根據(jù)探針測試需要,，XY 精密工作臺的技術要 求為：XY 向行程160 mm；精度±0.008 mm,；重復 定位精度±0.003 mm,；分辨率0.001 mm,。在結(jié)構(gòu) 設計時,，為達到上述精密控制要求選用伺服電機 驅(qū)動，全閉環(huán)運動控制,；整個工作臺需要放置于真 空腔體內(nèi),，結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設計尺寸，XY 工作臺結(jié)構(gòu)采用 絲杠,、交叉滾子導軌組合形式,。其中Y 向絲杠采 用偏置方式；X 向絲杠采用對稱方式,。對于電機,、絲杠、導軌等外購件,，選型號時,，需 要考慮溫度、濕度,、腐蝕性等特種環(huán)境下運行情 況,，要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣，外購 件內(nèi)部,、外部不能有揮發(fā)性油脂,。如果沒有合適的 型號滿足上述要求，需要對相應外購件加裝特制 密封罩,。探針臺的建設需要對宇宙環(huán)境綜合思考,，并有針對性解決相關科技難題。海南12寸探針臺

探針臺,。探針臺屬于整個測試系統(tǒng)的基礎,，沒有探針臺，就相當于醫(yī)生沒有了手術臺,，在普通的病床上給病人做手術,，將極大地增加手術風險。探針臺可按實現(xiàn)目標功能不同劃分成三部分：顯微鏡,、承載平臺和精密移動組件,。（1）顯微鏡。沒有該配置,，所有精密操作將無從談起,。目前行業(yè)內(nèi)較常見的配置有三種：體視顯微鏡、金相顯微鏡,、單筒顯微鏡,，前兩種用得較多。（2）承載平臺。該部分是構(gòu)成探針臺骨架,，可分為顯微鏡支架,、定位器平臺和樣品臺（載物臺）,。天津探針臺哪家好探針臺的發(fā)展需要國際合作和共同努力,。

x-y工作臺的維護與保養(yǎng)，無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,，x-y向工作臺都是其較主要的部分,。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的,，所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要,。本文只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng),，平面電機由定子和動子組成,，它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎平臺,， 動子和定子間有一層氣墊,，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上,。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長,。

滾珠絲杠副和導軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護與保養(yǎng),，相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復雜,，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成,。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,，導向部分采用精密直線滾動導軌,。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高,、摩擦力矩小,，使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應放置在溫度23±3 ℃,，濕度≤70%,，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠,、直線導軌應定期加精密儀表油,，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中,，從直線導軌的直線性,，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,，用戶一般情況不能輕易改變,，一旦盲目調(diào)整后很難恢復到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓的專業(yè)人員完成,。探針臺具有規(guī)?；⑾到y(tǒng)性,、戰(zhàn)略性和國際性等特點,，是人類探索宇宙的中心樞紐。

自動探針臺主要功能：1. TTL專門使用測試儀接口,；GPIB/RS232/網(wǎng)絡接口（選配）,；與測試機連接方便；2. Windows風格界面,，動態(tài)顯示測試過程,，MAP圖實時顯示、存儲,；3. Map導航功能,，map編輯（可編輯標注DIE屬性、測試區(qū)域）,；4. 自動測試方式有矩陣,、圓形方式、Map方式,；5. 圖像對準功能,，自動掃描，自動首點對準,；6. 不良品噴墨打點標記,，墨點尺寸?0.5mm；7. 分級權(quán)限管理,；8. 控制打印機打印測試結(jié)果,；9. 配合上位機，上傳并記錄測試數(shù)據(jù),。探針臺的科學研究成果對推動人類的科學技術進步有著舉足輕重的作用,。天津探針臺哪家好

探針臺的科研成果對探索宇宙、維護人類福祉和生存環(huán)境有著重要的促進作用,。海南12寸探針臺

承片臺結(jié)構(gòu)設計,，根據(jù)工藝要求,，承片臺在繼承現(xiàn)有抬升機構(gòu) 穩(wěn)定性、可靠性的同時,，還應具有高低溫控特性,、低電磁吸收率、抗酸堿腐蝕等特性,。設備要求溫度 范圍為-65～+200 ℃,，這就要求承片盤溫度在此范圍內(nèi)程控可調(diào)。制冷機構(gòu)和加熱機構(gòu)必須和承 片盤非常接近,，能夠更大限度地減少能量浪費,，以 快速達到所需測試溫度。制冷機構(gòu)和制熱機構(gòu)的 合理設計,，可以更好地避免由于溫度傳導作用引 起其它零部件的溫度大幅的變化。腔體內(nèi)填充一 定濃度的特種氣體進行測試,，承片臺的承片盤及 其他機械構(gòu)件必須具有耐腐蝕,，在承片臺結(jié)構(gòu)設 計時，需要在特種環(huán)境下對選用的加工件材料和 外購件進行可靠性實驗,，保證長時間在特種環(huán)境 下的有效性,。海南12寸探針臺