自1986年E.Wolf證明了相關(guān)誘導(dǎo)光譜的變化以來,，人們開始在理論和實驗上進行探討和研究。結(jié)果表明,，動態(tài)的光譜位移可以產(chǎn)生新的濾波器,，可應(yīng)用于光學(xué)信號處理和加密領(lǐng)域。本文提出的基于白光干涉光譜單峰值波長移動的解調(diào)方案,，可應(yīng)用于當兩光程差非常小導(dǎo)致干涉光譜只有一個干涉峰的信號解調(diào),，實現(xiàn)納米薄膜厚度測量。在頻域干涉中,，當干涉光程差超過光源相干長度時,，仍然可以觀察到干涉條紋。這種現(xiàn)象是因為白光光源的光譜可以看成是許多單色光的疊加,，每一列單色光的相干長度都是無限的,。當使用光譜儀接收干涉光譜時，由于光譜儀光柵的分光作用,，寬光譜的白光變成了窄帶光譜,，導(dǎo)致相干長度發(fā)生變化,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以通過對干涉圖像的分析實現(xiàn)對薄膜的形貌測量。白光干涉膜厚儀信賴推薦

白光干涉膜厚儀基于薄膜對白光的反射和透射產(chǎn)生干涉現(xiàn)象,，通過測量干涉條紋的位置和間距來計算出薄膜的厚度,。這種儀器在光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體,、涂層和其他薄膜材料的生產(chǎn)和研發(fā)過程中具有重要的應(yīng)用價值,。當白光照射到薄膜表面時，部分光線會被薄膜反射,，而另一部分光線會穿透薄膜并在薄膜內(nèi)部發(fā)生多次反射和折射,。這些反射和折射的光線會與原始入射光線產(chǎn)生干涉，形成干涉條紋,。通過測量干涉條紋的位置和間距,，可以推導(dǎo)出薄膜的厚度信息。白光干涉膜厚儀在光學(xué)薄膜領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用,。光學(xué)薄膜是一種具有特殊光學(xué)性質(zhì)的薄膜材料,，廣泛應(yīng)用于激光器、光學(xué)鏡片,、光學(xué)濾波器等光學(xué)元件中。通過白光干涉膜厚儀可以實現(xiàn)對光學(xué)薄膜厚度的精確測量,，保證光學(xué)薄膜元件的光學(xué)性能,。此外，白光干涉膜厚儀還可以用于半導(dǎo)體行業(yè)中薄膜材料的生產(chǎn)和質(zhì)量控制,，確保半導(dǎo)體器件的性能穩(wěn)定和可靠性,。白光干涉膜厚儀還可以應(yīng)用于涂層材料的生產(chǎn)和研發(fā)過程中。涂層材料是一種在材料表面形成一層薄膜的工藝,，用于增強材料的表面性能,。通過白光干涉膜厚儀可以對涂層材料的厚度進行精確測量，保證涂層的均勻性和穩(wěn)定性,，提高涂層材料的質(zhì)量和性能,。白光干涉膜厚儀信賴推薦白光干涉膜厚儀是一種可用于測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器。

該文主要研究了以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對象,，實現(xiàn)納米級薄膜厚度準確測量的可行性,，主要涉及三種方法，分別是白光干涉法,、表面等離子體共振法和外差干涉法,。由于不同材料薄膜的特性不同，所適用的測量方法也不同,。對于折射率高,，在通信波段（1550nm附近）不透明的半導(dǎo)體鍺膜,，選擇采用白光干涉的測量方法；而對于厚度更薄的金膜,，其折射率為復(fù)數(shù),，且能夠激發(fā)表面等離子體效應(yīng)，因此采用基于表面等離子體共振的測量方法,。為了進一步提高測量精度,，論文還研究了外差干涉測量法，通過引入高精度的相位解調(diào)手段并檢測P光和S光之間的相位差來提高厚度測量的精度,。

白光干涉的相干原理早在1975年就已經(jīng)被提出,，隨后于1976年在光纖通信領(lǐng)域中獲得了實現(xiàn)。1983年,，BrianCulshaw的研究小組報道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用,。隨后在1984年，報道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng),。該研究成果證明了白光干涉技術(shù)可以被用于測量能夠轉(zhuǎn)換成位移的物理參量,。此后的幾年間，白光干涉應(yīng)用于溫度,、壓力等的研究相繼被報道,。自上世紀九十年代以來，白光干涉技術(shù)快速發(fā)展,，提供了實現(xiàn)測量的更多的解決方案,。近幾年以來，由于傳感器設(shè)計與研制的進步,，信號處理新方案的提出,，以及傳感器的多路復(fù)用等技術(shù)的發(fā)展，使得白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展更加迅***光干涉膜厚測量技術(shù)可以對薄膜的各項光學(xué)參數(shù)進行聯(lián)合測量和分析,。

光學(xué)測厚方法集光學(xué),、機械、電子,、計算機圖像處理技術(shù)為一體,，以其光波長為測量基準，從原理上保證了納米級的測量精度,。同時,，光學(xué)測厚作為非接觸式的測量方法，被廣泛應(yīng)用于精密元件表面形貌及厚度的無損測量,。其中,，薄膜厚度光學(xué)測量方法按光吸收、透反射,、偏振和干涉等光學(xué)原理可分為橢圓偏振法,、分光光度法,、干涉法等多種測量方法。不同的測量方法,，其適用范圍各有側(cè)重,，褒貶不一。因此結(jié)合多種測量方法的多通道式復(fù)合測量法也有研究,，如橢圓偏振法和光度法結(jié)合的光譜橢偏法,，彩色共焦光譜干涉和白光顯微干涉的結(jié)合法等。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的快速測量和分析,。塑料薄膜厚度檢測 膜厚儀

總結(jié),，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用廣、具有高精度和可靠性的薄膜厚度測量儀器,。白光干涉膜厚儀信賴推薦

白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號,，測量裝置與時域解調(diào)裝置幾乎相同，只需把光強測量裝置換為CCD或者是光譜儀,，接收到的信號是光強隨著光波長的分布,。由于時域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長的光強疊加，因此將頻譜信號中各個波長的光強疊加,，即可得到與它對應(yīng)的時域接收信號,。由此可見，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時域白光干涉條紋的所有信息,，還包含了時域干涉條紋中沒有的波長信息,。在頻域干涉中，當兩束相干光的光程差遠大于光源的相干長度時,，仍可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用,，能夠?qū)捵V光變成窄帶光譜,，從而增加了光譜的相干長度。這一解調(diào)技術(shù)的優(yōu)點就是在整個測量系統(tǒng)中沒有使用機械掃描部件,，從而在測量的穩(wěn)定性和可靠性上得到很大的提高,。常見的頻域解調(diào)方法有峰峰值檢測法、傅里葉解調(diào)法以及傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等,。白光干涉膜厚儀信賴推薦