本實(shí)用新型實(shí)施例推薦實(shí)施例的一種晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),其包括控制系統(tǒng),、升降裝置,、承接裝置和感應(yīng)裝置,升降裝置包括升降驅(qū)動(dòng)器和升降板,,升降驅(qū)動(dòng)器安裝在晶圓視覺檢測(cè)機(jī)上,,升降驅(qū)動(dòng)器的輸入端與控制系統(tǒng)電連接。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案,。升降驅(qū)動(dòng)器的輸出端與升降板連接,,承接裝置包括至少一個(gè)用于承托晶圓的托臂,托臂安裝在升降板上,,感應(yīng)裝置與控制系統(tǒng)電連接,,感應(yīng)裝置安裝在托臂上,,用于感應(yīng)晶圓的位置,。基于上述技術(shù)方案,,升降驅(qū)動(dòng)器作為升降裝置的動(dòng)力源,,可以是升降電機(jī),升降電機(jī)與控制系統(tǒng)電連接,,由控制系統(tǒng)控制升降電機(jī)的運(yùn)行,。升降電機(jī)的輸出軸與升降板連接。手動(dòng)共晶機(jī)找手動(dòng)共晶機(jī)找泰克光電,。宜昌澀谷共晶機(jī)廠家直銷
泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案。使得固定連接在同步帶不同輸送側(cè)上的托臂相互靠近或相互遠(yuǎn)離,。通過調(diào)節(jié)兩個(gè)托臂之間的距離,,使得托臂能夠托住不同大小的晶圓(一個(gè)托臂拖著晶圓的一側(cè))。該晶圓移栽機(jī)構(gòu)可用于承托不同體積大小的晶圓,,應(yīng)用,。托臂的形狀為長(zhǎng)條形,托臂的縱截面形狀為l形,。托臂可分為限位部和水平設(shè)置的承托部,,限位部豎直固定在承托部遠(yuǎn)離另一托臂的一側(cè),用于限定晶圓在承托部上的位置,。限位部和承托部形成l形的托臂,。當(dāng)兩個(gè)托臂相互靠近,直至兩個(gè)承托部的一側(cè)接觸時(shí),,兩個(gè)托臂形成縱截面為凵,,將晶圓穩(wěn)固限定于兩個(gè)托臂的承托部之上。為了有利于托臂在固定板上來回滑動(dòng),,減少托臂與固定板之間的摩擦力,,固定板的頂部設(shè)有至少一條滑軌,,托臂的底部通過滑塊滑動(dòng)連接在滑軌上,滑塊的頂部與托臂的底側(cè)固定連接,,滑塊的底部與滑軌滑動(dòng)連接,。在本實(shí)施例中,固定板的頂部設(shè)有兩條并列的滑軌,,兩側(cè)滑軌位于固定板頂部的前后兩側(cè),。滑軌為托臂的移動(dòng)起導(dǎo)向作用,。托臂的頂部固定連接有滑塊,,滑塊的面積較大。宜昌澀谷共晶機(jī)廠家直銷口碑好的高精度TO共晶機(jī)供銷找泰克光電,。
劃片過程容易產(chǎn)生崩邊,、微裂紋、分層等缺陷,,直接影響硅片的機(jī)械性能,。同時(shí),由于硅片硬度高,、韌性低,、導(dǎo)熱系數(shù)低,劃片過程產(chǎn)生的摩擦熱難于快速傳導(dǎo)出去,,易造成刀片中的金剛石顆粒碳化及熱破裂,,使刀具磨損嚴(yán)重,嚴(yán)重影響劃切質(zhì)量[2],。晶圓制造工藝編輯晶圓表面清洗晶圓表面附著大約2μm的Al2O3和甘油混合液保護(hù)層,在制作前必須進(jìn)行化學(xué)刻蝕和表面清洗,。晶圓初次氧化由熱氧化法生成SiO2緩沖層,用來減小后續(xù)中Si3N4對(duì)晶圓的應(yīng)力氧化技術(shù):干法氧化Si(固)+O2àSiO2(固)和濕法氧化Si(固)+2H2OàSiO2(固)+2H2,。干法氧化通常用來形成,,柵極二氧化硅膜,要求薄,,界面能級(jí)和固定晶圓電荷密度低的薄膜,。干法氧化成膜速度慢于濕法。濕法氧化通常用來形成作為器件隔離用的比較厚的二氧化硅膜,。當(dāng)SiO2膜較薄時(shí),,膜厚與時(shí)間成正比。SiO2膜變厚時(shí),,膜厚與時(shí)間的平方根成正比,。因而,要形成較厚SiO2膜,需要較長(zhǎng)的氧化時(shí)間,。SiO2膜形成的速度取決于經(jīng)擴(kuò)散穿過SiO2膜到達(dá)硅表面的O2及OH基等氧化劑的數(shù)量的多少,。濕法氧化時(shí)。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,。
從動(dòng)輪盤與豎向桿面向齒圈固定板的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。底板上對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)輪盤的周向邊緣設(shè)置有軸承,,驅(qū)動(dòng)輪盤的周向邊緣轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在軸承上,。推薦的,底板還設(shè)置有相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)限位輪座,,軸承和驅(qū)動(dòng)輪盤設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間。其中,,齒圈固定板可以是與行星架的齒圈為一體構(gòu)造,,也即如圖所示,齒圈固定板上的通孔上沿其周向設(shè)置內(nèi)齒作為齒圈,。軸承可為法蘭軸承,,數(shù)量可為兩個(gè),兩個(gè)軸承分別設(shè)置在兩個(gè)限位輪座之間,,且每個(gè)軸承設(shè)置在一個(gè)限位輪座上,,軸承與限位輪座均位于驅(qū)動(dòng)輪盤的下方。軸承的設(shè)置不能夠支撐驅(qū)動(dòng)輪盤,,使驅(qū)動(dòng)輪盤能夠轉(zhuǎn)動(dòng),,且配合限位輪座能夠限位驅(qū)動(dòng)輪盤的位置,同時(shí)還可使得固定架在水平設(shè)置時(shí),,從動(dòng)輪盤與底板泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。提升UVC LED可靠性,共晶固晶機(jī)必不可少! 泰克光電,。
且所述太陽(yáng)輪的軸線與所述驅(qū)動(dòng)輪盤的旋轉(zhuǎn)軸線共線設(shè)置,,所述行星架的行星輪與所述片盒架的所述限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接,且每個(gè)行星輪至多連接一個(gè)所述限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸,,每個(gè)所述行星輪的軸線與其對(duì)應(yīng)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸共線設(shè)置,;所述行星架的齒圈固定設(shè)置。進(jìn)一步地,,所述行星架的行星輪的數(shù)量為個(gè),,所述片盒架的數(shù)量為個(gè),所述行星輪與所述片盒架一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,。進(jìn)一步地,。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案,。所述安裝座包括底板,、齒圈固定板和豎向桿;所述齒圈固定板和所述豎向桿間隔設(shè)置,,且均安裝在所述底板上,,所述齒圈固定板上設(shè)置有通孔,所述行星架的齒圈安裝在所述通孔內(nèi),。共晶貼片機(jī)定制廠家找泰克光電,。福州FDB210共晶機(jī)定制價(jià)格
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夾取機(jī)構(gòu)將晶圓拖到承載裝置上,,由升降裝置帶動(dòng)承載裝置下降到檢測(cè)位置,,能夠防止因夾取機(jī)構(gòu)夾不緊,使得晶圓從高處跌落,,造成損壞的情況發(fā)生,,使得晶圓運(yùn)輸更加安全可靠。附圖說明圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)的立體圖,;圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的升降裝置的立體圖,;圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的移動(dòng)模塊的立體圖;圖是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的托臂,、滑軌和滑塊的連接結(jié)構(gòu)示意圖,。圖中,,、感應(yīng)裝置,;、承接裝置,;,、托臂;,、限位部;,、承托部,;、升降裝置,;,、升降驅(qū)動(dòng)器;,、升降板,;、安裝板,;,、升降絲桿機(jī)構(gòu);,、聯(lián)軸器,;、移動(dòng)模塊,;,、固定板,;、移動(dòng)電機(jī),;,、傳動(dòng)組件;,、主動(dòng)輪,;、從動(dòng)輪,;,、同步帶;,、滑軌,;、滑塊,;,、連接塊。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例,,對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述,。以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。宜昌澀谷共晶機(jī)廠家直銷