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北京澀谷工業(yè)共晶機公司

來源: 發(fā)布時間:2023-10-13

    泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案,。本實用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,,特別是涉及一種晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構(gòu)。背景技術(shù):目前,,集成電路產(chǎn)業(yè)是我國大力發(fā)展的重要科技產(chǎn)業(yè),,而晶圓的生產(chǎn)和檢測是該產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。晶圓被切割后,,非常容易產(chǎn)生諸如污染、劃痕和裂紋等缺陷,。若這些有問題的次品被流入下一環(huán)節(jié),,將會地降低芯片的良率。為防止此情況發(fā)生,,半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中一般都設(shè)有晶圓視覺檢測機,,用于檢測晶圓的質(zhì)量。傳統(tǒng)的晶圓檢測機依靠人工將晶圓搬運至檢測臺,,這樣的操作費時費力?,F(xiàn)有的晶圓視覺檢測機設(shè)有夾取機構(gòu),其能夾住晶圓,并將晶圓搬運到晶圓視覺檢測機的檢測裝置中,。這種夾取機構(gòu)可以是真空吸盤或其他機械裝置,。泰克光電共晶機的具體使用方法。北京澀谷工業(yè)共晶機公司

    且所述片盒架能夠相對所述固定架自轉(zhuǎn),,所述固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與所述片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置,。進一步地,所述片盒架的數(shù)量為多個,,多個所述片盒架沿所述固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在所述固定架上,。進一步地,所述固定架包括驅(qū)動輪盤,、從動輪盤和連接桿,,所述驅(qū)動輪盤與所述從動輪盤同軸相對設(shè)置,且,,所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤分別可轉(zhuǎn)動的安裝在所述安裝座上,,所述連接桿固定連接在所述驅(qū)動輪盤與所述從動輪盤之間;所述片盒架轉(zhuǎn)動連接在所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤之間,。進一步地,,所述片盒架包括同軸相對設(shè)置的限位盤和第二限位盤,所述限位盤與所述第二限位盤之間設(shè)置有多根限位桿,,多根所述限位桿沿所述限位盤的周向間隔設(shè)置,,多個所述限位桿之間形成晶圓的放置空間;所述限位盤與所述第二限位盤相互遠離的側(cè)面分別通過轉(zhuǎn)動軸與所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤轉(zhuǎn)動連接,,且所述轉(zhuǎn)動軸與所述驅(qū)動輪盤的軸線平行設(shè)置,。進一步地,所述限位桿的數(shù)量為三根,,三根所述限位桿包括兩根固定桿和一根轉(zhuǎn)動桿,,兩根所述固定桿的兩端分別與所述限位盤和第二限位盤固定連接。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機設(shè)備。北京澀谷工業(yè)共晶機公司共晶機廠家 ,,半導(dǎo)體封裝設(shè)備廠家找泰克光電,。

    PECVD等。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法,。一般而言,,PVD溫度低,沒有毒氣問題,;CVD溫度高,,需達到1000oC以上將氣體解離,來產(chǎn)生化學(xué)作用。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些,,PVD適用于在光電產(chǎn)業(yè),,而半導(dǎo)體制程中的金屬導(dǎo)電膜大多使用PVD來沉積,而其他絕緣膜則大多數(shù)采用要求較嚴(yán)謹(jǐn)?shù)腃VD技術(shù),。以PVD被覆硬質(zhì)薄膜具有度,,耐腐蝕等特點。(2)真空蒸發(fā)法(EvaporationDeposition)采用電阻加熱或感應(yīng)加熱或者電子束等加熱法將原料蒸發(fā)淀積到基片上的一種常用的成膜方法,。蒸發(fā)原料的分子(或原子)的平均自由程長(10-4Pa以下,,達幾十米),所以在真空中幾乎不與其他分子碰撞可直接到達基片,。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片。

    作為共晶機制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。所述移動電機驅(qū)動所述傳動組件帶動所述托臂在所述固定板上滑動,。作為推薦方案,,所述傳動組件包括主動輪、從動輪和同步帶,,所述主動輪連接在所述移動電機的輸出端,,所述從動輪可轉(zhuǎn)動地安裝在所述固定板上,所述主動輪和所述從動輪通過所述同步帶相連接,,所述托臂固定連接在所述同步帶上,。作為推薦方案,所述托臂通過連接塊與所述同步帶固定連接,,所述連接塊的底部固定連接在所述同步帶上,,所述連接塊的頂部與所述托臂的底部固定連接。作為推薦方案,,所述托臂的數(shù)量為兩個,,各所述托臂分別固定連接在所述同步帶的不同輸送側(cè)上,所述移動電機驅(qū)動所述主動輪轉(zhuǎn)動,,帶動所述從動輪和所述同步帶轉(zhuǎn)動,,使得各所述托臂在所述固定板上做張合運動。作為推薦方案,,所述托臂的形狀為長條形,,所述托臂的縱截面形狀為l形?!案呔劝雽?dǎo)體芯片共晶機”找泰克光電,。

    濺鍍鈦+氮化鈦+鋁+氮化鈦等多層金屬膜。離子刻蝕出布線結(jié)構(gòu),,并用PECVD在上面沉積一層SiO2介電質(zhì),。并用SOG(spinonglass)使表面平坦,加熱去除SOG中的溶劑,。然后再沉積一層介電質(zhì),,為沉積第二層金屬作準(zhǔn)備。(1)薄膜的沉積方法根據(jù)其用途的不同而不同,,厚度通常小于1um,。有絕緣膜、半導(dǎo)體薄膜,、金屬薄膜等各種各樣的薄膜,。薄膜的沉積法主要有利用化學(xué)反應(yīng)的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理現(xiàn)象的PVD(physicalvapordeposition)法兩大類。CVD法有外延生長法,、HCVD,,PECVD等,。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法。一般而言,,PVD溫度低,,沒有毒氣問題;CVD溫度高,,需達到1000oC以上將氣體解離,,來產(chǎn)生化學(xué)作用。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些,,PVD適用于在光電產(chǎn)業(yè),,而半導(dǎo)體制程中的金屬導(dǎo)電膜大多使用PVD來沉積,而其他絕緣膜則大多數(shù)采用要求較嚴(yán)謹(jǐn)?shù)腃VD技術(shù),。以PVD被覆硬質(zhì)薄膜具有度,,耐腐蝕等特點。(2)真空蒸發(fā)法(EvaporationDeposition)采用電阻加熱或感應(yīng)加熱或者電子束等加熱法將原料蒸發(fā)淀積到基片上的一種常用的成膜方法,。蒸發(fā)原料的分子(或原子)的平均自由程長(10-4Pa以下,,達幾十米),所以在真空中幾乎不與其他分子碰撞可直接到達基片,。泰克光電|#共晶機廠家 #半導(dǎo)體封裝設(shè)備廠家,。淄博FDB210共晶機定制

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    固定板水平安裝在升降板的頂側(cè),,移動電機豎直固定在固定板的底側(cè)??刂葡到y(tǒng)控制移動電機驅(qū)動傳動組件轉(zhuǎn)動帶動托臂在固定板上來回移動,,以便靈活調(diào)整托臂在水平方向上的位置。傳動組件包括主動輪,、從動輪和同步帶,,主動輪連接在移動電機的輸出端,從動輪可轉(zhuǎn)動地安裝在固定板上,,主動輪和從動輪通過同步帶相連接,托臂固定連接在同步帶上,。主動輪和從動輪均可轉(zhuǎn)動地安裝在固定板的底側(cè),,主動輪與移動電機的輸出軸連接。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案,。通過移動電機驅(qū)動主動輪轉(zhuǎn)動,,帶動同步帶移動,使得從動輪隨之轉(zhuǎn)動,。主動輪,、從動輪和同步帶的連接傳動比準(zhǔn)確,結(jié)構(gòu)緊湊,,耐磨性好,,抗老化性能好。托臂固定連接在同步帶的一處,。北京澀谷工業(yè)共晶機公司