在集成電路制造這一高精密的領(lǐng)域中,，芯片生產(chǎn)線(xiàn)上的光刻工序堪稱(chēng)關(guān)鍵的環(huán)節(jié),，其對(duì)溫濕度的要求近乎達(dá)到苛刻的程度,。即便是極其微小的 1℃溫度波動(dòng),，都可能引發(fā)嚴(yán)重后果,。光刻機(jī)內(nèi)部的光學(xué)鏡片會(huì)因熱脹冷縮,，致使光路發(fā)生細(xì)微偏移,。這看似毫厘之差，卻足以讓光刻圖案精度嚴(yán)重受損,，使得芯片上的電路布線(xiàn)出現(xiàn)偏差,，甚至短路等問(wèn)題，進(jìn)而大幅拉低芯片的良品率,。而在濕度方面,，一旦濕度突破 50% 的警戒線(xiàn)，光刻膠便極易受潮,，其感光度發(fā)生改變,，導(dǎo)致曝光效果大打折扣，無(wú)疑同樣對(duì)芯片質(zhì)量產(chǎn)生不可忽視的負(fù)面影響,。涉及超高精度的測(cè)量環(huán)境要求,，如±0.01-0.1℃ , 甚至更高波動(dòng)要求，則需要搭建精密環(huán)控系統(tǒng),。光學(xué)投影儀環(huán)境波動(dòng)度

電子萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī),，作為材料力學(xué)性能測(cè)試設(shè)備，在金屬材料研發(fā),、塑料制品質(zhì)量檢測(cè)等眾多領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,。它能夠開(kāi)展材料拉伸、壓縮,、彎曲等力學(xué)性能測(cè)試,，為產(chǎn)品質(zhì)量把控與材料特性研究提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。然而,，環(huán)境溫濕度的波動(dòng)對(duì)其影響極大,。溫度波動(dòng)時(shí)，試驗(yàn)機(jī)力傳感器的精度首先受到?jīng)_擊,，測(cè)量的力值出現(xiàn)偏差,，同時(shí)還會(huì)改變材料自身的力學(xué)性能，例如金屬在高溫下屈服強(qiáng)度降低,，導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果無(wú)法真實(shí)反映材料特性,。濕度波動(dòng)時(shí)，試驗(yàn)機(jī)的夾具,、傳動(dòng)部件極易生銹腐蝕,，致使對(duì)試樣的夾持穩(wěn)定性大打折扣,，加載均勻性也難以保證，進(jìn)一步降低測(cè)試精度,。電子顯微鏡環(huán)境調(diào)節(jié)高精密恒溫恒濕潔凈環(huán)境的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行離不開(kāi)具有高精度傳感器的恒溫恒濕設(shè)備,。

電子顯微鏡用于觀察微觀世界，其內(nèi)部的電子束對(duì)環(huán)境要求極高,。環(huán)境中的塵埃顆?？赡芪皆陔娮邮窂缴系牟考砻妫绊懗上褓|(zhì)量,。精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制,，將空氣中塵埃過(guò)濾干凈，為電子顯微鏡提供超潔凈空間,。同時(shí),，其具備的抗微震功能，能有效隔絕外界震動(dòng)干擾,，確保電子顯微鏡穩(wěn)定成像,，讓科研人員清晰觀察微觀結(jié)構(gòu)。對(duì)于光學(xué)顯微鏡,，溫度和濕度變化會(huì)影響鏡片的光學(xué)性能,。濕度不穩(wěn)定可能導(dǎo)致鏡片表面產(chǎn)生水汽凝結(jié)，降低光線(xiàn)透過(guò)率,。精密環(huán)控柜通過(guò)溫濕度控制,，為光學(xué)顯微鏡提供穩(wěn)定環(huán)境，保證其光學(xué)性能穩(wěn)定,，成像清晰,。

光刻設(shè)備對(duì)溫濕度的要求也極高，光源發(fā)出的光線(xiàn)需經(jīng)過(guò)一系列復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)聚焦到硅片表面特定區(qū)域,，以實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻膠的曝光,，將設(shè)計(jì)好的電路圖案印制上去。當(dāng)環(huán)境溫度出現(xiàn)極其微小的波動(dòng),，哪怕只是零點(diǎn)幾攝氏度的變化，光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件就會(huì)因熱脹冷縮特性而產(chǎn)生細(xì)微的尺寸改變,。這些光學(xué)元件包括鏡片,、反射鏡等，它們的微小位移或形狀變化,，會(huì)使得光路發(fā)生偏差,。原本校準(zhǔn)、聚焦于硅片特定坐標(biāo)的光線(xiàn),，就可能因?yàn)楣饴返母淖兌x預(yù)定的曝光位置,，出現(xiàn)曝光位置的漂移,。系統(tǒng)詳細(xì)記錄運(yùn)行信息，無(wú)論是日常運(yùn)行還是突發(fā)故障,，查詢(xún)檢索都能準(zhǔn)確定位所需,。

在計(jì)量校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室中，高精度的電子天平用于精確稱(chēng)量微小質(zhì)量差異,，對(duì)環(huán)境溫濕度要求極高,。若溫度突然升高 2℃，天平內(nèi)部的金屬部件受熱膨脹,，傳感器的靈敏度隨之改變,，原本能測(cè)量到微克級(jí)別的質(zhì)量變化，此時(shí)卻出現(xiàn)讀數(shù)偏差,，導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果失準(zhǔn),。濕度方面，當(dāng)濕度上升至 70% 以上,，空氣中的水汽容易吸附在天平的稱(chēng)量盤(pán)及內(nèi)部精密機(jī)械結(jié)構(gòu)上,，增加了額外的重量，使得測(cè)量數(shù)據(jù)偏大,，無(wú)法反映被測(cè)量物體的真實(shí)質(zhì)量,，進(jìn)而影響科研實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可靠性以及工業(yè)生產(chǎn)中原材料配比度。精密環(huán)控柜為我司自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品,。光學(xué)投影儀環(huán)境潔凈棚

關(guān)于防微振,，除了控制風(fēng)速降低振動(dòng)外，在地面增加隔振基礎(chǔ),，可有效降低外部微振動(dòng)的傳遞,。光學(xué)投影儀環(huán)境波動(dòng)度

激光干涉儀用于測(cè)量微小位移，精度可達(dá)納米級(jí)別,。溫度波動(dòng)哪怕只有 1℃,，由于儀器主體與測(cè)量目標(biāo)所處環(huán)境溫度不一致，二者熱脹冷縮程度不同,，會(huì)造成測(cè)量基線(xiàn)的微妙變化,，導(dǎo)致測(cè)量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差，在高精度機(jī)械加工零件的尺寸檢測(cè)中,，這種偏差可能使零件被誤判為不合格品,，增加生產(chǎn)成本。高濕度環(huán)境下,，水汽會(huì)干擾激光的傳播路徑,，使激光發(fā)生散射，降低干涉條紋的對(duì)比度,，影響測(cè)量人員對(duì)條紋移動(dòng)的精確判斷,，進(jìn)而無(wú)法準(zhǔn)確獲取位移數(shù)據(jù),，給精密制造、航空航天等領(lǐng)域的科研與生產(chǎn)帶來(lái)極大困擾,。光學(xué)投影儀環(huán)境波動(dòng)度