超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點(diǎn),。其自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),，使得控制輸出精度達(dá)到驚人的 0.1% ,，這意味著對(duì)溫度的調(diào)控能夠精細(xì)到極小的范圍。設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK (靜態(tài)) ,，無(wú)論外界環(huán)境如何變化,，都能保證關(guān)鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài)。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ,，滿(mǎn)足不同用戶(hù)對(duì)溫度的個(gè)性化需求,。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ，確保柜內(nèi)各個(gè)角落的溫度幾乎一致,，避免因溫度差異導(dǎo)致的實(shí)驗(yàn)誤差或產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題,。再加上設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h ，以及壓力穩(wěn)定性可達(dá) +/-3Pa ,，連續(xù)穩(wěn)定工作時(shí)間大于 144h ,，為對(duì)溫濕度、壓力要求苛刻的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障,，讓長(zhǎng)時(shí)間的科研實(shí)驗(yàn)和精密制造得以順利進(jìn)行,。設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性高，可連續(xù)穩(wěn)定工作時(shí)間大于 144h,。山西環(huán)境設(shè)備

對(duì)于光學(xué)儀器,，溫度哪怕有細(xì)微變化，都會(huì)引發(fā)諸多問(wèn)題,。由于大多數(shù)光學(xué)儀器采用了玻璃鏡片,、金屬鏡筒等不同材質(zhì)的部件，這些材料熱膨脹系數(shù)各異,。當(dāng)溫度升高時(shí),，鏡片會(huì)膨脹，鏡筒等支撐結(jié)構(gòu)也會(huì)發(fā)生相應(yīng)變化,，若膨脹程度不一致,，就會(huì)使鏡片在鏡筒內(nèi)的位置精度受到影響，光路隨之發(fā)生偏差。例如在顯微鏡觀察中,，原本清晰聚焦的樣本圖像會(huì)突然變得模糊,，科研人員無(wú)法準(zhǔn)確獲取樣本細(xì)節(jié)，影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性,。對(duì)于望遠(yuǎn)鏡而言,，溫度波動(dòng)導(dǎo)致的光路變化，會(huì)讓觀測(cè)天體時(shí)的成像偏離理想位置,，錯(cuò)過(guò)重要天文現(xiàn)象的記錄,。0.1℃環(huán)境方案針對(duì)光學(xué)鏡片研磨車(chē)間，提供穩(wěn)定溫濕度,，保證鏡片加工精度,。

在精密機(jī)械加工領(lǐng)域，高精度數(shù)控機(jī)床是加工航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片等關(guān)鍵零部件的重要裝備,，其加工精度直接影響航空發(fā)動(dòng)機(jī)性能,。溫濕度波動(dòng)對(duì)加工過(guò)程影響明顯。若溫度不穩(wěn)定,，機(jī)床的主軸,、導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件會(huì)因熱脹冷縮產(chǎn)生熱變形，導(dǎo)致刀具切削路徑偏離預(yù)設(shè)軌跡,，加工出的葉片曲面精度無(wú)法達(dá)到設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn),，進(jìn)而影響發(fā)動(dòng)機(jī)性能。當(dāng)車(chē)間濕度升高,，金屬切削刀具容易生銹,，刀具使用壽命縮短，且加工表面粗糙度增加,，難以滿(mǎn)足精密零件對(duì)表面質(zhì)量的嚴(yán)格要求 ,。

高精密恒溫恒濕技術(shù)憑借其無(wú)可比擬控制系統(tǒng)，為眾多場(chǎng)景帶來(lái)穩(wěn)定且理想的環(huán)境,。這一技術(shù)通過(guò)高精度傳感器,，對(duì)環(huán)境溫濕度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，誤差能控制在極小范圍內(nèi),，溫度可至 ±0.0002℃,，濕度穩(wěn)定在 ±1%。其原理在于智能調(diào)控系統(tǒng),，依據(jù)設(shè)定參數(shù),，迅速調(diào)節(jié)制冷、制熱與加濕,、除濕設(shè)備,。當(dāng)溫度升高，制冷系統(tǒng)快速啟動(dòng)，降低溫度,；濕度上升時(shí),，高效除濕裝置立即運(yùn)作。在諸多需要嚴(yán)苛環(huán)境條件的場(chǎng)景中,，它都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。例如,，在需要長(zhǎng)期保存對(duì)環(huán)境敏感的珍貴物品或樣本時(shí),，它能防止物品因溫濕度變化變質(zhì)、損壞,。在進(jìn)行精密實(shí)驗(yàn)時(shí),，穩(wěn)定的溫濕度為實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與可靠性提供保障，避免因環(huán)境波動(dòng)干擾實(shí)驗(yàn)結(jié)果,?？傊呔芎銣睾銤窦夹g(shù)是維持環(huán)境穩(wěn)定,、保障各類(lèi)工作順利開(kāi)展的重要支撐,。在芯片、半導(dǎo)體,、精密加工,、精密測(cè)量等領(lǐng)域，利用其精密溫濕度控制,，保證生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定,。

在芯片這一高科技產(chǎn)品的復(fù)雜生產(chǎn)流程里，眾多環(huán)節(jié)對(duì)溫濕度的波動(dòng)展現(xiàn)出了近乎苛刻的精密度要求,。光刻過(guò)程中,，利用高精度的光刻設(shè)備，將預(yù)先設(shè)計(jì)好的復(fù)雜電路圖案轉(zhuǎn)移至硅片表面,。溫度的穩(wěn)定性起著決定性作用,，哪怕有零點(diǎn)幾攝氏度的微小波動(dòng)，都會(huì)使光刻膠內(nèi)部的化學(xué)反應(yīng)速率產(chǎn)生偏差,。光刻膠作為一種對(duì)光敏感的高分子材料,，其反應(yīng)速率的改變將直接作用于光刻成像效果，致使圖案邊緣模糊,、線條粗細(xì)不均,，進(jìn)而讓芯片上的線路出現(xiàn)偏差，甚至引發(fā)短路故障,，讓前期投入的大量人力,、物力和時(shí)間付諸東流。與此同時(shí)，濕度因素同樣不可小覷,。光刻車(chē)間若濕度偏高,，水汽極易滲透至光刻膠內(nèi)部，使其含水量上升,，感光度隨之降低,，如同給精密的 “光刻鏡頭” 蒙上一層霧靄，嚴(yán)重影響光刻精度,，導(dǎo)致芯片良品率大打折扣,，大幅增加生產(chǎn)成本。精密環(huán)控柜為我司自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品,。安徽高精度環(huán)境

精密環(huán)控柜可滿(mǎn)足可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí),、十級(jí)、一級(jí)等不同潔凈度要求,。山西環(huán)境設(shè)備

精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體,、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng),、潔凈過(guò)濾器,、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng),、局部氣浴等組成,，為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測(cè)量,、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度,、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過(guò)風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),，控制系統(tǒng)對(duì)循環(huán)氣流的每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí),、十級(jí),、一級(jí)，溫度波動(dòng)值±0.1℃,、±0.05℃,、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制,。自面世以來(lái),，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶(hù)提供了穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及監(jiān)測(cè)服務(wù)，獲得了眾多好評(píng),。山西環(huán)境設(shè)備