光學(xué)平臺(tái)是一種高精度的光學(xué)定位系統(tǒng),，能夠精確控制反射鏡的位置和方向，從而實(shí)現(xiàn)高精度的光學(xué)定位,。其結(jié)構(gòu)通常由頂板,、底板、側(cè)板,、側(cè)面精加工貼臉,、蜂窩心和密封杯等部件組成。頂板和底板是光學(xué)平臺(tái)的基本結(jié)構(gòu),，通常由厚度為5毫米的優(yōu)良鋼板制成,。頂板和底板之間的蜂窩心結(jié)構(gòu)是光學(xué)平臺(tái)的主要部分，由多個(gè)小蜂窩結(jié)構(gòu)組成,，每個(gè)小蜂窩結(jié)構(gòu)都由精確的壓膜工具制成,，能夠通過焊接平墊片保證幾何間距。這種蜂窩心結(jié)構(gòu)不僅提供了堅(jiān)固的支撐,，還具有優(yōu)良的熱穩(wěn)定性和高精度的幾何穩(wěn)定性,。在半導(dǎo)體行業(yè)中，光學(xué)平臺(tái)用于鍍膜,、刻蝕等工藝的光學(xué)測(cè)試,。陜西光學(xué)平臺(tái)

光學(xué)平臺(tái)，光學(xué)平臺(tái)儀器的主要用途：(1) 實(shí)驗(yàn)研究：光學(xué)平臺(tái)儀器可以用于實(shí)驗(yàn)研究,，如光電子學(xué),、光學(xué)通訊、量子信息等領(lǐng)域的研究,。(2) 光學(xué)檢測(cè)：光學(xué)平臺(tái)儀器可以用于光學(xué)檢測(cè),，如檢測(cè)透鏡、棱鏡,、光柵等光學(xué)元件的光學(xué)特性,。(3) 量子技術(shù)：光學(xué)平臺(tái)儀器可以用于量子技術(shù)領(lǐng)域的研究，如量子糾纏,、量子密鑰分發(fā)等,。(4) 光譜分析：光學(xué)平臺(tái)儀器可以用于光譜分析，如吸收光譜、熒光光譜等,。(5) 醫(yī)療應(yīng)用：光學(xué)平臺(tái)儀器可以應(yīng)用于醫(yī)療領(lǐng)域,，如醫(yī)學(xué)影像、激光醫(yī)治等,?？偣鈱W(xué)平臺(tái)儀器是一種高精度、高穩(wěn)定性,、寬溫域,、高靈敏度的設(shè)備，普遍應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)研究,、光學(xué)檢測(cè),、量子技術(shù)、光譜分析和醫(yī)療應(yīng)用等領(lǐng)域,。福建三維光學(xué)平臺(tái)在光學(xué)成像中,，光學(xué)平臺(tái)提供了穩(wěn)定的基礎(chǔ)，有助于提高成像質(zhì)量,。

光學(xué)平臺(tái)設(shè)計(jì)性能要求：1.光學(xué)平臺(tái)的臺(tái)板結(jié)構(gòu)應(yīng)符合鋼性好,、質(zhì)量輕的特點(diǎn)，以保證平臺(tái)的共振頻率盡可能的高,，以便盡量減少可引起共振的普通振源數(shù)量,；2.柔量特性應(yīng)盡量接近理想剛體的柔量特性；3.平臺(tái)應(yīng)具有內(nèi)部阻尼機(jī)制,，從而在共振頻率下盡量減小平臺(tái)柔量,，并盡量可能在較短時(shí)間內(nèi)抑制住所有振動(dòng)。光學(xué)平臺(tái)設(shè)計(jì)性能檢測(cè),，平臺(tái)性能一般通過柔量量化曲線來體現(xiàn),，利用動(dòng)態(tài)信號(hào)分析儀進(jìn)行測(cè)量，柔量值越小,，平臺(tái)性能越好,。柔量檢測(cè)方法：1.利用脈沖錘使用經(jīng)過測(cè)量的力施加在平臺(tái)或面包板的上表面；2.通過安裝在平臺(tái)表面的加速度儀探測(cè)所產(chǎn)生的振動(dòng),，加速度儀的信號(hào)經(jīng)過分析器解讀之后生成頻率響應(yīng)頻譜(即柔量曲線),；3.一般測(cè)量位置處于臺(tái)邊 150mm 處，此位置所測(cè)數(shù)據(jù)表示平臺(tái)較差情況下的數(shù)據(jù),。

本文是光學(xué)平臺(tái)的基礎(chǔ)技術(shù)知識(shí)介紹,，使客戶朋友們更好了解光學(xué)平臺(tái)，定位光學(xué)平臺(tái)需求類型,。光學(xué)平臺(tái)的專業(yè)術(shù)語：1.振動(dòng)：通常被認(rèn)為是噪聲,，可以分為三大類：地震(地面)振動(dòng),、聲振動(dòng)和直接對(duì)工作面上的物體施加的力。2.阻尼：指任何使固體內(nèi)的振動(dòng)衰減為零振幅的過程,。它是真實(shí)系統(tǒng)里面抑制或隔離振動(dòng)時(shí)非常重要的現(xiàn)象,，因?yàn)樗鼤?huì)將能量從振動(dòng)轉(zhuǎn)化為其他形式耗散，阻尼是隔振平臺(tái)本身的振幅遞減特性,。3.柔量：針對(duì)光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)響應(yīng)而使用較為普遍的函數(shù)，柔量=位移/作用力,，單位：m/N ,。4.共振：兩個(gè)振動(dòng)頻率相同的物體，其中一個(gè)發(fā)生振動(dòng)時(shí),，另一個(gè)被引起振動(dòng),，這種現(xiàn)象叫做共振?；顒?dòng)式光學(xué)平臺(tái)能實(shí)現(xiàn)快速位移,，適合需要快速實(shí)驗(yàn)反饋的研究場(chǎng)所。

光學(xué)平臺(tái)的主要特點(diǎn)：一,、高精度,，光學(xué)平臺(tái)的主要作用是支撐高精度的光學(xué)系統(tǒng)和元件，因此平臺(tái)的本身也需要高精度,。一般來說,，光學(xué)平臺(tái)需要保證其平整度和表面光潔度，使得其上的光學(xué)元件和系統(tǒng)可以保持穩(wěn)定的位置,，從而保證光學(xué)系統(tǒng)的高精度,。二、穩(wěn)定性好,，在光學(xué)系統(tǒng)中,，微小的震動(dòng)或振動(dòng)都會(huì)對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生較大的影響，因此光學(xué)平臺(tái)需要具備良好的穩(wěn)定性,。一般來說,，光學(xué)平臺(tái)采用重量較大的金屬材料，如不銹鋼或鋁合金等,，以增加平臺(tái)的穩(wěn)定性,。此外，光學(xué)平臺(tái)還需要具備優(yōu)良的防振性能,，以防止外界震動(dòng)對(duì)光學(xué)系統(tǒng)產(chǎn)生影響,。光學(xué)平臺(tái)的高度可調(diào)性使其在不同高度的實(shí)驗(yàn)架中均可靈活使用。重慶鋁合金光學(xué)面包板

在激光掃描顯微鏡中,，光學(xué)平臺(tái)提供關(guān)鍵的支撐和校準(zhǔn)功能,。陜西光學(xué)平臺(tái)

光學(xué)平臺(tái)的構(gòu)成：隔振器：1.氣浮式隔振器,，結(jié)構(gòu)示意圖如下所示：雙層氣室設(shè)計(jì)，降低氣浮隔振器剛度; 阻尼孔氣流限制將抑制地面和平臺(tái)之間的振蕩運(yùn)動(dòng),，減少調(diào)整時(shí)間,。2.橡膠隔振器，結(jié)構(gòu)示意圖如下所示：隔振器由配螺栓的上下鋼板,、中間圓柱形,、圓錐形橡膠體承載。支撐腿：1.焊接或螺栓連接一體式支撐腿,，結(jié)構(gòu)示意圖如下所示：焊接或螺栓連接一體式支撐腿：剛性強(qiáng),、穩(wěn)定性好。2.單獨(dú)支撐腿,，結(jié)構(gòu)示意圖如下所示：?jiǎn)为?dú)支撐腿沒有連桿,，相比一體式支撐腿能夠方便位置擺放及運(yùn)輸，且有很好的隔振效果,。陜西光學(xué)平臺(tái)