在科研與工業(yè)制造等眾多領(lǐng)域，光學(xué)儀器如激光干涉儀,、光學(xué)顯微鏡,、電子顯微鏡等，發(fā)揮著無(wú)可替代的關(guān)鍵作用,，而它們對(duì)運(yùn)行環(huán)境的要求極為苛刻,，尤其是溫濕度、潔凈度以及抗微震性能,。精密環(huán)控柜的出現(xiàn),，為這些精密儀器提供了理想的運(yùn)行環(huán)境。以激光干涉儀為例，其憑借納米級(jí)別的高精度測(cè)量能力,，在諸多精密領(lǐng)域不可或缺,。但它對(duì)溫度極度敏感，哪怕有 0.01℃的溫度波動(dòng),，由于儀器主體與測(cè)量目標(biāo)熱脹冷縮程度的差異,，會(huì)造成測(cè)量基線(xiàn)改變，致使測(cè)量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差,。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,，將溫度波動(dòng)控制在極小范圍，有力保障了激光干涉儀測(cè)量的準(zhǔn)確性,。主要由設(shè)備主柜體,、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng),、潔凈過(guò)濾器,、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng),、局部氣浴等組成,。色譜儀環(huán)境實(shí)驗(yàn)箱

在電池制造流程里，電解液的注入環(huán)節(jié)堪稱(chēng)重中之重,，其對(duì)溫濕度的要求近乎嚴(yán)苛,。哪怕是極其細(xì)微的溫度波動(dòng)，都可能引發(fā)電解液的密度與黏度發(fā)生改變,。這看似不起眼的變化,，卻會(huì)直接干擾注液量的控制。一旦注液量出現(xiàn)偏差,，電池內(nèi)部的電化學(xué)反應(yīng)便無(wú)法在正常狀態(tài)下進(jìn)行,，導(dǎo)致電池容量大打折扣，使用壽命也大幅縮短,。而當(dāng)濕度攀升過(guò)高,，空氣中游離的水分便會(huì)趁機(jī)混入電解液之中。這些水分會(huì)與電解液的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),，生成一系列有害雜質(zhì),。這些雜質(zhì)會(huì)無(wú)情地腐蝕電池內(nèi)部結(jié)構(gòu)，嚴(yán)重破壞電池的穩(wěn)定性與安全性,，給電池的使用埋下諸多隱患,。色譜儀環(huán)境實(shí)驗(yàn)箱設(shè)備的氣流循環(huán)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)特殊設(shè)計(jì)，確保每個(gè)角落都能均勻享受穩(wěn)定環(huán)境,。

在半導(dǎo)體芯片制造這一復(fù)雜且精細(xì)的領(lǐng)域,，從芯片光刻,、蝕刻到沉積、封裝等每一步,，都對(duì)環(huán)境條件有著近乎嚴(yán)苛的要求,，而精密環(huán)控柜憑借其性能成為保障生產(chǎn)的關(guān)鍵要素。芯片光刻環(huán)節(jié),，光刻機(jī)對(duì)環(huán)境穩(wěn)定性要求極高,。哪怕 0.002℃的溫度波動(dòng)，都可能使光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件因熱脹冷縮產(chǎn)生細(xì)微形變,，導(dǎo)致光路偏差,，使光刻圖案精度受損。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,，將溫度波動(dòng)控制在極小范圍,，確保光刻機(jī)高精度運(yùn)行，讓芯片光刻圖案正常呈現(xiàn),。

刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料,，從而雕琢出精細(xì)的電路結(jié)構(gòu)。在這一精細(xì)操作過(guò)程中,，溫度的波動(dòng)都會(huì)如同“蝴蝶效應(yīng)”般，干擾刻蝕速率的均勻性,。當(dāng)溫度不穩(wěn)定時(shí),，硅片不同部位在相同時(shí)間內(nèi)所經(jīng)歷的刻蝕程度將參差不齊，有的地方刻蝕過(guò)度,，有的地方刻蝕不足,，直接破壞芯片的電路完整性，嚴(yán)重影響芯片性能,。濕度方面,，一旦出現(xiàn)不穩(wěn)定狀況，刻蝕環(huán)境中的水汽會(huì)與刻蝕氣體發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),，生成一些難以預(yù)料的雜質(zhì),。這些雜質(zhì)可能會(huì)附著在芯片表面，或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結(jié)構(gòu)中,，給芯片質(zhì)量埋下深深的隱患,，后續(xù)即便經(jīng)過(guò)多道清洗工序，也難以徹底根除這些隱患帶來(lái)的負(fù)面影響,。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部壓力波動(dòng)極小,，穩(wěn)定在 +/-3Pa。

超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點(diǎn),。其自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),，使得控制輸出精度達(dá)到驚人的 0.1% ,，這意味著對(duì)溫度的調(diào)控能夠精細(xì)到極小的范圍。設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK (靜態(tài)) ,，無(wú)論外界環(huán)境如何變化,，都能保證關(guān)鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài)。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ,，滿(mǎn)足不同用戶(hù)對(duì)溫度的個(gè)性化需求,。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ，確保柜內(nèi)各個(gè)角落的溫度幾乎一致,，避免因溫度差異導(dǎo)致的實(shí)驗(yàn)誤差或產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題,。再加上設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h ，以及壓力穩(wěn)定性可達(dá) +/-3Pa ,，連續(xù)穩(wěn)定工作時(shí)間大于 144h ,，為對(duì)溫濕度、壓力要求苛刻的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障,，讓長(zhǎng)時(shí)間的科研實(shí)驗(yàn)和精密制造得以順利進(jìn)行,。該系統(tǒng)集成暖通通風(fēng)、環(huán)境潔凈,、照明安防及實(shí)驗(yàn)室管理系統(tǒng),，能夠?qū)崟r(shí)記錄查詢(xún)數(shù)據(jù)。陜西環(huán)境控制

關(guān)于防微振,，除了控制風(fēng)速降低振動(dòng)外,，在地面增加隔振基礎(chǔ)，可有效降低外部微振動(dòng)的傳遞,。色譜儀環(huán)境實(shí)驗(yàn)箱

設(shè)備運(yùn)行靜音高效是精密環(huán)控柜的又一優(yōu)勢(shì),。采用的 EC 風(fēng)機(jī)，具備更高效,、更強(qiáng)大,、更安靜的運(yùn)行特點(diǎn)。相比傳統(tǒng)風(fēng)機(jī),，EC 風(fēng)機(jī)能夠在提供充足風(fēng)量的同時(shí),，有效降低能耗，提高能源利用效率,。制冷單元內(nèi)部采用高效隔音材質(zhì),，進(jìn)一步降低設(shè)備噪音，使其運(yùn)行噪音小于 45dB ,。噪音作為一種能量對(duì)于生產(chǎn)過(guò)程存在難以忽視的影響,，極低的噪音恰恰能防止設(shè)備收到干擾，影響生產(chǎn)環(huán)境,。高效的運(yùn)行則保證了設(shè)備能夠快速,、穩(wěn)定地調(diào)節(jié)溫濕度和潔凈度,，滿(mǎn)足各類(lèi)精密實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)的需求。色譜儀環(huán)境實(shí)驗(yàn)箱