本實用新型關乎半導體裝置領域,，尤為關乎一種工藝腔體。背景技術：在半導體制造工藝中,，有多種工藝腔體是運用旋轉的方法開展工作,，但是旋轉就避免不住將剩余的化學物質甩到裹腔體的內壁上,。以光刻工藝舉例來說解釋：光刻膠涂布是光刻的舉足輕重單元，但是在光刻膠涂布過程中,，剩余的光刻膠被甩出晶圓表面,，它們中的一部分不會經(jīng)由管路排走，而是匯聚在工藝腔體的內壁,。匯聚在工藝腔體內壁的光刻膠在干燥之后會演變?yōu)轭w粒物，在涂布下一片晶圓時,，高速轉動的晶圓會產(chǎn)生擾流并在晶圓的邊沿區(qū)域形成細微的真空,，這些真空會吸引匯聚在工藝腔體內壁的顆粒物，**后散布在晶圓的表面,，致使晶圓產(chǎn)生缺點?，F(xiàn)有技術中會對工藝腔體的體壁開展定期維護與保養(yǎng)，需將整個工藝腔體的體壁拿下去展開清洗,，同時需相應的體壁備用更換,，引致減低了生產(chǎn)效率。因此,，有必要提供一種可自動更換及清洗體壁的工藝腔體,。技術實現(xiàn)元素：本實用新型的目的在于提供一種新的工藝腔體，能夠自動更換及清洗腔體的體壁,，從而提高生產(chǎn)效率,。為了達到上述目的，本實用新型提供了一種工藝腔體,，包括：內層體壁,，由所述內層體壁平分而成的內層體壁段；由承載所述內層體壁的承載物平分而成的承載段,。定制開體花蘭選邯鄲洺洲緊固件,。四川14的開體花蘭拉力多少

    也更換了更整潔的內層體壁21，減小了對晶圓30的污染,，提高產(chǎn)品質量,。進一步的，所述工藝腔體10底部設有移動塊,，所述移動塊帶動各所述承載段11和各所述軌道段12環(huán)繞所述工藝腔體10旋轉移動或沿所述工藝腔體10中心徑向移動,。可以了解,，所述替換體壁段23可以追隨所述軌道段12移動,，所述內層體壁段22可以追隨所述承載段11移動。在一個實施例中,，所述軌道段12為**少一層設置,，所述軌道段12的數(shù)目小于所述承載段11的數(shù)目,，以預留所述承載段11的活動位置。更進一步的,，所述替換體壁段23的數(shù)目為低于或相等所述內層體壁段22數(shù)目的一半,，且所述替換體壁段23的數(shù)目相等所述軌道段12的數(shù)目，以預留出內層體壁段22移動到**的活動位置,。在本實施例中,，當需換出其中隨意一段內層體壁段22時，則移動該內層體壁段22的承載段11,，使之移動至軌道段12的位置,，所述內層體壁段22則變成替換體壁段23，此時則空缺出一段內層體壁段22的位置,，然后移動任意一段干凈的替換體壁段23所在的軌道段12至空缺的內層體壁段22所在的承載段11處,，所述替換體壁段23則變成內層體壁段22，以使替換之后的內層體壁段22圍合能形成原有的內層體壁21,，則完成一次內層體壁段22的替換,。可以明白,，在替換過程中,。江蘇生產(chǎn)開體花蘭緊固件吊裝作業(yè)完畢后，不允許將開體花蘭由高空往下拋摔,，以免開體花蘭落地碰撞變形或內部產(chǎn)生損壞,。

    本實用新型屬于懸掛架建筑施工領域，具體地說涉及一種花蘭體旋緊裝置,。背景技術：在高層建筑施工過程中,，往往需要用到大量的腳手架，腳手架用于安全防護以及作為操作平臺,。腳手架是由大量橫向放置和豎向放置的鋼管通過鋼管扣件連接搭建起來的,。腳手架由于搭建在建筑外墻之外，需要通過支撐來保證搭建的可靠性,。腳手架通過支撐在懸掛架上來確保穩(wěn)定,，而懸掛架與建筑墻體固定。懸掛架與建筑墻體固定后往往需要拉桿,，斜向上拉懸掛架,，給懸掛架斜向上的拉力，提高懸掛架的可靠性,，這時候就需要一種可調節(jié)的拉桿,。拉桿包括上拉桿、花蘭體和下拉桿,；花蘭體上端設有上螺紋孔,，用于和上拉桿的下螺紋柱配合,，上拉桿上端與墻體連接；花蘭體下端設有下螺紋孔,，用于和下拉桿的上螺紋柱配合,，下拉桿下端與懸掛架連接；花蘭體上端和下端通過左連接柱和右連接柱連接,；左連接柱和右連接柱之間保持間隙,；通過旋轉花蘭體，上拉桿和下拉桿開始拉緊或松懈,。但由于建筑施工工地比較復雜,，采用無法調節(jié)的鋼棍來旋轉花蘭體很容易被擋住，而且鋼棍容易使花蘭體變形,，或者在操作過程中容易滑動，導致工人滑倒受傷,。技術實現(xiàn)要素：本實用新型的目的是針對上述不足之處提供一種花蘭體旋緊裝置,。

    擬解決現(xiàn)有鋼棍旋轉花蘭體存在不便利及不安全等問題。為實現(xiàn)上述目的,，本實用新型提供如下技術方案：一種花蘭體旋緊裝置,，用于旋緊花蘭體，所述花蘭體上端設有上螺紋孔,，用于和上拉桿的下螺紋柱配合,；所述花蘭體下端設有下螺紋孔，用于和下拉桿的上螺紋柱配合,；所述花蘭體上端和下端通過左連接柱和右連接柱連接,；所述左連接柱和右連接柱之間保持間隙；包括立柱,、伸縮手柄和兩個抓手,；所述伸縮手柄固定在立柱中部；所述立柱兩端固定有抓手,；所述抓手用于接觸左連接柱和右連接柱，使伸縮手柄可推動花蘭體自轉。由上述結構可知,，所述伸縮手柄固定在立柱中部,，在沒有遇到障礙時，可以把伸縮手柄調到更長位置,，增大力臂,，方便旋動花蘭體；遇到障礙時,，縮短伸縮手柄,，躲避障礙物,；由于建筑工地的復雜性，采用伸縮手柄可調節(jié)長度,，適應性更好,。立柱兩端固定有抓手，所述抓手用于接觸左連接柱和右連接柱,，這樣左連接柱和右連接柱都有兩個相隔一定距離的位置被抓持,，不容易造成花蘭體變形，保護了花蘭體,。進一步的,，所述伸縮手柄包括固定筒、彈簧和活動桿,；所述固定筒固定在立柱中部,；所述固定筒左端設有左限位板，右端設有右限位板,；所述右限位板上穿有活動桿,。開體花蘭實驗載荷為2倍極限工作載荷，破斷載荷為4倍極限工作載荷,。

    術語“***”“第二”等用以在相近元素之間展開區(qū)分,，且不見得是用以敘述特定順序或時間次序。要明白,，在合適情形下,，如此采用的這些術語可替換。相近的,，如果本文所述的方式包括一系列步驟,，且本文所展現(xiàn)的這些步驟的依次并非須要是可執(zhí)行這些步驟的***依次，且一些所述的步驟可被略去和/或一些本文未敘述的其他步驟可被添加到該方式,。在半導體制造工藝中,，有多種工藝腔體是運用旋轉的方法開展工作，但是旋轉就避免不住將剩余的化學物質甩到裹腔體的內壁上?，F(xiàn)有技術中多數(shù)是對工藝腔體的體壁開展定期維護與保養(yǎng),，需將整個工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時需相應的體壁備用更換,，致使下降了生產(chǎn)效率,。為了有效性的操縱上述疑問，本實用新型提供了一種工藝腔體,，能夠自動更換及清洗腔體的體壁,，且提高生產(chǎn)效率。如圖1所示，圖1為本實用新型實施例提供的工藝腔體側面剖視圖,。本實用新型提供了一種工藝腔體10,，包括：內層體壁21，由所述內層體壁21平分而成的內層體壁段22,；由承載所述內層體壁21的承載物平分而成的承載段11,，所述內層體壁段22的數(shù)目和所述承載段11的數(shù)目等于；在所述內層體壁21**設立的**少一個替換體壁段23,。咨詢緊固件,，定制開體花蘭價格預算在哪批發(fā)。江蘇生產(chǎn)開體花蘭緊固件

開體花蘭轉一圈螺距移動的距離,。四川14的開體花蘭拉力多少

    所述的連接件1由連接在螺桿上的叉12,、橫向安裝在叉上的擋桿11組成。擋桿可通過螺紋安裝在叉上,，也可以通過銷子或螺母安裝在叉上,。所述的連接件1為掛鉤或掛鼻。顯然此時的連接件的一段為螺桿,、另一段為與螺桿成一體的鉤體或鼻體,。這種花蘭螺絲的使用方式與現(xiàn)有的花蘭螺絲相同，不再詳述,。花蘭螺絲主體的兩連接端上可安裝構造相同的連接件,，也可以安裝構造不同的連接件,。3[0014]恰當調整花蘭螺絲主體以及連接件上的螺桿的尺寸，就可擴充這種花蘭螺絲的長度調節(jié)范圍,。權利要求新型花蘭螺絲,，其特性在于，它有花蘭螺絲主體(2),，花蘭螺絲主體中部橫向固定有隔板(3),、兩邊分別為加長的連接端(21)，且連接端與花蘭螺絲主體連接處有凸起(23),，兩帶螺桿的連接件(1)通過其上面的外螺紋以及花蘭螺絲主體連接端的內螺紋與花蘭螺絲主體(2)安裝在一起,，花蘭螺絲主體的內壁(22)呈弧狀。2.如權利要求1所述的新型花蘭螺絲,，其特點在于,，所述的連接件(1)由連結在螺桿上的叉(12)、橫向安裝在叉上的擋桿(11)組成,。3.如權利要求1所述的新型花蘭螺絲,，其特性在于，所述的連接件(1)為掛鉤或掛鼻。前列摘要本實用新型提供了一種新型花籃螺釘,，屬于一種連接組件,，它有花籃螺釘主體。四川14的開體花蘭拉力多少

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