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遵義固晶共晶機設備

來源: 發(fā)布時間:2023-11-27

    泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質量,、高性能的共晶機設備,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領域的者,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術組成,他們在共晶機設計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子,、光電子,、半導體等行業(yè)。我們的設備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案。本發(fā)明涉及晶圓加工技術領域,,尤其是涉及一種晶圓加工固定裝置及晶圓加工設備,。背景技術:半導體元件在生產(chǎn)過程中極易受到微粒、金屬離子,、化學物質和有機物等污染,,使元件出現(xiàn)致命缺陷,終失效,。為了減少生產(chǎn)過程中的缺陷,,提高成品率,晶圓加工工藝貫穿芯片生產(chǎn)的整個過程,。晶圓加工工藝能有效去除上一工序加工所產(chǎn)生的污染物,,為下一工序步驟創(chuàng)造出有利條件。晶圓的清洗技術種類繁多,,應用較為的是濕法清洗技術,。濕法清洗技術的機理是在清洗設備中利用化學藥品晶圓表面的污染物,,保證晶圓組件的電氣特性。目前的濕法清洗設備主要有槽式清洗機和單片清洗機,。其中,。泰克光電半導體全自動高精度共晶機 固晶機。遵義固晶共晶機設備

    以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領域的者,,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術組成,,他們在共晶機設計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子,、光電子,、半導體等行業(yè)。我們的設備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案,。所述轉動桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤可拆卸連接,和/或所述轉動桿的兩端與所述限位盤和第二限位盤滑動連接,,且所述轉動桿的兩端能夠相對所述限位盤和第二限位盤固定,。進一步地,所述限位盤和所述第二限位盤分別沿其周向設置有導向槽,,所述轉動桿滑動連接在所述導向槽內(nèi),。進一步地,多根所述限位桿面向所述晶圓的放置空間的側面上均設置有卡設固定晶圓的定位槽,,所述定位槽的數(shù)量為多個,,多個所述定位槽沿所述限位桿的長度方向依次間隔布置。進一步地,,所述晶圓加工固定裝置還包括傳動機構,,所述傳動機構與所述驅動輪盤和所述限位盤連接,所述傳動機構用于同步驅動所述固定架轉動和所述片盒架自轉,。進一步地,,所述傳動機構包括行星架,所述行星架的太陽輪與所述驅動輪盤連接,。臨沂貼片共晶機廠家直銷上等高精度TO共晶機找泰克光電,。

    我們致力于為客戶提供高質量、高性能的共晶機設備,,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領域的者,,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術組成,,他們在共晶機設計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子,、光電子,、半導體等行業(yè)。我們的設備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案,。生長的單晶硅棒直徑越大。而切出的晶圓片的厚度與直徑有關,,雖然半導體器件的制備只在晶圓的頂部幾微米的范圍內(nèi)完成,,但是晶圓的厚度一般要達到1mm,才能保證足夠的機械應力支撐,,因此晶圓的厚度會隨直徑的增長而增長,。晶圓制造廠把這些多晶硅融解,再在融液里種入籽晶,,然后將其慢慢拉出,,以形成圓柱狀的單晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一顆晶面取向確定的籽晶在熔融態(tài)的硅原料中逐漸生成,,此過程稱為“長晶”,。硅晶棒再經(jīng)過切段,滾磨,,切片,倒角,,拋光,,激光刻,包裝后,,即成為集成電路工廠的基本原料——硅晶圓片,,這就是“晶圓”。晶圓基本原料編輯晶圓硅是由石英砂所精練出來的,,晶圓便是硅元素加以純化(),,接著是將這些純硅制成硅晶棒。

    工作人員可以通過控制系統(tǒng)控制升降電機驅動升降板在豎直方向上移動,。承接裝置包括至少一個托臂,,托臂與升降板連接,,可隨升降板上下移動。在搬運晶圓時,,托臂位于夾取機構的正下方,,且靠近晶圓。夾取機構夾取晶圓后,,可將晶圓拖到托臂上,,由升降驅動器驅動升降板和托臂下降,帶動晶圓下降到檢測位置,。從源頭上杜絕了因夾取機構機器故障而松開晶圓,,導致晶圓從高處掉落的事故,減少了晶圓受損的概率,,使得晶圓運輸更加可靠,。感應裝置安裝在托臂上,用于感應晶圓是否被拖放到位,,感應裝置與控制系統(tǒng)電連接,,可將晶圓的位置數(shù)據(jù)傳輸給控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)再控制升降裝置帶動托臂升降到位,,以使托臂盡量靠近夾取機構,。在本實施例中,感應裝置具體為光電傳感器,。其中,,升降裝置還包括安裝板。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質量,、高性能的共晶機設備,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領域的者,,泰克光電擁有先進的技術和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術組成,,他們在共晶機設計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子,、半導體等行業(yè)。泰克光電共晶機源頭廠家,。

    泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子、半導體等行業(yè),。我們的設備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案,。使得固定連接在同步帶不同輸送側上的托臂相互靠近或相互遠離。通過調節(jié)兩個托臂之間的距離,,使得托臂能夠托住不同大小的晶圓(一個托臂拖著晶圓的一側),。該晶圓移栽機構可用于承托不同體積大小的晶圓,應用,。托臂的形狀為長條形,,托臂的縱截面形狀為l形。托臂可分為限位部和水平設置的承托部,,限位部豎直固定在承托部遠離另一托臂的一側,,用于限定晶圓在承托部上的位置。限位部和承托部形成l形的托臂,。當兩個托臂相互靠近,,直至兩個承托部的一側接觸時,兩個托臂形成縱截面為凵,,將晶圓穩(wěn)固限定于兩個托臂的承托部之上,。為了有利于托臂在固定板上來回滑動,減少托臂與固定板之間的摩擦力,,固定板的頂部設有至少一條滑軌,,托臂的底部通過滑塊滑動連接在滑軌上,滑塊的頂部與托臂的底側固定連接,,滑塊的底部與滑軌滑動連接,。在本實施例中,固定板的頂部設有兩條并列的滑軌,,兩側滑軌位于固定板頂部的前后兩側,。滑軌為托臂的移動起導向作用,。托臂的頂部固定連接有滑塊,,滑塊的面積較大。泰克光電共晶機的具體使用方法,。深圳FDB211共晶機廠家

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    也即太陽輪的輪軸與驅動輪盤的中心連接軸同軸,;行星架的行星輪與片盒架的限位盤的轉動軸連接,,且每個行星輪至多連接一個限位盤的轉動軸,每個行星輪的軸線與其對應的轉動軸共線設置,;行星架的齒圈固定設置,。其中,,每個片盒架的轉動軸都需要連接一個行星輪,以實現(xiàn)片盒架的自轉,,但是行星輪的數(shù)量可以大于片盒架的數(shù)量,,多余的行星輪可以是空轉,也即不連接片盒架,。推薦的,,行星輪與片盒架的數(shù)量一一對應設置,在本實施例中,,行星架的行星輪的數(shù)量為個,,片盒架的數(shù)量為個,行星輪與片盒架一一對應設置,。在本實施例中,,如圖所示,行星架的太陽輪設置在驅動輪盤靠近從動輪盤的一側,,驅動輪盤的背離被動驅動輪盤的一側設置有與電機等驅動機構(例如電機)連接的連接軸,。驅動輪盤與從動輪盤小相同,驅動輪盤直徑大于行星架的太陽輪的直徑,。行星輪的輪軸可通過軸承轉動連接在驅動輪盤上,,以提高裝置的穩(wěn)定性。其中,,限位盤的轉動軸與行星輪的輪軸固定連接,。進一步地,本實施例晶圓加工固定裝置的安裝座包括底板,、齒圈固定板和豎向桿,。齒圈固定板和豎向桿間隔設置,且均安裝在底板上,,齒圈固定板上設置有通孔,,行星架的齒圈安裝在通孔內(nèi);驅動輪盤設置在齒圈固定板背離豎向桿的一側,。遵義固晶共晶機設備