已被廣泛應(yīng)用于新型太陽能電池,、光電探測器和光電存儲器等領(lǐng)域,。batio3是一種典型的鈣鈦礦型鐵電材料,其居里溫度大約為120℃,,介電常數(shù)在室溫下高達幾千,,具有良好的鐵電性能。對于一個對稱性的晶胞而言,,由于正負電荷中心相互重合,,則晶體無法自發(fā)極化。為了提高鐵電晶體的極化特性,,通過摻雜改變原子的位移,,可以使晶胞結(jié)構(gòu)發(fā)生畸變,,正負電荷中心將難以重合,從而產(chǎn)生自發(fā)極化,。本發(fā)明中,,申請人采用靜電紡絲技術(shù)制備sr摻雜batio3,改變batio3的晶胞結(jié)構(gòu),,提高batio3的極化能力,,從而在znte表面引入表面極化電場,促進batio3/znte界面電荷分離,,達到選擇性分離znte載流子的目的,,為**光陰極材料的開發(fā)提供了一個普適的方法。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,,提供一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法,。其目的在于利用sr摻雜batio3的極化電場來促進znte光電極材料載流子的**分離,從而提高znte材料光電催化co2還原的活性,。本發(fā)明的目的通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):本發(fā)明提供一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法,。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,,主要負責(zé)研發(fā)和銷售工作,。世華高專業(yè)研究硅光電二極管。溫州硅pin硅光電二極管接法
6)在sio2層104,、si3n4層105上刻出接觸孔,,然后濺射金屬,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極106,;7)在襯底107的背面做金屬化處理形成背面電極108,。進一步的,所述的襯底107采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料,;襯底107直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸,;所述的高反層109是由折射率~~,通過化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜技術(shù)生成,;所述的外延層101的電阻率為500~1000ohm·cm,,外延層101的厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng);所述的保護環(huán)102為as離子源注入,,注入劑量為1e15~2e15,。所述的有源區(qū)103為b離子源注入,注入劑量為1e15~2e15,;所述的正面金屬電極106是在濺射al之后刻蝕形成,。具體的,包括以下操作:1)以在n+摻雜硅材料作為襯底107,,在其上通過化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜生成厚度3~5um的高反層109,;其中,。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,,主要負責(zé)研發(fā)和銷售工作,。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負責(zé)光電器件的制造,。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管,、光電三極管、紅外線接收頭,、發(fā)射管,、發(fā)光二極管、硅光電池,、霍爾元件,、光電開關(guān)、光電編碼器,、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等,。經(jīng)過十余年的發(fā)展?;葜莨鑠in硅光電二極管型號硅光電二極管供應(yīng)商就找世華高,!
控制煅燒溫度為350℃,,煅燒時間為3h,,即可得sr摻雜batio3/znte光電極。圖1為sr摻雜batio3納米纖維的掃描電鏡圖,,可以看到sr摻雜batio3納米纖維表面很光滑,,纖維直徑在400nm左右,長度可達幾十微米,,纖維之間相互交疊,,形成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。圖2為znte水熱生長在sr摻雜batio3納米纖維表面后的掃描電鏡圖,,由圖可知,。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,,主要負責(zé)研發(fā)和銷售工作,。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負責(zé)光電器件的制造,。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管,、光電三極管、紅外線接收頭,、發(fā)射管,、發(fā)光二極管,、硅光電池、霍爾元件,、光電開關(guān),、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等,。經(jīng)過十余年的發(fā)展,,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機構(gòu),,分布在中國,、印度、泰國,、伊朗,、香港等多個國家和地區(qū)。znte納米薄片均勻生長到sr摻雜batio3納米纖維表面,,兩者之間形成完美的核殼納米異質(zhì)結(jié)構(gòu),。實施例二稱取、,,依次加入2ml乙酸,、6ml乙醇和6ml水,攪拌一定時間,,使固體粉末完全溶解,;然后,加入,,攪拌24h,,得到紡絲溶液;移取7ml紡絲溶液到10ml注射器中,。
以p型離子注入形成有源區(qū),;所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層,所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層,;所述的正面金屬電極是在濺射后經(jīng)刻蝕成形,。所述外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層厚度wepi根據(jù)耗盡區(qū)寬度wd確定:wepi≈wd,,而wd≥w入/2,,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,,λ為入射光波長,。一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底上濺射生成高反層,;2)高反層開設(shè)刻蝕孔,;3)高反層上通過淀積的方法生長外延層,;4)在外延層上通過離子注入分別形成保護環(huán)和有源區(qū);5)在保護環(huán)和有源區(qū)上生成sio2層,,然后在sio2層上方生成si3n4層,;6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔,,然后濺射金屬,,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極;7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極,。所述的襯底采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料,;襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層是由折射率~~,,通過化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜技術(shù)生成,;所述的外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層的厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng),;所述的保護環(huán)為as離子源注入,,注入劑量為1e15~2e15。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,,總部設(shè)在深圳,。硅光電二極管電路圖就找世華高!
深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,,總部設(shè)在深圳,,主要負責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,,負責(zé)光電器件的制造,。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管,、紅外線接收頭、發(fā)射管,、發(fā)光二極管,、硅光電池、霍爾元件,、光電開關(guān),、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等,。經(jīng)過十余年的發(fā)展,,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機構(gòu),,分布在中國,、印度,、泰國、伊朗,、香港等多個國家和地區(qū),。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管及其制備方法,。背景技術(shù):硅基光電二極管由于其材料成本造工藝簡單,,響應(yīng)度峰值波長為940nm,在3dsensor,、紅外測距,、光通訊等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波長相關(guān),,波長越長,,入射越深,因此為了提高響應(yīng)度,,傳統(tǒng)光電二極管均選用高阻材料(電阻率2000~5000ohmcm)來提升耗盡區(qū)寬度,,從而達到提高響應(yīng)度的目的。隨著光電二極管在光通訊中的廣泛應(yīng)用,,光電二極管的響應(yīng)速度要求越來越高,,常規(guī)硅基光電二極管響應(yīng)時間為納秒級,已無法滿足數(shù)據(jù)傳輸率1gbps以上的應(yīng)用場景,,因此,。硅光電二極管具有體積小、功能多,、壽命長,、精度高、響應(yīng)速度快-世華高,。溫州硅pin硅光電二極管接法
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便于操作人員將高壓二極管硅疊從石英玻璃罩1中取出,;上固定板3的一側(cè)設(shè)有控制面板,,控制面板的一側(cè)固定設(shè)有電磁鐵開關(guān)、溫度檢測儀開關(guān),、熔深檢測儀開關(guān)和感應(yīng)線圈開關(guān),,電磁鐵6、溫度檢測儀13,、熔深檢測儀14分別通過電磁鐵開關(guān),、溫度檢測儀開關(guān)、熔深檢測儀開關(guān)和感應(yīng)線圈開關(guān)與外接電源電性連接。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,,總部設(shè)在深圳,,主要負責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,,負責(zé)光電器件的制造,。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管,、紅外線接收頭,、發(fā)射管、發(fā)光二極管,、硅光電池,、霍爾元件、光電開關(guān),、光電編碼器,、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展,,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進的半導(dǎo)體器件制造商,。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機構(gòu),分布在中國,、印度,、泰國、伊朗,、香港等多個國家和地區(qū),。感應(yīng)線圈16通過感應(yīng)線圈開關(guān)與高頻加熱電源電性連接,真空電磁閥9,、微型真空泵10,、氮氣電磁閥11和氮氣充氣泵12均通過plc控制器4與外接電源電性連接。具體使用時,,本實用新型一種高壓二極管硅疊中頻真空焊接系統(tǒng),,將待焊接硅疊放置在石英玻璃罩1下端的下固定板7上,放置好后,。溫州硅pin硅光電二極管接法