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來源: 發(fā)布時間:2023-09-14

    也即太陽輪的輪軸與驅(qū)動輪盤的中心連接軸同軸,;行星架的行星輪與片盒架的限位盤的轉(zhuǎn)動軸連接,,且每個行星輪至多連接一個限位盤的轉(zhuǎn)動軸,,每個行星輪的軸線與其對應(yīng)的轉(zhuǎn)動軸共線設(shè)置,;行星架的齒圈固定設(shè)置,。其中,,每個片盒架的轉(zhuǎn)動軸都需要連接一個行星輪,,以實現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),,但是行星輪的數(shù)量可以大于片盒架的數(shù)量,,多余的行星輪可以是空轉(zhuǎn),也即不連接片盒架,。推薦的,,行星輪與片盒架的數(shù)量一一對應(yīng)設(shè)置,在本實施例中,,行星架的行星輪的數(shù)量為個,,片盒架的數(shù)量為個,行星輪與片盒架一一對應(yīng)設(shè)置,。在本實施例中,,如圖所示,行星架的太陽輪設(shè)置在驅(qū)動輪盤靠近從動輪盤的一側(cè),,驅(qū)動輪盤的背離被動驅(qū)動輪盤的一側(cè)設(shè)置有與電機等驅(qū)動機構(gòu)(例如電機)連接的連接軸,。驅(qū)動輪盤與從動輪盤小相同,驅(qū)動輪盤直徑大于行星架的太陽輪的直徑。行星輪的輪軸可通過軸承轉(zhuǎn)動連接在驅(qū)動輪盤上,,以提高裝置的穩(wěn)定性,。其中,限位盤的轉(zhuǎn)動軸與行星輪的輪軸固定連接,。進一步地,,本實施例晶圓加工固定裝置的安裝座包括底板、齒圈固定板和豎向桿,。齒圈固定板和豎向桿間隔設(shè)置,,且均安裝在底板上,齒圈固定板上設(shè)置有通孔,,行星架的齒圈安裝在通孔內(nèi),;驅(qū)動輪盤設(shè)置在齒圈固定板背離豎向桿的一側(cè)。好的共晶機批發(fā)/采購找泰克光電,。天津澀谷共晶機源頭廠家

    夾取機構(gòu)將晶圓拖到承載裝置上,,由升降裝置帶動承載裝置下降到檢測位置,能夠防止因夾取機構(gòu)夾不緊,,使得晶圓從高處跌落,,造成損壞的情況發(fā)生,使得晶圓運輸更加安全可靠,。附圖說明圖是本實用新型實施例提供的晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構(gòu)的立體圖,;圖是本實用新型實施例提供的升降裝置的立體圖;圖是本實用新型實施例提供的移動模塊的立體圖,;圖是本實用新型實施例提供的托臂,、滑軌和滑塊的連接結(jié)構(gòu)示意圖。圖中,,,、感應(yīng)裝置;,、承接裝置,;、托臂,;,、限位部;,、承托部,;、升降裝置,;,、升降驅(qū)動器;、升降板,;,、安裝板;,、升降絲桿機構(gòu),;、聯(lián)軸器,;,、移動模塊;,、固定板,;、移動電機,;,、傳動組件;,、主動輪,;、從動輪,;,、同步帶;,、滑軌,;、滑塊,;,、連接塊,。具體實施方式下面結(jié)合附圖和實施例,,對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型,。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。濟南澀谷工業(yè)共晶機價格專業(yè)批發(fā)共晶機廠家找泰克光電,。

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    這種裝置稱為磁控濺射裝置(magnetronsputterapparatus),,以高電壓將通入惰性氬體游離,再藉由陰極電場加速吸引帶正電的離子,,撞擊在陰極處的靶材,,將欲鍍物打出后沉積在基板上。一般均加磁場方式增加電子的游離路徑,,可增加氣體的解離率,,若靶材為金屬,則使用DC電場即可,,若為非金屬則因靶材表面累積正電荷,,導(dǎo)致往后的正離子與之相斥而無法繼續(xù)吸引正離子,所以改為RF電場(因場的振蕩頻率變化太快,,使正離子跟不上變化,,而讓RF-in的地方呈現(xiàn)陰極效應(yīng))即可解決問題。光刻技術(shù)定出VIA孔洞沉積第二層金屬,,并刻蝕出連線結(jié)構(gòu),。然后,用PECVD法氧化層和氮化硅保護層,。光刻和離子刻蝕定出PAD位置,。后進行退火處理以保證整個Chip的完整和連線的連接性。天津澀谷共晶機源頭廠家