滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護與保養(yǎng),，相對于平面電機工作臺，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成,。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x,、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌,。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高,、摩擦力矩小,，使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3 ℃,，濕度≤70%,，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠,、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,，但不可過多，值得指出的是,，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中,，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性,，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,，用戶一般情況不能輕易改變,，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成,。探針臺的建設(shè)需要科學家們共同匯聚自己的智慧,。浙江半導(dǎo)體晶圓測試探針臺

目前世界出貨量頭一的型號吸收了較新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù),，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證,。特性1:OTS-較近的位置對正系統(tǒng)(光學目標對準) OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其一定位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù),，來源于東京精密的度量技術(shù),。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學對準系統(tǒng)。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達到接觸位置的精度,，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),，達到高剛性,，高穩(wěn)定度的接觸。湖北全自動探針臺廠家探針臺的建設(shè)和發(fā)展需要長期的投入和堅定的信心,。

探針測試臺x-y工作臺的分類,，縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺,，可編程承片臺,、探卡/探卡支架、打點器,、探邊器,、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,，即：以美國EG公司為表示的平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,，應(yīng)區(qū)別對待。

探針臺,，是我們半導(dǎo)體實驗室電學性能測試的常用設(shè)備,，也是各大實驗室以及芯片設(shè)計、封裝測試的熟客,。設(shè)備具備各項優(yōu)勢,，高性能低成本，用途廣,，操作方便,，在不同測試環(huán)境下,，測試結(jié)果穩(wěn)定，客觀,，深受工程師們的青睞,。探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié),，負責晶圓的輸送與定位,，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試,，實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量,。半導(dǎo)體測試設(shè)備主要包括測試機、探針臺和分選機,。探針臺是專門為探索宇宙而設(shè)計的機構(gòu)之一,。

探針臺-芯片測試必備設(shè)備，芯片測試必備設(shè)備之手動探針臺,，集成單筒顯微鏡帶高清1080PCCD相機,，較大變焦后可清晰觀看1微米光刻晶圓ID號。配置三維磁吸探針座,，1微米移動,。加載同軸LED光源，實現(xiàn)高清芯片內(nèi)部電路圖像對比度,，可觀察芯片之美,。探針針尖可小于1微米對芯片電極扎針接觸，連接電源等儀器就可以對芯片進行測試啦,。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗證測試,、晶圓測試測試、封裝檢測,。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測,、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。探針臺的科研成果對探索宇宙,、維護人類福祉和生存環(huán)境有著重要的促進作用,。浙江半導(dǎo)體晶圓測試探針臺

探針臺的建設(shè)需要尊重自然和秉持可持續(xù)發(fā)展理念。浙江半導(dǎo)體晶圓測試探針臺

探針臺在使用過程中,，不可用硬物接觸機器,，以免發(fā)生故障或危險。探針臺光學部件清潔時,，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭,。無水酒精時易燃物，注意使用安全,。停電或長期不用,、外出旅行時,，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。操作人員必須嚴格按要要求操作,，以保證數(shù)據(jù)的準確和儀器的正常使用,。工作環(huán)境。探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上,，較好是具有防震裝置的工作臺上,，避免在高溫，潮濕激烈震動,，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用,。浙江半導(dǎo)體晶圓測試探針臺