激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡,，比較后重新匯聚返回激光干涉儀,。若光程差沒有變化時,，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化,。當高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激發(fā),，形成激光光束,，通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,，為實現(xiàn)平衡狀態(tài),，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩(wěn)頻的精度保持在±0.05ppm以內(nèi)，此時穩(wěn)定輸出后,，激光器即可進行干涉測量,。如今大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出,。激光干涉儀的測量讀數(shù)均與激光波長有關。湖南激光干涉儀誠信合作

激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束,，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路,，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù),，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù)),，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。上海高精度激光干涉儀激光干涉儀在相關軟件的配合下,，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,。

激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數(shù)控設備（加工中心,、三座標測量機等）的位置精度（定位精度,、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度,、直線度,、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體,，具有測量精度高,、測量速度快,、測量范圍大、測速下分辨率高等特點,，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準,。因此，激光干涉儀普遍應用于數(shù)控機床,、PCB鉆孔機,、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā),、設備制造等領域,。

單頻激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路,，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋,。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,，經(jīng)整形,、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數(shù)),，算出可動反射鏡的位移量L,。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果,。激光干涉儀具有快速、高準確測量的優(yōu)點,。

雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,，但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具：研制低高度云臺支架。部分機床工作臺高度與地面是基本相平的,，那么測量Z軸時,，如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面，則肯定會因為三角架本身的高度,，損失測量范圍,。磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時需要注意,，表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿,，主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座)，在測量時,，往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝,。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差。天津通用激光干涉儀

激光干涉儀可以進導軌的動態(tài)特性分析等,。湖南激光干涉儀誠信合作

激光干涉儀以光波為載體,，具有測量精度高,、測量速度快、測量范圍大,、較高測速下分辨率高等特點,，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,，激光干涉儀普遍應用于數(shù)控機床,、PCB鉆孔機、坐標測量機,、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準以及科研開發(fā),、設備制造等領域。激光干涉儀的工作原理：激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束,，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,，這兩道光束再反射回到分光鏡，然后重新匯聚返回激光干涉儀,。若光程差沒有變化時,，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化湖南激光干涉儀誠信合作