在半導(dǎo)體芯片制造這一復(fù)雜且精細(xì)的領(lǐng)域，從芯片光刻,、蝕刻到沉積,、封裝等每一步，都對(duì)環(huán)境條件有著近乎嚴(yán)苛的要求,，而精密環(huán)控柜憑借其性能成為保障生產(chǎn)的關(guān)鍵要素,。芯片光刻環(huán)節(jié)，光刻機(jī)對(duì)環(huán)境穩(wěn)定性要求極高,。哪怕 0.002℃的溫度波動(dòng),，都可能使光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件因熱脹冷縮產(chǎn)生細(xì)微形變，導(dǎo)致光路偏差,，使光刻圖案精度受損,。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制，將溫度波動(dòng)控制在極小范圍,，確保光刻機(jī)高精度運(yùn)行,，讓芯片光刻圖案正常呈現(xiàn)。精密環(huán)控柜為光刻,、干法刻蝕,、沉積、表征和其他常見(jiàn)加工設(shè)備提供穩(wěn)定溫濕度,、潔凈度,、防噪音、抗微震條件,。四川環(huán)境空調(diào)

在電極制備環(huán)節(jié),，溫濕度的不穩(wěn)定會(huì)對(duì)電極材料的涂布均勻性造成極大干擾。溫度過(guò)高,，涂布用的漿料黏度降低,，流動(dòng)性增強(qiáng),，容易出現(xiàn)厚度不均的情況，這會(huì)使得電池在充放電過(guò)程中局部電流密度不一致,，降低電池性能,。濕度若偏高，漿料中的水分含量難以精細(xì)控制,，水分過(guò)多不僅會(huì)改變漿料的化學(xué)性質(zhì),，影響電極材料與集流體的附著力，還可能在后續(xù)干燥過(guò)程中引發(fā)氣泡，導(dǎo)致電極表面出現(xiàn)孔洞，增加電池內(nèi)阻,，降低電池的能量密度和充放電效率。四川環(huán)境空調(diào)高精密溫濕度控制設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h,。

在高濕度環(huán)境中，空氣里水汽含量增大，這對(duì)光學(xué)儀器而言，無(wú)疑是巨大的威脅,。儀器內(nèi)部的鏡片猶如極易受潮的精密元件，當(dāng)水汽附著其上,，便會(huì)在表面悄然形成一層輕薄且均勻的水膜,。這層水膜宛如光線傳播的阻礙，大幅降低光線的透過(guò)率,，致使成像亮度明顯減弱,，對(duì)比度也隨之降低,，觀測(cè)視野仿佛被蒙上一層朦朧的薄紗,，原本清晰的景象變得模糊不清。倘若光學(xué)儀器長(zhǎng)期處于這樣的高濕度環(huán)境,，問(wèn)題將愈發(fā)嚴(yán)重,。水汽會(huì)逐漸滲透至鏡片與鏡筒的結(jié)合處，對(duì)金屬部件發(fā)起 “攻擊”,，使之遭受腐蝕,。隨著時(shí)間的推移，金屬部件被腐蝕得千瘡百孔,，無(wú)法穩(wěn)固地固定鏡片,，導(dǎo)致鏡片出現(xiàn)松動(dòng)現(xiàn)象，光路精度被進(jìn)一步破壞,。對(duì)于那些運(yùn)用鍍膜技術(shù)來(lái)提升光學(xué)性能的鏡片,，高濕度同樣是一大勁敵，它會(huì)使鍍膜層受損,，鏡片的抗反射能力大打折扣,，進(jìn)而嚴(yán)重影響成像效果，讓光學(xué)儀器難以發(fā)揮應(yīng)有的作用。

精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體,、控制系統(tǒng),、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器,、制冷(熱)系統(tǒng),、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,，為光刻機(jī),、激光干涉儀等精密測(cè)量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度,、潔凈度的工作環(huán)境,。該設(shè)備內(nèi)部通過(guò)風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度,。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí),、一級(jí),，溫度波動(dòng)值±0.1℃、±0.05℃,、±0.01℃,、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來(lái),，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及監(jiān)測(cè)服務(wù),，獲得了眾多好評(píng)。針對(duì)一些局部溫度波動(dòng)精度要求比較高的區(qū)域,，可以采用局部氣浴的控制方式,，對(duì)局部進(jìn)行高精密溫控。

在電池制造流程里,，電解液的注入環(huán)節(jié)堪稱重中之重,，其對(duì)溫濕度的要求近乎嚴(yán)苛。哪怕是極其細(xì)微的溫度波動(dòng),，都可能引發(fā)電解液的密度與黏度發(fā)生改變,。這看似不起眼的變化，卻會(huì)直接干擾注液量的控制,。一旦注液量出現(xiàn)偏差,，電池內(nèi)部的電化學(xué)反應(yīng)便無(wú)法在正常狀態(tài)下進(jìn)行，導(dǎo)致電池容量大打折扣,，使用壽命也大幅縮短,。而當(dāng)濕度攀升過(guò)高,，空氣中游離的水分便會(huì)趁機(jī)混入電解液之中。這些水分會(huì)與電解液的成分發(fā)生化學(xué)反應(yīng),，生成一系列有害雜質(zhì),。這些雜質(zhì)會(huì)無(wú)情地腐蝕電池內(nèi)部結(jié)構(gòu)，嚴(yán)重破壞電池的穩(wěn)定性與安全性,，給電池的使用埋下諸多隱患,。為滿足多樣化需求，箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì),，可按需定制外觀顏色,。天津環(huán)境車間

精密環(huán)控柜可滿足可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí),、一級(jí)等不同潔凈度要求,。四川環(huán)境空調(diào)

航空航天零部件加工對(duì)于溫濕度精度的要求非常高，任何細(xì)微偏差都可能引發(fā)嚴(yán)重后果,。以航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片為例,，其復(fù)雜精妙的曲面造型，搭配極為嚴(yán)苛的性能標(biāo)準(zhǔn),，需要借助高精度數(shù)控機(jī)床,，通過(guò)銑削、打磨等一系列精細(xì)加工工序來(lái)完成,。然而,，一旦溫度出現(xiàn)波動(dòng)，機(jī)床的主軸,、導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件就會(huì)產(chǎn)生熱變形,，進(jìn)而導(dǎo)致刀具切削路徑偏離原本預(yù)設(shè)的軌跡，致使葉片曲面精度無(wú)法達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,，這將直接對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)的動(dòng)力輸出以及可靠性造成影響,。不僅如此,，濕度發(fā)生變化時(shí),，金屬切削刀具極易生銹，這不僅縮短刀具的使用壽命,，還會(huì)增加加工表面的粗糙度,，難以契合航空零部件對(duì)表面質(zhì)量近乎苛刻的要求。四川環(huán)境空調(diào)