光鏡和參考板組成,，光源發(fā)出的光經(jīng)過顯微鏡后被分光棱鏡分成兩部分,，一束作為參考光入射到參考鏡并反射,，另一束作為測(cè)量光入射到樣品表面被反射，兩束反射光反射到分光棱鏡并發(fā)生干涉,。由于實(shí)驗(yàn)中需要調(diào)節(jié)樣品與被測(cè)樣品的角度,，以便更好進(jìn)行測(cè)量，5XMichelson型干涉物鏡可以通過其配置的兩個(gè)旋鈕進(jìn)行調(diào)節(jié),，旋鈕能夠在較大的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)參考鏡角度,，可以調(diào)節(jié)到理想角度。光纖在測(cè)試系統(tǒng)中負(fù)責(zé)傳光,，將顯微鏡視場干涉信號(hào)傳輸?shù)轿⑿凸庾V儀,。系統(tǒng)選用光纖為海洋光學(xué)公司生產(chǎn)的高級(jí)光纖組件，光纖連接線的內(nèi)層為硅樹脂包裹的單線鋼圈,，外層為諾梅克斯編織物,，以求更好地減輕應(yīng)力并起到有效的保護(hù)作用。該組件末段是易于操作的金屬環(huán)---高精密度的SMA連接器,。光纖一端與適配器連接，另一端與微型光譜儀連接,，以將干涉光信號(hào)傳入光譜儀中,。隨著技術(shù)的進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提升和擴(kuò)展。品牌膜厚儀安裝操作注意事項(xiàng)

利用包絡(luò)線法計(jì)算薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度,，但還存在很多不足,，包絡(luò)線法需要產(chǎn)生干涉波動(dòng)，要求在測(cè)量波段內(nèi)存在多個(gè)干涉極值點(diǎn),，且干涉極值點(diǎn)足夠多,，精度才高。理想的包絡(luò)線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點(diǎn)建立的,，在沒有正確方法建立包絡(luò)線時(shí),，通常使用拋物線插值法建立，這樣造成的誤差較大,。包絡(luò)法對(duì)測(cè)量對(duì)象要求高,，如果薄膜較薄或厚度不足情況下，會(huì)造成干涉條紋減少,，干涉波峰個(gè)數(shù)較少,，要利用干涉極值點(diǎn)建立包絡(luò)線就越困難，且利用拋物線插值法擬合也很困難,，從而降低該方法的準(zhǔn)確度,。其次，薄膜吸收的強(qiáng)弱也會(huì)影響該方法的準(zhǔn)確度,，對(duì)于吸收較強(qiáng)的薄膜,，隨干涉條紋減少，極大值與極小值包絡(luò)線逐漸匯聚成一條曲線,，該方法就不再適用,。因此，包絡(luò)法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品,。品牌膜厚儀安裝操作注意事項(xiàng)該儀器的使用需要一定的專業(yè)技能和經(jīng)驗(yàn),，操作前需要進(jìn)行充分的培訓(xùn)和實(shí)踐。

光纖白光干涉測(cè)量使用的是寬譜光源,。在選擇光源時(shí),，需要重點(diǎn)考慮光源的輸出光功率和中心波長的穩(wěn)定性。由于本文所設(shè)計(jì)的解調(diào)系統(tǒng)是通過測(cè)量干涉峰值的中心波長移動(dòng)來實(shí)現(xiàn)的,，因此光源中心波長的穩(wěn)定性對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果會(huì)產(chǎn)生很大的影響,。實(shí)驗(yàn)中我們選擇使用由INPHENIX公司生產(chǎn)的SLED光源，相對(duì)于一般的寬帶光源具有輸出功率高,、覆蓋光譜范圍寬等優(yōu)點(diǎn),。該光源采用+5V的直流供電，標(biāo)定中心波長為1550nm,，且其輸出功率在一定范圍內(nèi)可調(diào),。驅(qū)動(dòng)電流可以達(dá)到600mA,。

在激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)對(duì)靶丸制備工藝改進(jìn)和仿真模擬核聚變實(shí)驗(yàn)過程至關(guān)重要,。然而,，如何對(duì)靶丸多個(gè)參數(shù)進(jìn)行同步、高精度,、無損的綜合檢測(cè)是激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中的關(guān)鍵問題,。雖然已有多種薄膜厚度及折射率的測(cè)量方法，但仍然無法滿足激光核聚變技術(shù)對(duì)靶丸參數(shù)測(cè)量的高要求,。此外,，靶丸的參數(shù)測(cè)量存在以下問題：不能對(duì)靶丸進(jìn)行破壞性切割測(cè)量，否則被破壞的靶丸無法用于后續(xù)工藝處理或打靶實(shí)驗(yàn),；需要同時(shí)測(cè)得靶丸的多個(gè)參數(shù),，因?yàn)椴煌瑓?shù)的單獨(dú)測(cè)量無法提供靶丸制備和核聚變反應(yīng)過程中發(fā)生的結(jié)構(gòu)變化的現(xiàn)象和規(guī)律，并且效率低下,、沒有統(tǒng)一的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn),。由于靶丸屬于自支撐球形薄膜結(jié)構(gòu)，曲面應(yīng)力大,、難以展平,，因此靶丸與基底不能完全貼合，可在微觀區(qū)域內(nèi)視作類薄膜結(jié)構(gòu),。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將得到進(jìn)一步提高。

光具有傳播的特性,，不同波列在相遇的區(qū)域,，振動(dòng)將相互疊加，是各列光波獨(dú)自在該點(diǎn)所引起的振動(dòng)矢量和,。兩束光要發(fā)生干涉,，應(yīng)必須滿足三個(gè)相干條件，即：頻率一致,、振動(dòng)方向一致,、相位差恒定。發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動(dòng)加強(qiáng),，而在另一些地方振動(dòng)減弱,，產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替變化。任何干涉測(cè)量都是完全建立在這種光波典型特性上的,。下圖分別表示干涉相長和干涉相消的合振幅,。與激光光源相比，白光光源的相干長度在幾微米到幾十微米內(nèi)，通常都很短,，更為重要的是,，白光光源產(chǎn)生的干涉條紋具有一個(gè)典型的特征：即條紋有一個(gè)固定不變的位置,，該固定位置對(duì)應(yīng)于光程差為零的平衡位置,，并在該位置白光輸出光強(qiáng)度具有最大值，并通過探測(cè)該光強(qiáng)最大值,，可實(shí)現(xiàn)樣品表面位移的精密測(cè)量,。此外，白光光源具有系統(tǒng)抗干擾能力強(qiáng),、穩(wěn)定性好且動(dòng)態(tài)范圍大,、結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉等優(yōu)點(diǎn),。因此,，白光垂直掃描干涉、白光反射光譜等基于白光干涉的光學(xué)測(cè)量技術(shù)在薄膜三維形貌測(cè)量,、薄膜厚度精密測(cè)量等領(lǐng)域得以廣泛應(yīng)用,。總之,，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用很廣的測(cè)量薄膜厚度的儀器,。國內(nèi)膜厚儀零售價(jià)格

該儀器的工作原理是通過測(cè)量反射光的干涉來計(jì)算膜層厚度，基于反射率和相位差,。品牌膜厚儀安裝操作注意事項(xiàng)

光譜擬合法易于應(yīng)用于測(cè)量,，但由于使用了迭代算法，因此其優(yōu)缺點(diǎn)在很大程度上取決于所選擇的算法,。隨著遺傳算法,、模擬退火算法等全局優(yōu)化算法的引入，被用于測(cè)量薄膜參數(shù),。該方法需要一個(gè)較好的薄膜光學(xué)模型(包括色散系數(shù),、吸收系數(shù)、多層膜系統(tǒng)),，但實(shí)際測(cè)試過程中薄膜的色散和吸收的公式通常不準(zhǔn)確,，特別是對(duì)于多層膜體系，建立光學(xué)模型非常困難,，無法用公式準(zhǔn)確地表示出來,。因此，通常使用簡化模型,，全光譜擬合法在實(shí)際應(yīng)用中不如極值法有效,。此外，該方法的計(jì)算速度慢，不能滿足快速計(jì)算的要求,。品牌膜厚儀安裝操作注意事項(xiàng)