我司自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),，控制輸出精度達(dá) 0.1%，能精細(xì)掌控溫度變化,。溫度波動控制可選 ±0.1℃,、±0.05℃、±0.01℃,、±0.005℃,、±0.002℃等多檔，滿足嚴(yán)苛溫度需求,。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異,，可達(dá)百級、十級,、一級,。關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK，內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m,，為芯片研發(fā)等敏感項目營造理想溫場,，保障實(shí)驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面,，8 小時內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%,；壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa，設(shè)備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時,，助力長時間實(shí)驗與制造,。在潔凈度上，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,，既確保實(shí)驗結(jié)果準(zhǔn)確可靠,，又保障精密儀器正常工作與使用壽命，推動科研與生產(chǎn)進(jìn)步,。設(shè)備的氣流循環(huán)系統(tǒng)經(jīng)過特殊設(shè)計,，確保每個角落都能均勻享受穩(wěn)定環(huán)境。掃描電子顯微鏡恒溫恒濕設(shè)計

在電池的組裝工序中,，溫濕度的波動對產(chǎn)品質(zhì)量和性能的影響不容小覷,。溫度一旦發(fā)生變化,，無論是電池外殼，還是內(nèi)部各種組件,，都會不可避免地產(chǎn)生熱脹冷縮現(xiàn)象,。倘若各部件的膨脹或收縮程度存在差異，組裝過程便會困難重重,，極易出現(xiàn)縫隙過大或過小的情況,。縫隙過大時,，電池有漏液風(fēng)險,，這不但會嚴(yán)重?fù)p害電池性能，還埋下安全隱患,；而縫隙過小,，則可能致使部件間相互擠壓，破壞電池內(nèi)部結(jié)構(gòu),。在濕度方面,，高濕度環(huán)境下，電池組件,，尤其是金屬連接件極易受潮生銹,。生銹后，其電阻增大,，電池導(dǎo)電性能隨之變差,，導(dǎo)致電池整體輸出功率降低。掃描電子顯微鏡恒溫恒濕設(shè)計精密環(huán)控柜可滿足可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級,、十級,、一級等不同潔凈度要求。

電池芯片制造工藝的復(fù)雜性與精細(xì)度與日俱增,，對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度和濕度控制提出了極其嚴(yán)苛的要求,。濕度一旦超出允許范圍，哪怕有細(xì)微波動,，都極有可能致使電池芯片內(nèi)部的電路結(jié)構(gòu)發(fā)生短路現(xiàn)象,，或者嚴(yán)重影響芯片的整體性能，大幅降低其充放電效率與使用壽命,。精密環(huán)控柜憑借其技術(shù)實(shí)力,，實(shí)現(xiàn)了對濕度的調(diào)控，將濕度穩(wěn)定性牢牢控制在極小的區(qū)間內(nèi),。同時,，其配備的空氣過濾系統(tǒng)，能夠高效攔截空氣中的各類塵埃,、顆粒及微生物，確保生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到超高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。針對新能源電子領(lǐng)域千變?nèi)f化的特殊生產(chǎn)工藝需求,，精密環(huán)控柜還能提供定制化服務(wù),，從內(nèi)部布局到各項環(huán)境參數(shù)的設(shè)定，都能滿足該領(lǐng)域獨(dú)特的環(huán)境要求,。

在集成電路制造這一高精密的領(lǐng)域中,，芯片生產(chǎn)線上的光刻工序堪稱關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，其對溫濕度的要求近乎達(dá)到苛刻的程度,。即便是極其微小的 1℃溫度波動,，都可能引發(fā)嚴(yán)重后果。光刻機(jī)內(nèi)部的光學(xué)鏡片會因熱脹冷縮,，致使光路發(fā)生細(xì)微偏移,。這看似毫厘之差，卻足以讓光刻圖案精度嚴(yán)重受損,，使得芯片上的電路布線出現(xiàn)偏差,，甚至短路等問題，進(jìn)而大幅拉低芯片的良品率,。而在濕度方面,，一旦濕度突破 50% 的警戒線，光刻膠便極易受潮,，其感光度發(fā)生改變,，導(dǎo)致曝光效果大打折扣，無疑同樣對芯片質(zhì)量產(chǎn)生不可忽視的負(fù)面影響,。在芯片,、半導(dǎo)體、精密加工,、精密測量等領(lǐng)域,，利用其溫濕度控制，保證生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定,。

刻蝕的目的在于去除硅片上不需要的材料,，從而雕琢出精細(xì)的電路結(jié)構(gòu)。在這一精細(xì)操作過程中,，溫度的波動都會如同“蝴蝶效應(yīng)”般,，干擾刻蝕速率的均勻性。當(dāng)溫度不穩(wěn)定時,，硅片不同部位在相同時間內(nèi)所經(jīng)歷的刻蝕程度將參差不齊,，有的地方刻蝕過度，有的地方刻蝕不足,，直接破壞芯片的電路完整性,，嚴(yán)重影響芯片性能,。濕度方面，一旦出現(xiàn)不穩(wěn)定狀況,，刻蝕環(huán)境中的水汽會與刻蝕氣體發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),，生成一些難以預(yù)料的雜質(zhì)。這些雜質(zhì)可能會附著在芯片表面,，或是嵌入剛剛刻蝕形成的微觀電路結(jié)構(gòu)中,，給芯片質(zhì)量埋下深深的隱患，后續(xù)即便經(jīng)過多道清洗工序,，也難以徹底根除這些隱患帶來的負(fù)面影響,。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部壓力波動極小，穩(wěn)定在 +/-3Pa,。新能源電子恒溫恒濕調(diào)控柜

自面世以來,，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實(shí)驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù)，獲得了頗多好評,。掃描電子顯微鏡恒溫恒濕設(shè)計

在航空航天和新能源電子領(lǐng)域,，眾多零部件的制造與檢測對環(huán)境的精密性要求極高，精密環(huán)控柜為這些關(guān)鍵環(huán)節(jié)提供了可靠保障,。航空航天零部件多采用先進(jìn)材料制造,，其加工和檢測過程需要嚴(yán)苛的環(huán)境條件。如航空發(fā)動機(jī)葉片的精密加工,，0.05℃的溫度波動都可能使機(jī)床的主軸,、導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件熱變形，導(dǎo)致葉片加工精度不達(dá)標(biāo),。精密環(huán)控柜的高精度溫度控制,，確保加工環(huán)境穩(wěn)定，保障葉片加工質(zhì)量,。同時,，其超高水準(zhǔn)潔凈度控制，防止塵埃顆粒對航空零部件的污染,，提升產(chǎn)品可靠性,。除此之外，一些需要高精密環(huán)境的領(lǐng)域,，也離不開精密環(huán)控柜,。掃描電子顯微鏡恒溫恒濕設(shè)計