探針臺：手動探針臺,、半自動探針臺,、全自動探針臺,、8英寸半自動探針臺、12英寸全自動探針臺,、太赫茲探針臺,、射頻探針臺,、硅光探針臺等探針臺的簡單介紹,，探針臺是半導(dǎo)體表征參數(shù)測試測量非常常用的設(shè)備,，應(yīng)用范圍非常普遍。本文,，我們只就手動探針臺及其半導(dǎo)體測試測量應(yīng)用進行討論,。首先，我們來看看維基百科上對于探針臺（機械探針臺）的定義：盡管以上定義對于測量儀器的描述比較窄（探針臺較早期的用法）,，但從上面我們不難了解到,，探針臺是一個實現(xiàn)精密探針定位、為用戶提供半導(dǎo)體待測點至測量儀器連接通路的設(shè)備,。它主要包含了探針臺,、定位器、探針,、探針夾具及電纜組件。探針臺能夠為太空探索提供關(guān)鍵的科研數(shù)據(jù),。北京手動探針臺生產(chǎn)商

手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的,。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺,。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要較少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境,，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時間的電子設(shè)備,、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點,，非常適合研發(fā)人員使用,。全自動探針臺相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運單元（MHU）和模式識別（自動對準(zhǔn)）。負責(zé)晶圓的輸送與定位,，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,?？梢?4小時連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓,、封裝基板等,。全自動探針臺價格也是遠比手動/半自動探針臺要昂貴。深圳8寸探針臺廠商探針臺的數(shù)據(jù)對太空探索,、戰(zhàn)略部署,、國家的安全等領(lǐng)域具有普遍的應(yīng)用和重要的戰(zhàn)略意義。

在地質(zhì)勘探方面,，憑借其準(zhǔn)確度高,、速度快的特點，幫助人類更好地探索地球深處的各種資源,。探測機器人通過自己的機械臂采集樣本,，在經(jīng)過相關(guān)的研究分析后，為地球物質(zhì)研究領(lǐng)域帶來了巨大的突破,。而在生物科技的應(yīng)用中,，可以幫助科學(xué)家在分子層面上研究生命現(xiàn)象，如蛋白質(zhì)合成,、DNA 重組等,，為生物學(xué)家們的研究提供出了便利。材料科學(xué)是另一個應(yīng)用領(lǐng)域,。利用實驗結(jié)果為材料科學(xué)領(lǐng)域提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù),，幫助科學(xué)家們更好地掌握材料的物理特性。同時,，作為理論工具,，在材料計算中也有不可替代的作用。它能將理論解析進行實驗驗證,，實驗結(jié)果為理論研究提供了更多的數(shù)據(jù)支持,。

射頻探針：射頻探針的本質(zhì)為適配器，將芯片測量接口轉(zhuǎn)為同軸或波導(dǎo)端口,。常見的射頻探針有GSG型,、GS型、GSSG型等,。射頻探針的主要參數(shù)有高工作頻率,、探針針尖距（Pitch）等。目前,，同軸接口的射頻探針頻率可達110 GHz（MPI目前適配安利的擴頻模塊可到220G）波導(dǎo)接口的射頻探針頻率高達1.1 THz,，有一些型號的探針可以選配BiasTee。校準(zhǔn)：微波射頻在片測試的校準(zhǔn)主要是指S參數(shù)校準(zhǔn)，可以通過使用校準(zhǔn)片完成校準(zhǔn),。一般的校準(zhǔn)片提供開路（Open）,、短路（Short）、匹配（Match）,、直通（Through）和延遲線（Line）標(biāo)準(zhǔn)件,，可完成TOSM校準(zhǔn)或TRL校準(zhǔn)或SOLT或SOLR或LRM等。探針臺建設(shè)需要綜合考慮技術(shù),、人力,、資金等眾多因素。

探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè),、集成電路以及封裝的測試。探針臺普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。據(jù) SEMI 預(yù)測,，2020 年全球的探針臺市場規(guī)模約為 42.96 億元。由于半導(dǎo)體設(shè)備需求 與半導(dǎo)體芯片出貨量息息相關(guān),，在 5G,、物聯(lián)網(wǎng)等因素的催化下，半導(dǎo)體芯片出貨量維持較 高規(guī)模,，半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模將穩(wěn)步提升,，探針臺市場規(guī)模在 2021、2022 年有望達到 51.56 億元,、59.29 億元,。探針臺具有規(guī)模化,、系統(tǒng)性,、戰(zhàn)略性和國際性等特點，是人類探索宇宙的中心樞紐,。上海12寸探針臺價位

探針臺的發(fā)展需要國際合作和共同努力。北京手動探針臺生產(chǎn)商

x-y工作臺的維護與保養(yǎng),，無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,，x-y向工作臺都是其較主要的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要。本文只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng),，平面電機由定子和動子組成,，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺,， 動子和定子間有一層氣墊,，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上,。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長,。北京手動探針臺生產(chǎn)商