高效HJT電池整線裝備，物理的氣相沉積,，PVD優(yōu)點(diǎn)沉積速度快、基材溫升低,；所獲得的薄膜純度高,、致密性好,、成膜均勻性好；濺射工藝可重復(fù)性好,，精確控制厚度；膜層粒子的散射能力強(qiáng),，繞鍍性好；不同的金屬,、合金,、氧化物能夠進(jìn)行混合,，同時(shí)濺射于基材上；缺點(diǎn)：常規(guī)平面磁控濺射技術(shù)靶材利用率不高,，一般低于40％；在輝光放電中進(jìn)行,，金屬離化率較低。反應(yīng)等離子體沉,，RPD優(yōu)點(diǎn)：對(duì)襯底的轟擊損傷??；鍍層附著性能好，膜層不易脫落,；源材料利用率高，沉積速率高,；易于化合物膜層的形成,，增加活性,；鍍膜所使用的基體材料和膜材范圍廣。缺點(diǎn)：薄膜中的缺陷密度較高,，薄膜與基片的過渡區(qū)較寬，應(yīng)用中受到限制（特別是電子器件和IC）,；薄膜中含有氣體量較高。光伏異質(zhì)結(jié)電池PVD設(shè)備連續(xù)完成正背面TCO鍍膜,，產(chǎn)能高。廣州HJT異質(zhì)結(jié)PECVD

異質(zhì)結(jié)電池具備光電轉(zhuǎn)化效率提升潛力高,、更大的降成本空間、更高的雙面率,、可有效降低熱損失、更低的光致衰減,、制備工藝簡(jiǎn)單等特點(diǎn)，為光伏領(lǐng)域帶來了新的希望,。釜川（無錫）智能科技有限公司,，以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品，打造光伏設(shè)備一體化服務(wù),。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì)，憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力,，在清洗制絨設(shè)備,、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備,、電鍍銅設(shè)備等方面都有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)；以高效加工制造,、快速終端交付的能力，為客戶提供整線工藝設(shè)備的交付服務(wù),。鄭州高效硅異質(zhì)結(jié)銅電鍍產(chǎn)線異質(zhì)結(jié)電池具有環(huán)保、可持續(xù)的特點(diǎn),，能夠?yàn)槲磥淼目沙掷m(xù)發(fā)展做出重要貢獻(xiàn)。

高效異質(zhì)結(jié)電池整線設(shè)備,，HWCVD 1、熱絲化學(xué)氣相沉積(HotWireCVD,，HWCVD)是利用高溫?zé)峤z催化作用使SiH4分解來制備非晶硅薄膜,，對(duì)襯底無損傷,，且成膜質(zhì)量非常好，但鍍膜均勻性較差,，且熱絲作為耗材，成本較高,；2、HWCVD一般分為三個(gè)階段,，一是反應(yīng)氣體在熱絲處的分解反應(yīng)，二是基元向襯底運(yùn)輸過程中的氣相反應(yīng),，第三是生長薄膜的表面反應(yīng),。PECVD鍍膜均勻性較高,，工藝窗口寬，對(duì)襯底損傷較大。HWCVD是利用高溫?zé)峤z催化作用使SiH4分解來成膜,，對(duì)襯底無損傷，且成膜質(zhì)量好,，但鍍膜均勻性較差且成本較高,。

釜川自主研發(fā)的“零界”高效異質(zhì)結(jié)電池整線制造解決方案已實(shí)現(xiàn)設(shè)備國產(chǎn)化，該解決方案疊加了雙面微晶,、無銀或低銀金屬化工藝，提升了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率,、良率和產(chǎn)能，并極大降低了生產(chǎn)成本,。釜川以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品,，打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì),，憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力，在清洗制絨設(shè)備,、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備,、電鍍銅設(shè)備等方面的有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)；以高效加工制造,、快速終端交付的能力,，為客戶提供優(yōu)質(zhì)的整線工藝設(shè)備的交付服務(wù),。異質(zhì)結(jié)電池PECVD電源以RF和VHF為主。

光伏異質(zhì)結(jié)的效率提高可以從以下幾個(gè)方面入手：1.提高光吸收率：通過優(yōu)化材料的能帶結(jié)構(gòu)和厚度,，增加光吸收的有效路徑，提高光吸收率,，從而提高光電轉(zhuǎn)換效率,。2.提高載流子的收集效率：通過優(yōu)化電極結(jié)構(gòu)和材料,，減小電極與半導(dǎo)體之間的接觸電阻，提高載流子的收集效率,，從而提高光電轉(zhuǎn)換效率,。3.降低復(fù)合損失：通過控制材料的缺陷密度和表面狀態(tài),，減少載流子的復(fù)合損失，從而提高光電轉(zhuǎn)換效率,。4.提高光電轉(zhuǎn)換效率：通過優(yōu)化材料的能帶結(jié)構(gòu)和電子結(jié)構(gòu)，提高光電轉(zhuǎn)換效率,，從而提高光伏異質(zhì)結(jié)的效率。5.提高光伏電池的穩(wěn)定性：通過優(yōu)化材料的穩(wěn)定性和耐久性,，提高光伏電池的使用壽命和穩(wěn)定性,，從而提高光伏異質(zhì)結(jié)的效率。異質(zhì)結(jié)電池主工藝之一：PVD設(shè)備,。鄭州高效硅異質(zhì)結(jié)銅電鍍產(chǎn)線

光伏異質(zhì)結(jié)技術(shù)的廣泛應(yīng)用能夠推動(dòng)光伏產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展，促進(jìn)科技進(jìn)步和經(jīng)濟(jì)增長,。廣州HJT異質(zhì)結(jié)PECVD

質(zhì)結(jié)電池TCO薄膜的方法主要有兩種：RPD（特指空心陰極離子鍍)和PVD(特指磁控濺射鍍膜)；l該工藝主要是在電池正背面上沉積一層透明導(dǎo)電膜層,，通過該層薄膜實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電、減反射,、保護(hù)非晶硅薄膜的作用,，同時(shí)可以有效地增加載流子的收集,；l目前常用于HJT電池TCO薄膜為In2O3系列，如ITO（錫摻雜In2O3,，@PVD濺射法）、IWO（鎢摻雜In2O3，@RPD方法沉積）等,。HJT電池具備光電轉(zhuǎn)化效率提升潛力高、更大的降成本空間,。零界高效異質(zhì)結(jié)電池整線解決方案，實(shí)現(xiàn)設(shè)備國產(chǎn)化,，高效高產(chǎn)PVD DD CVD,。廣州HJT異質(zhì)結(jié)PECVD