半導(dǎo)體工業(yè)中,,我們通過(guò)光刻技術(shù)制造和控制晶圓。其中蝕刻是該過(guò)程的主要環(huán)節(jié),,當(dāng)在晶圓表面蝕刻時(shí),,可使用等離子體監(jiān)測(cè)蝕刻穿過(guò)晶圓層,并確定等離子體何時(shí)完全蝕刻特定層并到達(dá)下一層,。通過(guò)監(jiān)測(cè)在蝕刻期間由等離子體產(chǎn)生的發(fā)射線,,可精確追蹤蝕刻過(guò)程。等離子體監(jiān)測(cè)可為樣品提供詳細(xì)元素分析,,并確定在控制基于等離子體的過(guò)程中所需的關(guān)鍵等離子體參數(shù),。等離子體發(fā)射特征譜線可用于識(shí)別存在的元素,強(qiáng)度可用于實(shí)時(shí)量化粒子和電子密度,。校準(zhǔn)光源-2系列覆蓋UV-NIR-多個(gè)不同波長(zhǎng)的光源供選擇,。福建光譜儀用光源
比色皿架:USB-LS-450是集成的多用途LED光源模塊,特別為USB4000-FL光譜儀(或者是老型號(hào)USB2000-FL)配套設(shè)計(jì),。這種光譜儀不只是體積小巧,,而且即插即用,可以連接到任何桌面或者筆記本電腦的USB端口,。USB-LS-450可以用于常規(guī)的熒光實(shí)驗(yàn),,或者成為光纖氧傳感系統(tǒng)的一部分。USB-LS-450特點(diǎn):簡(jiǎn)化的LED光譜儀接口—LED可連接光譜儀,,同過(guò)USB接口連接到任何桌面或者筆記本電腦,。體積小巧—LED光譜儀連接后額的尺寸大約為一副半紙牌的體積。安徽熒光光源有配件嗎氫氣是可添加到氬等離子體中以改變等離子體性質(zhì)的二次氣體,。
激發(fā)光源的選擇很多樣,,比如LED光源、激光等等,。如果您選擇使用LED,,那LED的中心波長(zhǎng)比較好接近激發(fā)光源波長(zhǎng),;如果您選擇激光,激光的強(qiáng)度比較好要能被光譜儀檢測(cè)到,,才能保證發(fā)射熒光能被檢測(cè)到。如果選擇使用帶寬光源(即連續(xù)光譜光源)作為激發(fā)光,,我們可以使用單色濾光片濾出單色光,。盡管熒光物質(zhì)的激發(fā)波長(zhǎng)與其吸收波長(zhǎng)不一致,但是一般情形下我們可以通過(guò)簡(jiǎn)單的吸光度測(cè)試來(lái)判斷熒光物質(zhì)的激發(fā)波長(zhǎng),。當(dāng)我們對(duì)比吸光度光譜和發(fā)射光譜時(shí),,大多數(shù)情況下還是很類似的,只是相對(duì)強(qiáng)度會(huì)有差異,。
帶通濾光片是窄化激發(fā)光源的簡(jiǎn)單選擇,,該濾光片由長(zhǎng)通和短通兩塊濾光片組成,通過(guò)調(diào)節(jié)短通濾光片的位置,,可以實(shí)現(xiàn)單色激發(fā)光,。如果未知熒光物質(zhì)的激發(fā)波長(zhǎng),我們推薦客戶使用可調(diào)線性濾光片,,比如海洋光學(xué)的產(chǎn)品LVF-HL,,客戶可以自行通過(guò)調(diào)節(jié)濾光片找到適合的激發(fā)波長(zhǎng),??烧{(diào)式的帶通濾光片,可以設(shè)置帶寬20nm到100nm不等的單色波,,還可以單獨(dú)使用長(zhǎng)通和短通濾光片,,設(shè)置起始波長(zhǎng)和截止波長(zhǎng)。標(biāo)準(zhǔn)熒光測(cè)試系統(tǒng)采用與激發(fā)光90°角的位置接收熒光,,這樣的收光方式很大程度上減小了透射光與散射光的影響,。模塊化的熒光測(cè)量系統(tǒng)比較大的優(yōu)點(diǎn)在于在使用單個(gè)激發(fā)光源和檢測(cè)器的情況下,它能快,、簡(jiǎn)單地,、快速遞獲得即時(shí)數(shù)據(jù)。通過(guò)改變光纖的連接位置,,可以實(shí)現(xiàn)0°,90°和180°的不同收光角度,,從而對(duì)樣品進(jìn)行不同形式的光學(xué)測(cè)量。另外,,我們還可以選擇可浸入式的探頭,,或者可調(diào)節(jié)帶寬光學(xué)濾光片,針對(duì)不同的應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行熒光測(cè)試,。利用紫色LED激發(fā)紅,、綠,、藍(lán)三色熒光粉可得到白光,發(fā)光效率較藍(lán)光LED與黃色熒光粉高,,顯色指數(shù)更好,。
低電壓光源:輻照度校準(zhǔn)是指用一臺(tái)已知光譜輸出功率的燈來(lái)校準(zhǔn)光譜儀每個(gè)像元下的響應(yīng)強(qiáng)度。輻射校準(zhǔn)改變了整個(gè)光譜的形狀和大小,,校正了儀器的單個(gè)儀器響應(yīng)函數(shù)(IRF),。通過(guò)輻射校準(zhǔn)后的光譜的單位是單位面積單位波長(zhǎng)的功率輸出,通常單位表達(dá)為μW/cm2*nm,。請(qǐng)注意,,輻照度不是這個(gè)量值的技術(shù)性的正確術(shù)語(yǔ),這個(gè)量值是依賴波長(zhǎng)的,,它的正確術(shù)語(yǔ)應(yīng)該是光譜輻照度,。光學(xué)元件(比如透鏡或光纖)的數(shù)值孔徑是一個(gè)無(wú)單位的量,它描述了光學(xué)元件可以發(fā)射和接收光的角度范圍,。比如:一個(gè)有很高數(shù)值孔徑的光纖,,具有更大的接收入射光的錐形接受角。所有的海洋光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)玻璃光纖電纜的數(shù)值孔徑都為0.22,,在空氣端產(chǎn)生12.7°的接受角,。在任何復(fù)合的光學(xué)系統(tǒng)中有效數(shù)值孔徑都是由光學(xué)系統(tǒng)中小的數(shù)值孔徑?jīng)Q定的。對(duì)于透鏡和反射鏡,,一個(gè)與數(shù)值孔徑有關(guān)的量,,稱作F數(shù),也可以用來(lái)描述入射光的錐形接受角,。光經(jīng)過(guò)衰減器前端準(zhǔn)直透鏡進(jìn)入衰減器后,,在狹縫邊緣會(huì)發(fā)生光衍射,導(dǎo)致衰減器在一定波長(zhǎng)段的衰減不成線性,。福建光譜儀用光源
HL-3和HL-3plus系列校準(zhǔn)Vis-NIR光源可用于光譜儀系統(tǒng)的光譜響應(yīng)校準(zhǔn),。福建光譜儀用光源
熒光檢測(cè)是一種自然發(fā)光反應(yīng),通過(guò)熒光素酶與 ATP進(jìn)行反應(yīng),,熒光檢測(cè)基于如下熒光產(chǎn)生原理,,即入射到物質(zhì)中的光子能量使組成該物質(zhì)的原子中的電子從基態(tài)躍遷至激發(fā)態(tài),又由于高能量激發(fā)態(tài)不穩(wěn)定而再躍遷回基態(tài),,并將多出的能量以光的形式釋放,,從而產(chǎn)生熒光。微型光纖光譜儀優(yōu)勢(shì):微型光纖光譜儀白光LED檢測(cè)中,,具有以下明顯的優(yōu)勢(shì):1.體積小巧,,適合原位在線監(jiān)測(cè);2.易于操作,、控制,;3.成本低,,適合工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)使用;4.色彩分辨率高,;5.可定量分析,。福建光譜儀用光源
蔚海光學(xué)儀器(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家生產(chǎn)型公司,。公司業(yè)務(wù)涵蓋紫外可見近紅外光纖光譜儀,,拉曼光譜儀,熒光光譜儀,,光纖、配件及光纖探頭等,,價(jià)格合理,,品質(zhì)有保證。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,,努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識(shí),,遵守行業(yè)規(guī)范,植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,。海洋光學(xué)憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品,、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來(lái)的聲譽(yù)和口碑,,讓企業(yè)發(fā)展再上新高,。