精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體,、控制系統(tǒng),、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器,、制冷(熱)系統(tǒng),、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成,，為光刻機(jī),、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度,、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán),，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,，從而使柜內(nèi)的溫濕度達(dá)到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級,、十級,、一級，溫度波動值±0.1℃,、±0.05℃,、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制,。自面世以來,，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù)，獲得了眾多好評,。針對一些局部溫度波動精度要求比較高的區(qū)域,，可以采用局部氣浴的控制方式，對局部進(jìn)行高精密溫控,。山東溫濕度選型

芯片蝕刻時,，刻蝕速率的均勻性對芯片電路完整性至關(guān)重要,。溫度波動如同 “蝴蝶效應(yīng)”，可能引發(fā)刻蝕過度或不足,。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制,，以及可達(dá) ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常,，保障芯片蝕刻質(zhì)量,。芯片沉積與封裝過程中，精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用,。其可實(shí)現(xiàn)百級以上潔凈度控制,，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片,，防止水汽對芯片材料的不良影響,，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠,。高精密溫濕度設(shè)備成本這些高精度傳感器能夠精確感知環(huán)境參數(shù)的變化,，為精確控制提供基礎(chǔ)。

在芯片這一高科技產(chǎn)品的復(fù)雜生產(chǎn)流程里,，眾多環(huán)節(jié)對溫濕度的波動展現(xiàn)出了近乎苛刻的精密度要求,。光刻過程中，利用高精度的光刻設(shè)備,，將預(yù)先設(shè)計(jì)好的復(fù)雜電路圖案轉(zhuǎn)移至硅片表面,。溫度的穩(wěn)定性起著決定性作用，哪怕有零點(diǎn)幾攝氏度的微小波動,，都會使光刻膠內(nèi)部的化學(xué)反應(yīng)速率產(chǎn)生偏差,。光刻膠作為一種對光敏感的高分子材料，其反應(yīng)速率的改變將直接作用于光刻成像效果,，致使圖案邊緣模糊,、線條粗細(xì)不均，進(jìn)而讓芯片上的線路出現(xiàn)偏差,，甚至引發(fā)短路故障,，讓前期投入的大量人力、物力和時間付諸東流,。與此同時,，濕度因素同樣不可小覷。光刻車間若濕度偏高,，水汽極易滲透至光刻膠內(nèi)部,，使其含水量上升，感光度隨之降低,，如同給精密的 “光刻鏡頭” 蒙上一層霧靄,，嚴(yán)重影響光刻精度,，導(dǎo)致芯片良品率大打折扣，大幅增加生產(chǎn)成本,。

光刻設(shè)備對溫濕度的要求也極高,，光源發(fā)出的光線需經(jīng)過一系列復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)聚焦到硅片表面特定區(qū)域，以實(shí)現(xiàn)對光刻膠的曝光,，將設(shè)計(jì)好的電路圖案印制上去,。當(dāng)環(huán)境溫度出現(xiàn)極其微小的波動，哪怕只是零點(diǎn)幾攝氏度的變化,，光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件就會因熱脹冷縮特性而產(chǎn)生細(xì)微的尺寸改變,。這些光學(xué)元件包括鏡片、反射鏡等,，它們的微小位移或形狀變化,，會使得光路發(fā)生偏差。原本校準(zhǔn),、聚焦于硅片特定坐標(biāo)的光線,，就可能因?yàn)楣饴返母淖兌x預(yù)定的曝光位置，出現(xiàn)曝光位置的漂移,。為適配不同安裝場景,，其運(yùn)用可拆卸鋁合金框架，支持現(xiàn)場靈活組裝,。

我司憑借深厚的技術(shù)積累,，自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù)，精度高達(dá) 0.1% 的控制輸出,。溫度波動值可實(shí)現(xiàn)±0.1℃,、±0.05℃、±0.01℃,、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制,。該系統(tǒng)潔凈度可實(shí)現(xiàn)百級,、十級,、一級,。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK（靜態(tài)）的溫度穩(wěn)定性，以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,，為諸如芯片研發(fā)這類對溫度極度敏感的項(xiàng)目,，打造了近乎完美的溫場環(huán)境，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾,。同時,，設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h,，壓力穩(wěn)定性可達(dá)+/-3Pa，長達(dá) 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長時間實(shí)驗(yàn)和制造無后顧之憂,。在潔凈度方面,，實(shí)現(xiàn)百級以上潔凈度控制，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,，確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性,，也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。采用節(jié)能技術(shù),，在保障高性能的同時降低能耗,，為企業(yè)節(jié)省運(yùn)營成本。甘肅實(shí)驗(yàn)室溫濕度

設(shè)備采用EC 風(fēng)機(jī),，運(yùn)行時更加靜音,，高效。山東溫濕度選型

在精密機(jī)械加工領(lǐng)域,，高精度數(shù)控機(jī)床是加工航空發(fā)動機(jī)葉片等關(guān)鍵零部件的重要裝備,，其加工精度直接影響航空發(fā)動機(jī)性能。溫濕度波動對加工過程影響明顯,。若溫度不穩(wěn)定,，機(jī)床的主軸、導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件會因熱脹冷縮產(chǎn)生熱變形,，導(dǎo)致刀具切削路徑偏離預(yù)設(shè)軌跡，加工出的葉片曲面精度無法達(dá)到設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn),，進(jìn)而影響發(fā)動機(jī)性能,。當(dāng)車間濕度升高，金屬切削刀具容易生銹,，刀具使用壽命縮短,，且加工表面粗糙度增加,，難以滿足精密零件對表面質(zhì)量的嚴(yán)格要求 ,。山東溫濕度選型