主要是對光譜共焦傳感器的校準后的誤差進行分析,。各自利用干涉儀與高精密測長機對光譜共焦傳感器開展測量,，用曲面測針確保光譜共焦傳感器的激光光路坐落于測針,，以確保光譜共焦傳感器在測量時安裝精密度,，隨后拆換平面圖歪頭,，對光譜共焦傳感器開展校準。用小二乘法對測量數(shù)據(jù)進行解決,，獲得測量數(shù)據(jù)庫的離散系統(tǒng)誤差,。結(jié)果顯示：高精密測長機校準后的離散系統(tǒng)誤差為 0.030%,，激光器于涉儀校準時的分析線形誤差為0.038%,。利用小二乘法開展數(shù)據(jù)處理方法及離散系統(tǒng)誤差的計算，減少校準時產(chǎn)生的平行度誤差及光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,，提高對光譜共焦傳感器的校準精密度,。光譜共焦技術(shù)具有很大的市場潛力。杭州光譜共焦廠家現(xiàn)貨

光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示,，由光源,、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成,。傳感器通過色散鏡頭進行色散,，將位移信息轉(zhuǎn)換成波長信息，使用光譜儀進行光譜分解得出波長的變化信息,，再反解得出被測位移,。其中色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長和位移的一一映射，實現(xiàn)了波長和位移之間的編碼轉(zhuǎn)化,。光譜儀則實現(xiàn)波長的測量及位移反解輸出,。當(dāng)光譜信息突破小孔的限制，借助平面光柵,、凹面反射鏡進行光線的衍射和匯聚,，將反射出來的匯聚光照射在線陣CCD上進行光電轉(zhuǎn)換，借助光譜信號采集實現(xiàn)模數(shù)轉(zhuǎn)換,， 通過解碼得到位移信息,。長寧區(qū)光譜共焦的用途和特點線性色散設(shè)計的光譜共焦測量技術(shù)是一種新型的測量方法。

光譜共焦測量技術(shù)由于其高精度,、允許被測表面有更大的傾斜角,、測量速度快、實時性高,、對被測表面狀況要求低,、以及高分辨率的獨特優(yōu)勢，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，在生物醫(yī)學(xué),、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造,、表面工程研究,、精密測量、3C電子等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用,。本次測量場景使用的是創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器,。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025μm的重復(fù)精度，±0.02% of F.S.的線性精度,， 30kHz的采樣速度,，以及±60°的測量角度，能夠適應(yīng)鏡面,、透明,、半透明、膜層,、金屬粗糙面,、多層玻璃等材料表面,，支持485、USB,、以太網(wǎng),、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。

光譜共焦傳感器可以用于數(shù)碼相機的相位測距,，可大幅提高相機的對焦精度和成像質(zhì)量,。同時，還可以通過檢測相機的微小振動,，實現(xiàn)圖像的防抖和抗震功能,。光譜共焦傳感器可以用于計算機硬盤的位移和振動測量，從而實現(xiàn)對硬盤存儲數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和可靠性的實時監(jiān)控,。在硬盤的生產(chǎn)過程中,，光譜共焦傳感器也可用于進行各種機械結(jié)構(gòu)件的位移、振動和形變測試,。光譜共焦傳感器在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用領(lǐng)域極其大量,，可用于各種控制和檢測環(huán)節(jié)，實現(xiàn)高精度,、高可靠性的測量與檢測,。光譜共焦技術(shù)可以解決以往傳感器和測量系統(tǒng)精度與視場不能兼容的問題。

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度,，以及±60°的測量角度,，能夠適應(yīng)鏡面、透明,、半透明,、膜層、金屬粗糙面,、多層玻璃等材料表面,，支持485、USB,、以太網(wǎng),、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。,。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,，所以我們這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量,。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進行標記如圖1,，用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量,，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量（由于柵線不是一個平整面,，自身有一定的曲率,，對測量區(qū)域的選擇隨機性影響較大）光譜共焦技術(shù)在醫(yī)療器械制造中可以用于醫(yī)療器械的精度檢測和測量。原裝光譜共焦安裝操作注意事項

光譜共焦技術(shù)可以對生物和材料的物理,、化學(xué),、生物學(xué)等多個方面進行分析。杭州光譜共焦廠家現(xiàn)貨

光譜共焦位移傳感器是基于共焦原理采用復(fù)色光為光源的傳感器,，其測扯精度能夠達到nm量級,，可用于表面呈漫反射或鏡反射的物體的測匱。此外,，光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進行單向厚度測量,。由于其在測量位 移方面具有高精度的特性，對千單層和多層透明物體,，除準確測量該物體的位移之外,，還可以單方向測量其厚度。本文將光譜共焦位移傳感器應(yīng)用于位移測量中,，通過實驗驗證光譜共焦測量系統(tǒng)能夠滿足高精度的位移測蜇要求,，對今后將整個 小型化、產(chǎn)品化有著重要的意義,。杭州光譜共焦廠家現(xiàn)貨