SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作,。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管,、光電三極管,、紅外線接收頭、發(fā)射管,、發(fā)光二極管,、硅光電池、霍爾元件,、光電開(kāi)關(guān),、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等,。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu),,分布在中國(guó),、印度、泰國(guó),、伊朗,、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。1.反向工作電壓必須大于10伏,。硅光電二極管的光電流隨反向工作電壓以及入射光強(qiáng)度的變化關(guān)系如圖③所示,。我們看到在反向工作電壓小于10伏時(shí),,平行曲線簇呈彎曲形狀(例如OA那段),,說(shuō)明光電流隨反向電壓變化是非線性的,,當(dāng)反向工作電壓大于10伏時(shí),光電流基本上不隨反向電壓增加而增加,,反映在平行曲線簇上就是平直那段(例如AB段),。由圖③清楚地看出在反向工作電壓大于10伏的條件下管子有較高的靈敏度。圖④表示在反向工作電壓大于10伏情況下,,光電流與入射光強(qiáng)度的關(guān)系,,從圖④看出在反向工作電壓大于10伏的條件下光電流隨入射光強(qiáng)度的變化基本上是線性的。上述這些,。硅光電二極管方案商,,一站式服務(wù)商世華高?;葜莨怆姽韫怆姸O管特性
具體實(shí)施方式下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)描述,,所述是對(duì)本發(fā)明的解釋而不是限定。參見(jiàn)圖1~圖4,,一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,,包括背面設(shè)有背面電極108的襯底107;襯底107正面依次設(shè)有高反層(109,、外延層101,、注入層、氧化硅層,、氮化硅層和正面金屬電極106,;所述的高反層109上開(kāi)設(shè)有用于形成電流路徑的刻蝕孔,以及與正面金屬電極106相對(duì)應(yīng)的刻蝕區(qū),;所述的注入層包括保護(hù)環(huán)102以及設(shè)在其內(nèi)的有源區(qū)103,;所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接,。進(jìn)一步的,,所述的襯底107為電阻率20~100為ohm·cm的硅基襯底,襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108,。所述的外延層101淀積在高反層109上,;在外延層101上分別以n型離子注入形成保護(hù)環(huán)102,以p型離子注入形成有源區(qū)103,;所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104,,所述的氮化硅層為淀積生長(zhǎng)的si3n4層105;所述的正面金屬電極106是在濺射后經(jīng)刻蝕成形,。參見(jiàn)圖2所示的光電二極管等效電路示意圖,,rsh為光電二極管關(guān)斷阻抗,rsh=∞,,rs為光電二極管串聯(lián)電阻,。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作,。汕頭光電硅光電二極管多少錢(qián)世華高硅光電二極管讓你體驗(yàn)許多智能化功能,!
深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作,。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造,。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管,、光電三極管、紅外線接收頭,、發(fā)射管,、發(fā)光二極管、硅光電池,、霍爾元件,、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器,、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等,。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商,。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu),,分布在中國(guó)、印度,、泰國(guó),、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū),??字睆綖?5um,孔間距35um,;也可以為同心環(huán)結(jié)構(gòu),,該同心環(huán)中心與金屬電極106中心重合,個(gè)環(huán)直徑與金屬電極106直徑相同,,相鄰環(huán)間距10um,,環(huán)中心距35um;正面金屬電極106下方的高反層需要刻蝕掉,,以增大同流能力,,降低擴(kuò)散電阻,提高響應(yīng)速度。進(jìn)一步的,,參見(jiàn)圖5-1~圖5-7,。本發(fā)明還提出一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底107上濺射生成高反層109,;2)高反層109開(kāi)設(shè)刻蝕孔;3)高反層109上通過(guò)淀積的方法生長(zhǎng)外延層101,;4)在外延層101上通過(guò)離子注入分別形成保護(hù)環(huán)102和有源區(qū)103,;5)在保護(hù)環(huán)102和有源區(qū)103上生成sio2層104,然后在sio2層上方生成si3n4層105,。
深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作,。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管,、光電三極管,、紅外線接收頭、發(fā)射管,、發(fā)光二極管,、硅光電池、霍爾元件,、光電開(kāi)關(guān),、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等,。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu),,分布在中國(guó),、印度、泰國(guó),、伊朗,、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。據(jù)外媒報(bào)道,,韓國(guó)浦項(xiàng)工科大學(xué)(PohangUniversityofScienceandTechnology)的一組研究人員已經(jīng)研發(fā)出近紅外(NIR)硅光電二極管,,比現(xiàn)有的光電二極管靈敏度高出三分之一。現(xiàn)有的近紅外光電二極管通常由化學(xué)材料制成,,需要單獨(dú)的冷卻裝置,,很難集成。而浦項(xiàng)工科大學(xué)Chang-KiBaek教授領(lǐng)導(dǎo)的一組研究人員采用沙漏型的硅納米線,增加了硅對(duì)紅外光的吸收,。位于納米線上方,,倒轉(zhuǎn)的納米錐通過(guò)產(chǎn)生回音壁式共振,延長(zhǎng)了近紅外-短波紅外(SWIR)光子的停留時(shí)間,,而下方的納米錐由于反射率低,,能夠重新吸收附近納米線的入射光。與現(xiàn)有的平板硅光電子二極管相比,,該納米線在1000納米波長(zhǎng)下,。硅光電二極管主流供應(yīng)商?世華高,!
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管及其制備方法,,在不影響光電二極管響應(yīng)度的前提下,解決了硅基光電二極管響應(yīng)速度慢的問(wèn)題,,實(shí)現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時(shí)提升,。本發(fā)明是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管,包括背面設(shè)有背面電極的襯底,;襯底正面依次設(shè)有高反層,、外延層、注入層,、氧化硅層,、氮化硅層和正面金屬電極;所述的高反層上開(kāi)設(shè)有用于形成電流路徑的刻蝕孔,,以及與正面金屬電極相對(duì)應(yīng)的刻蝕區(qū),;所述的注入層包括保護(hù)環(huán)以及設(shè)在其內(nèi)的有源區(qū);所述的正面金屬電極還貫穿氧化硅層,、氮化硅層與有源區(qū)相連接,。所述的襯底為電阻率20~100為ohm·cm的硅基襯底,襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極,。所述的高反層由折射率~~,;高反層上開(kāi)設(shè)的刻蝕孔為矩陣排列的圓形孔,或者為同心環(huán)形孔,。所述的刻蝕孔為均勻分布的圓形孔時(shí),,孔直徑為10~50um,孔間距為15~50um,,圓形孔的總面積為結(jié)面積的1/2,;所述的刻蝕孔為同心環(huán)形孔時(shí),同心環(huán)中心與正面金屬電極的中心重合,,同心環(huán)中心為刻蝕區(qū),,相鄰環(huán)間距5~20um,。所述的外延層淀積在高反層上;在外延層上分別以n型離子注入形成保護(hù)環(huán),。硅光電二極管接法供應(yīng)商選世華高,。汕頭光電硅光電二極管多少錢(qián)
硅光電池就找深圳世華高?;葜莨怆姽韫怆姸O管特性
深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作,。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,,負(fù)責(zé)光電器件的制造。由于2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制造的,,在高溫生長(zhǎng)氧化層的過(guò)程中,,容易在氧化層下面的硅單晶表面形成一層薄薄的N型層,。這一N型層與光敏面的N型層連在一起則使光電管在加上反向電壓后產(chǎn)生很大的表面漏電流,,因而使管子的暗電流變得很大。為了解決這個(gè)問(wèn)題,,在工藝上采取這樣一個(gè)措施,。即在光刻光敏面窗口的同時(shí)在光敏面周?chē)瑫r(shí)刻出一個(gè)環(huán)形窗口(見(jiàn)圖②),在這環(huán)形窗口中同時(shí)擴(kuò)散進(jìn)磷雜質(zhì)也形成一個(gè)N型層,,這就是環(huán)極,。當(dāng)我們給環(huán)極加上適當(dāng)?shù)恼妷汉螅贡砻媛╇娏鲝沫h(huán)極引出去,,這樣就減小了光敏面的漏電流即減小了光敏面的暗電流,,提高了2DU型硅光電管的穩(wěn)定性。特性與使用一,、特性。2CU型或2DU型硅光電二極管在性能上都有以下二個(gè)特點(diǎn),我們?cè)谑褂弥袘?yīng)予以注意,。1.反向工作電壓必須大于10伏,。硅光電二極管的光電流隨反向工作電壓以及入射光強(qiáng)度的變化關(guān)系如圖③所示。我們看到在反向工作電壓小于10伏時(shí),,平行曲線簇呈彎曲形狀(例如OA那段),,說(shuō)明光電流隨反向電壓變化是非線性的?;葜莨怆姽韫怆姸O管特性