泰克光電（TechOptics）是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案,。本發(fā)明涉及晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域,，尤其是涉及一種晶圓加工固定裝置及晶圓加工設(shè)備。背景技術(shù)：半導(dǎo)體元件在生產(chǎn)過(guò)程中極易受到微粒,、金屬離子,、化學(xué)物質(zhì)和有機(jī)物等污染,，使元件出現(xiàn)致命缺陷，終失效,。為了減少生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷,，提高成品率，晶圓加工工藝貫穿芯片生產(chǎn)的整個(gè)過(guò)程,。晶圓加工工藝能有效去除上一工序加工所產(chǎn)生的污染物,，為下一工序步驟創(chuàng)造出有利條件。晶圓的清洗技術(shù)種類繁多,，應(yīng)用較為的是濕法清洗技術(shù),。濕法清洗技術(shù)的機(jī)理是在清洗設(shè)備中利用化學(xué)藥品晶圓表面的污染物，保證晶圓組件的電氣特性,。目前的濕法清洗設(shè)備主要有槽式清洗機(jī)和單片清洗機(jī),。其中。泰克光電半導(dǎo)體全自動(dòng)高精度共晶機(jī) 固晶機(jī),。遵義固晶共晶機(jī)設(shè)備

    以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,，我們都能提供適合的共晶解決方案。所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤可拆卸連接,，和/或所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤滑動(dòng)連接，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的兩端能夠相對(duì)所述限位盤和第二限位盤固定,。進(jìn)一步地,，所述限位盤和所述第二限位盤分別沿其周向設(shè)置有導(dǎo)向槽，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿滑動(dòng)連接在所述導(dǎo)向槽內(nèi),。進(jìn)一步地,，多根所述限位桿面向所述晶圓的放置空間的側(cè)面上均設(shè)置有卡設(shè)固定晶圓的定位槽，所述定位槽的數(shù)量為多個(gè),，多個(gè)所述定位槽沿所述限位桿的長(zhǎng)度方向依次間隔布置,。進(jìn)一步地,，所述晶圓加工固定裝置還包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述驅(qū)動(dòng)輪盤和所述限位盤連接,，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于同步驅(qū)動(dòng)所述固定架轉(zhuǎn)動(dòng)和所述片盒架自轉(zhuǎn),。進(jìn)一步地，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括行星架,，所述行星架的太陽(yáng)輪與所述驅(qū)動(dòng)輪盤連接,。臨沂貼片共晶機(jī)廠家直銷上等高精度TO共晶機(jī)找泰克光電。

    我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì),、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。生長(zhǎng)的單晶硅棒直徑越大,。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關(guān)，雖然半導(dǎo)體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成,，但是晶圓的厚度一般要達(dá)到1mm,，才能保證足夠的機(jī)械應(yīng)力支撐，因此晶圓的厚度會(huì)隨直徑的增長(zhǎng)而增長(zhǎng),。晶圓制造廠把這些多晶硅融解,，再在融液里種入籽晶，然后將其慢慢拉出,，以形成圓柱狀的單晶硅晶棒,，由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成，此過(guò)程稱為“長(zhǎng)晶”,。硅晶棒再經(jīng)過(guò)切段,，滾磨，切片，倒角,，拋光,，激光刻，包裝后,，即成為集成電路工廠的基本原料——硅晶圓片,，這就是“晶圓”。晶圓基本原料編輯晶圓硅是由石英砂所精練出來(lái)的,，晶圓便是硅元素加以純化（）,，接著是將這些純硅制成硅晶棒。

    工作人員可以通過(guò)控制系統(tǒng)控制升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降板在豎直方向上移動(dòng),。承接裝置包括至少一個(gè)托臂,，托臂與升降板連接，可隨升降板上下移動(dòng),。在搬運(yùn)晶圓時(shí),，托臂位于夾取機(jī)構(gòu)的正下方，且靠近晶圓,。夾取機(jī)構(gòu)夾取晶圓后,，可將晶圓拖到托臂上，由升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)升降板和托臂下降,，帶動(dòng)晶圓下降到檢測(cè)位置,。從源頭上杜絕了因夾取機(jī)構(gòu)機(jī)器故障而松開晶圓，導(dǎo)致晶圓從高處掉落的事故,，減少了晶圓受損的概率,，使得晶圓運(yùn)輸更加可靠。感應(yīng)裝置安裝在托臂上,，用于感應(yīng)晶圓是否被拖放到位,，感應(yīng)裝置與控制系統(tǒng)電連接，可將晶圓的位置數(shù)據(jù)傳輸給控制系統(tǒng),，控制系統(tǒng)再控制升降裝置帶動(dòng)托臂升降到位,，以使托臂盡量靠近夾取機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施例中,，感應(yīng)裝置具體為光電傳感器,。其中，升降裝置還包括安裝板,。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,，以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者，泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn),。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,，他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí),。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。泰克光電共晶機(jī)源頭廠家,。

    泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片，我們都能提供適合的共晶解決方案,。使得固定連接在同步帶不同輸送側(cè)上的托臂相互靠近或相互遠(yuǎn)離,。通過(guò)調(diào)節(jié)兩個(gè)托臂之間的距離，使得托臂能夠托住不同大小的晶圓(一個(gè)托臂拖著晶圓的一側(cè)),。該晶圓移栽機(jī)構(gòu)可用于承托不同體積大小的晶圓,，應(yīng)用。托臂的形狀為長(zhǎng)條形,，托臂的縱截面形狀為l形,。托臂可分為限位部和水平設(shè)置的承托部，限位部豎直固定在承托部遠(yuǎn)離另一托臂的一側(cè),，用于限定晶圓在承托部上的位置,。限位部和承托部形成l形的托臂。當(dāng)兩個(gè)托臂相互靠近,，直至兩個(gè)承托部的一側(cè)接觸時(shí),，兩個(gè)托臂形成縱截面為凵，將晶圓穩(wěn)固限定于兩個(gè)托臂的承托部之上,。為了有利于托臂在固定板上來(lái)回滑動(dòng),，減少托臂與固定板之間的摩擦力，固定板的頂部設(shè)有至少一條滑軌,，托臂的底部通過(guò)滑塊滑動(dòng)連接在滑軌上,，滑塊的頂部與托臂的底側(cè)固定連接，滑塊的底部與滑軌滑動(dòng)連接,。在本實(shí)施例中,，固定板的頂部設(shè)有兩條并列的滑軌，兩側(cè)滑軌位于固定板頂部的前后兩側(cè)?；墳橥斜鄣囊苿?dòng)起導(dǎo)向作用,。托臂的頂部固定連接有滑塊，滑塊的面積較大,。泰克光電共晶機(jī)的具體使用方法,。深圳FDB211共晶機(jī)廠家

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    也即太陽(yáng)輪的輪軸與驅(qū)動(dòng)輪盤的中心連接軸同軸,；行星架的行星輪與片盒架的限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接,，且每個(gè)行星輪至多連接一個(gè)限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸，每個(gè)行星輪的軸線與其對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸共線設(shè)置,；行星架的齒圈固定設(shè)置,。其中，每個(gè)片盒架的轉(zhuǎn)動(dòng)軸都需要連接一個(gè)行星輪,，以實(shí)現(xiàn)片盒架的自轉(zhuǎn),，但是行星輪的數(shù)量可以大于片盒架的數(shù)量，多余的行星輪可以是空轉(zhuǎn),，也即不連接片盒架,。推薦的，行星輪與片盒架的數(shù)量一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,，在本實(shí)施例中,，行星架的行星輪的數(shù)量為個(gè)，片盒架的數(shù)量為個(gè),，行星輪與片盒架一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,。在本實(shí)施例中，如圖所示,，行星架的太陽(yáng)輪設(shè)置在驅(qū)動(dòng)輪盤靠近從動(dòng)輪盤的一側(cè),，驅(qū)動(dòng)輪盤的背離被動(dòng)驅(qū)動(dòng)輪盤的一側(cè)設(shè)置有與電機(jī)等驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(例如電機(jī))連接的連接軸。驅(qū)動(dòng)輪盤與從動(dòng)輪盤小相同,，驅(qū)動(dòng)輪盤直徑大于行星架的太陽(yáng)輪的直徑,。行星輪的輪軸可通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接在驅(qū)動(dòng)輪盤上，以提高裝置的穩(wěn)定性,。其中,，限位盤的轉(zhuǎn)動(dòng)軸與行星輪的輪軸固定連接。進(jìn)一步地,，本實(shí)施例晶圓加工固定裝置的安裝座包括底板,、齒圈固定板和豎向桿。齒圈固定板和豎向桿間隔設(shè)置,，且均安裝在底板上,，齒圈固定板上設(shè)置有通孔,，行星架的齒圈安裝在通孔內(nèi)；驅(qū)動(dòng)輪盤設(shè)置在齒圈固定板背離豎向桿的一側(cè),。遵義固晶共晶機(jī)設(shè)備