)公司商鋪搬運(yùn)報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司,。無錫商鋪搬運(yùn)收費(fèi)

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    第二機(jī)架間軌道44與機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42各自的一方的端部連結(jié)。機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44分別使直線狀的兩根軌道并行地延伸,，在兩根軌道之間設(shè)置有多個連接軌道,。高架搬運(yùn)車50沿著高架搬運(yùn)車軌道40移動，將物品2在處理裝置tl的裝載端口lp,、與存儲庫區(qū)域10a、10b的交接口12之間進(jìn)行物品2的交接,。另外,，高架搬運(yùn)車50除了裝載端口lp以及交接口12之外，還在與沿著高架搬運(yùn)車軌道40(外繞軌道41a,、42a等)設(shè)置的暫存區(qū)st之間進(jìn)行物品2的移載,。處理裝置tl例如是曝光裝置、涂布機(jī)顯影載置,、制膜裝置或者蝕刻裝置等,，對被收納于搬運(yùn)系統(tǒng)100搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實施各種處理。圖5是表示高架搬運(yùn)車50的一個例子的圖,。如圖5所示,，高架搬運(yùn)車50具有搬運(yùn)車用行駛部51和主體部52。搬運(yùn)車用行駛部51與起重機(jī)用行駛部31相同,，具備未圖示的行駛驅(qū)動部以及多個車輪71a(參照圖6),，沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛。行駛驅(qū)動部例如也可是被設(shè)置于搬運(yùn)車用行駛部51并驅(qū)動車輪71a的電動馬達(dá),，也可是使用高架搬運(yùn)車軌道40設(shè)置的線性馬達(dá),。主體部52經(jīng)由安裝部52a被安裝于搬運(yùn)車用行駛部51的下部。江蘇品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報價

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