我司自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),，控制輸出精度達(dá) 0.1%，能精細(xì)掌控溫度變化,。溫度波動(dòng)控制可選 ±0.1℃,、±0.05℃、±0.01℃,、±0.005℃,、±0.002℃等多檔，滿足嚴(yán)苛溫度需求,。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異,，可達(dá)百級(jí)、十級(jí),、一級(jí),。關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK，內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m,，為芯片研發(fā)等敏感項(xiàng)目營(yíng)造理想溫場(chǎng),，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面,，8 小時(shí)內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%,；壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa,，設(shè)備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時(shí)，助力長(zhǎng)時(shí)間實(shí)驗(yàn)與制造,。在潔凈度上,，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，既確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果準(zhǔn)確可靠,，又保障精密儀器正常工作與使用壽命,，推動(dòng)科研與生產(chǎn)進(jìn)步。設(shè)備的氣流循環(huán)系統(tǒng)經(jīng)過特殊設(shè)計(jì),，確保每個(gè)角落都能均勻享受穩(wěn)定環(huán)境,。安徽光刻機(jī)環(huán)境

在 3D 打印行業(yè)蓬勃發(fā)展的當(dāng)下，溫濕度成為左右打印質(zhì)量的關(guān)鍵因素,。在打印過程中,，一旦環(huán)境溫度出現(xiàn)較大幅度的波動(dòng)，用于成型的光敏樹脂或熱熔性材料便會(huì)受到直接沖擊,。材料的固化速率,、流動(dòng)性不再穩(wěn)定，這會(huì)直接反映在打印模型上,，導(dǎo)致模型出現(xiàn)層紋,，嚴(yán)重時(shí)發(fā)生變形，甚至產(chǎn)生開裂等嚴(yán)重缺陷,。而當(dāng)濕度偏高,，材料極易吸濕。在打印過程中,，這些吸收的水分轉(zhuǎn)化為氣泡,，悄然隱匿于模型內(nèi)部或浮現(xiàn)于表面，極大地破壞模型的結(jié)構(gòu)完整性,，使其表面質(zhì)量大打折扣,，影響 3D 打印產(chǎn)品在工業(yè)設(shè)計(jì)、醫(yī)療模型等諸多領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用,。精密環(huán)境供應(yīng)商高精密恒溫恒濕潔凈環(huán)境的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行離不開具有高精度傳感器的恒溫恒濕設(shè)備,。

芯片蝕刻時(shí),，刻蝕速率的均勻性對(duì)芯片電路完整性至關(guān)重要,。溫度波動(dòng)如同 “蝴蝶效應(yīng)”，可能引發(fā)刻蝕過度或不足,。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制,，以及可達(dá) ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常,，保障芯片蝕刻質(zhì)量,。芯片沉積與封裝過程中,，精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用。其可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3,，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對(duì)芯片材料的不良影響,，確保芯片沉積層均勻,、芯片封裝可靠。

我司憑借深厚的技術(shù)積累,，自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù),，精度高達(dá) 0.1% 的控制輸出。溫度波動(dòng)值可實(shí)現(xiàn)±0.1℃,、±0.05℃,、±0.01℃、±0.005℃,、±0.002℃等精密環(huán)境控制,。該系統(tǒng)潔凈度可實(shí)現(xiàn)百級(jí)、十級(jí),、一級(jí),。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK（靜態(tài)）的溫度穩(wěn)定性，以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,，為諸如芯片研發(fā)這類對(duì)溫度極度敏感的項(xiàng)目,，打造了近乎完美的溫場(chǎng)環(huán)境，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾,。同時(shí),，設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h,，壓力穩(wěn)定性可達(dá)+/-3Pa,，長(zhǎng)達(dá) 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長(zhǎng)時(shí)間實(shí)驗(yàn)和制造無后顧之憂,。在潔凈度方面，實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,，確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性，也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命,。設(shè)備采用EC 風(fēng)機(jī),，運(yùn)行時(shí)更加靜音，高效,。

超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點(diǎn),。其自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),，使得控制輸出精度達(dá)到驚人的 0.1% ,，這意味著對(duì)溫度的調(diào)控能夠精細(xì)到極小的范圍。設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK (靜態(tài)) ,，無論外界環(huán)境如何變化，都能保證關(guān)鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài),。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ,，滿足不同用戶對(duì)溫度的個(gè)性化需求,。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ，確保柜內(nèi)各個(gè)角落的溫度幾乎一致,，避免因溫度差異導(dǎo)致的實(shí)驗(yàn)誤差或產(chǎn)品質(zhì)量問題。再加上設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h ,，以及壓力穩(wěn)定性可達(dá) +/-3Pa ,，連續(xù)穩(wěn)定工作時(shí)間大于 144h ,，為對(duì)溫濕度、壓力要求苛刻的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障,，讓長(zhǎng)時(shí)間的科研實(shí)驗(yàn)和精密制造得以順利進(jìn)行。配備的智能傳感器,，能實(shí)時(shí)捕捉微小的環(huán)境變化,，反饋給控制系統(tǒng)及時(shí)調(diào)整。為精密設(shè)備提供穩(wěn)定環(huán)境,。電子芯片環(huán)境采購(gòu)

設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性極強(qiáng),，8 小時(shí)內(nèi)可達(dá)±0.5%,。安徽光刻機(jī)環(huán)境

在芯片這一高科技產(chǎn)品的復(fù)雜生產(chǎn)流程里，眾多環(huán)節(jié)對(duì)溫濕度的波動(dòng)展現(xiàn)出了近乎苛刻的精密度要求,。光刻過程中，利用高精度的光刻設(shè)備,，將預(yù)先設(shè)計(jì)好的復(fù)雜電路圖案轉(zhuǎn)移至硅片表面,。溫度的穩(wěn)定性起著決定性作用,，哪怕有零點(diǎn)幾攝氏度的微小波動(dòng),，都會(huì)使光刻膠內(nèi)部的化學(xué)反應(yīng)速率產(chǎn)生偏差。光刻膠作為一種對(duì)光敏感的高分子材料,，其反應(yīng)速率的改變將直接作用于光刻成像效果，致使圖案邊緣模糊,、線條粗細(xì)不均,，進(jìn)而讓芯片上的線路出現(xiàn)偏差，甚至引發(fā)短路故障,，讓前期投入的大量人力,、物力和時(shí)間付諸東流。與此同時(shí),，濕度因素同樣不可小覷,。光刻車間若濕度偏高，水汽極易滲透至光刻膠內(nèi)部,，使其含水量上升,，感光度隨之降低，如同給精密的 “光刻鏡頭” 蒙上一層霧靄,，嚴(yán)重影響光刻精度,，導(dǎo)致芯片良品率大打折扣，大幅增加生產(chǎn)成本,。安徽光刻機(jī)環(huán)境