激光干涉儀用于測量微小位移,，精度可達(dá)納米級別。溫度波動哪怕只有 1℃,，由于儀器主體與測量目標(biāo)所處環(huán)境溫度不一致,，二者熱脹冷縮程度不同，會造成測量基線的微妙變化,，導(dǎo)致測量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差,，在高精度機(jī)械加工零件的尺寸檢測中，這種偏差可能使零件被誤判為不合格品,，增加生產(chǎn)成本,。高濕度環(huán)境下,，水汽會干擾激光的傳播路徑，使激光發(fā)生散射,，降低干涉條紋的對比度,，影響測量人員對條紋移動的精確判斷，進(jìn)而無法準(zhǔn)確獲取位移數(shù)據(jù),，給精密制造,、航空航天等領(lǐng)域的科研與生產(chǎn)帶來極大困擾。針對設(shè)備運維,，系統(tǒng)實時同步記錄運行,、故障狀態(tài)，快速查詢回溯,，準(zhǔn)確定位問題根源,。河北環(huán)境調(diào)節(jié)

對于光學(xué)儀器，溫度哪怕有細(xì)微變化,，都會引發(fā)諸多問題,。由于大多數(shù)光學(xué)儀器采用了玻璃鏡片、金屬鏡筒等不同材質(zhì)的部件,，這些材料熱膨脹系數(shù)各異,。當(dāng)溫度升高時，鏡片會膨脹,，鏡筒等支撐結(jié)構(gòu)也會發(fā)生相應(yīng)變化,，若膨脹程度不一致，就會使鏡片在鏡筒內(nèi)的位置精度受到影響,，光路隨之發(fā)生偏差,。例如在顯微鏡觀察中，原本清晰聚焦的樣本圖像會突然變得模糊,，科研人員無法準(zhǔn)確獲取樣本細(xì)節(jié),，影響實驗數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。對于望遠(yuǎn)鏡而言,，溫度波動導(dǎo)致的光路變化,，會讓觀測天體時的成像偏離理想位置，錯過重要天文現(xiàn)象的記錄,。河北環(huán)境調(diào)節(jié)如果您的設(shè)備需在特定溫濕度,、潔凈度實驗室運行，對周圍環(huán)境條件有要求,，可以選擇精密環(huán)控柜,。

在半導(dǎo)體芯片制造這一復(fù)雜且精細(xì)的領(lǐng)域，從芯片光刻,、蝕刻到沉積,、封裝等每一步,，都對環(huán)境條件有著近乎嚴(yán)苛的要求，而精密環(huán)控柜憑借其性能成為保障生產(chǎn)的關(guān)鍵要素,。芯片光刻環(huán)節(jié),，光刻機(jī)對環(huán)境穩(wěn)定性要求極高。哪怕 0.002℃的溫度波動,，都可能使光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件因熱脹冷縮產(chǎn)生細(xì)微形變,，導(dǎo)致光路偏差，使光刻圖案精度受損,。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,，將溫度波動控制在極小范圍，確保光刻機(jī)高精度運行,，讓芯片光刻圖案正常呈現(xiàn),。

我司自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%,，能精細(xì)掌控溫度變化,。溫度波動控制可選 ±0.1℃、±0.05℃,、±0.01℃,、±0.005℃、±0.002℃等多檔,，滿足嚴(yán)苛溫度需求,。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異，可達(dá)百級,、十級、一級,。關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK,，內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m，為芯片研發(fā)等敏感項目營造理想溫場,，保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾,。濕度方面，8 小時內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%,；壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa,，設(shè)備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時，助力長時間實驗與制造,。在潔凈度上,，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，既確保實驗結(jié)果準(zhǔn)確可靠,，又保障精密儀器正常工作與使用壽命,，推動科研與生產(chǎn)進(jìn)步,。涉及超高精度的測量環(huán)境要求，如±0.01-0.1℃ , 甚至更高波動要求,，則需要搭建精密環(huán)控系統(tǒng),。

在科研與工業(yè)制造等眾多領(lǐng)域，光學(xué)儀器如激光干涉儀,、光學(xué)顯微鏡,、電子顯微鏡等，發(fā)揮著無可替代的關(guān)鍵作用,，而它們對運行環(huán)境的要求極為苛刻,，尤其是溫濕度、潔凈度以及抗微震性能,。精密環(huán)控柜的出現(xiàn),，為這些精密儀器提供了理想的運行環(huán)境。以激光干涉儀為例,，其憑借納米級別的高精度測量能力,，在諸多精密領(lǐng)域不可或缺。但它對溫度極度敏感,，哪怕有 0.01℃的溫度波動,，由于儀器主體與測量目標(biāo)熱脹冷縮程度的差異，會造成測量基線改變,，致使測量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差,。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制，將溫度波動控制在極小范圍,，有力保障了激光干涉儀測量的準(zhǔn)確性,。精密環(huán)境控制設(shè)備依托自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，實現(xiàn)了 0.1% 的超高輸出精度,。河南抗微震環(huán)境

主要由設(shè)備主柜體,、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng),、潔凈過濾器,、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng),、局部氣浴等組成,。河北環(huán)境調(diào)節(jié)

我司憑借深厚的技術(shù)積累，自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù),，精度高達(dá) 0.1% 的控制輸出,。溫度波動值可實現(xiàn)±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃,、±0.005℃,、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實現(xiàn)百級,、十級,、一級。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK（靜態(tài)）的溫度穩(wěn)定性,，以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,，為諸如芯片研發(fā)這類對溫度極度敏感的項目，打造了近乎完美的溫場環(huán)境,，保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾,。同時，設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h,，壓力穩(wěn)定性可達(dá)+/-3Pa,，長達(dá) 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂。在潔凈度方面,，實現(xiàn)百級以上潔凈度控制,，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，確保實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性,，也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命,。河北環(huán)境調(diào)節(jié)