激光干涉儀具有有線性測量鏡組,、角度測量鏡組,、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組,、激光器準直輔助鏡等等，實際使用中,，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,，以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調(diào)整的時間,。同時,，激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,，達到改變光路,，方便測量的目的。這需要，了解設(shè)備性能,、掌握測量技巧,，在滿足測量準確度的前提下活學(xué)活用。激光干涉儀是激光的應(yīng)用之一,。黑龍江自動化激光干涉儀

激光干涉儀以其優(yōu)異的亞納米精度和精密度普遍應(yīng)用于光學(xué)表面的評價,，在精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域用途普遍,。到激光干涉儀工作原理和一臺干涉儀所應(yīng)具備的基本組構(gòu),。激光干涉儀是精度較高的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進行定義,，可溯源至國家標準,。激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準直都會造成測得的距離和實際的運動距離之間有差異，此誤差被稱為余弦誤差,。當(dāng)激光測量系統(tǒng)與運動軸未準直時,，余弦誤差會使得測量的距離比實際距離要短。隨著未準直角度的增加,，誤差也跟著明顯增加,。天津通用激光干涉儀若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號,。

激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵,，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補償模塊,，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計,，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。功能廣,；可實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；可檢測數(shù)控機床,、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量,；可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準,。

激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器，隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn),，因其具有性能穩(wěn)定,、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點，已成為高精密機械生產(chǎn)中校準及補償?shù)臉藴蕛x器,，在機械制造,、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。激光干涉儀有單頻和雙頻之分,，單頻激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大,，一般用于特定環(huán)境的實驗室。雙頻激光干涉儀應(yīng)用頻率變化來測量位移,，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,，抗干擾能力強，普遍應(yīng)用于各種工況下,。激光干涉儀應(yīng)避免在溫度變化大,、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測量,。

激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡,，比較后重新匯聚返回激光干涉儀,。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號,。若光程差有變化時,，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。當(dāng)高壓連接在陽極和陰極之間時,，混合氣體被激發(fā),，形成激光光束，通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束,。其中,，為實現(xiàn)平衡狀態(tài),，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi)，此時穩(wěn)定輸出后,，激光器即可進行干涉測量,。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出,。激光干涉儀可直接用于高精度,、大 尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。山西激光干涉儀服務(wù)價格

激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,。黑龍江自動化激光干涉儀

激光干涉儀輔助工具的選擇：雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,，但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具：①研制低高度云臺支架；部分機床工作臺高度與地面是基本相平的,，那么測量Z軸時,，如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面，則肯定會因為三角架本身的高度,，損失測量范圍,。②選擇磁性表座；磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具,，選擇時需要注意,，表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿，主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),，在測量時,，往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。黑龍江自動化激光干涉儀