可同時橫跨兩條滑軌并在兩條滑軌上來回移動。本實用新型的工作過程為:使用者需要搬運晶圓時,。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機電子,、光電子、半導體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案,??上雀鶕?jù)晶圓的尺寸,設(shè)定兩個托臂之間的間距,,具體操作為:通過控制系統(tǒng)控制移動電機驅(qū)動主動輪轉(zhuǎn)動,,帶動從動輪和同步帶轉(zhuǎn)動,使得固定連接在同步帶不同輸送側(cè)上的兩個連接塊帶動兩個托臂做相向移動或相背運動,。晶圓視覺檢測機上的夾取機構(gòu)夾取晶圓后,,感應裝置感應晶圓的位置,并將位置信息反饋給控制系統(tǒng),??刂葡到y(tǒng)控制升降電機驅(qū)動升降絲桿機構(gòu)帶動升降板上下移動,使得固定在升降板頂側(cè)的固定板隨之移動,。托臂通過滑軌和滑塊滑動連接在固定板的頂側(cè),,固定板在豎直方向上移動時,,托臂隨之上下移動。共晶機廠家就找泰克光電,。無錫共晶機市價
作為推薦方案,,所述固定板的頂部設(shè)有至少一條滑軌,所述托臂的底部通過滑塊滑動連接在所述滑軌上,,所述滑塊的頂部與所述托臂的底側(cè)固定連接,,所述滑塊的底部與所述滑軌滑動連接。本實用新型實施例提供的晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)相比,,其有益效果在于:本實用新型實施例的晶圓移載機構(gòu)包括控制系統(tǒng),、升降裝置、承接裝置和感應裝置,,承接裝置包括托臂,。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子、光電子,、半導體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案,。托臂安裝在升降裝置上,,可隨升降裝置升降。在工作狀態(tài)下,,晶圓視覺檢測機的夾取機構(gòu)夾住晶圓,。感應裝置感應晶圓的位置,并將信息反饋給控制系統(tǒng),,控制系統(tǒng)控制升降裝置帶動托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方,,盡量接近晶圓的位置。天津共晶機多少錢深圳高精度共晶機哪家好泰克光電,。
我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案,。安裝板安裝在晶圓視覺檢測機上,升降驅(qū)動器通過升降絲桿機構(gòu)與升降板連接,,升降絲桿機構(gòu)豎直安裝在安裝板上,,升降絲桿機構(gòu)的輸入端與升降驅(qū)動器的輸出端連接,升降絲桿機構(gòu)的輸出端與升降板連接,。安裝板是整個升降裝置的承載基礎(chǔ),。安裝板和升降驅(qū)動器均豎直固定在晶圓視覺檢測機上。安裝板上安裝有升降絲桿機構(gòu),,利用升降絲桿機構(gòu)傳遞動力,,具有傳遞精度高的優(yōu)點。具體的,,升降絲桿機構(gòu)包括豎直安裝在安裝板上的升降絲桿和升降螺母接在升降絲桿上的升降螺母,,升降絲桿與升降電機的輸出端連接,隨升降電機的輸出軸轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動,。升降螺母與升降板固定連接,。在工作狀態(tài)下,當需要調(diào)整托臂與夾取機構(gòu)之間的距離時,,控制系統(tǒng)控制升降電機驅(qū)動升降絲桿轉(zhuǎn)動,,使得升降螺母在升降絲桿上上下移動,升降板和托臂隨之在豎直方向上移動,。在本實施例中,,升降電機通過聯(lián)軸器將動力傳遞給升降絲桿。聯(lián)軸器在傳遞運動和動力過程中一同回轉(zhuǎn),,用來防止升降絲桿承受過大的載荷,,起到過載保護的作用。安裝板上還可以豎直設(shè)有兩條導軌,,兩條導軌起導向作用。
泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機廣泛應用于電子、光電子,、半導體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案,。本發(fā)明涉及晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域,,尤其是涉及一種晶圓加工固定裝置及晶圓加工設(shè)備。背景技術(shù):半導體元件在生產(chǎn)過程中極易受到微粒,、金屬離子,、化學物質(zhì)和有機物等污染,使元件出現(xiàn)致命缺陷,,終失效,。為了減少生產(chǎn)過程中的缺陷,提高成品率,,晶圓加工工藝貫穿芯片生產(chǎn)的整個過程,。晶圓加工工藝能有效去除上一工序加工所產(chǎn)生的污染物,為下一工序步驟創(chuàng)造出有利條件,。晶圓的清洗技術(shù)種類繁多,,應用較為的是濕法清洗技術(shù)。濕法清洗技術(shù)的機理是在清洗設(shè)備中利用化學藥品晶圓表面的污染物,,保證晶圓組件的電氣特性,。目前的濕法清洗設(shè)備主要有槽式清洗機和單片清洗機。其***晶機/固晶機找泰克光電,。
鎖定同義詞wafer一般指晶圓本詞條由“科普中國”科學百科詞條編寫與應用工作項目審核,。晶圓指制造半導體晶體管或集成電路的襯底(也叫基片)。由于是晶體材料,,其形狀為圓形,,所以稱為晶圓。襯底材料有硅,、鍺,、GaAs、InP,、GaN等,。由于硅為常用,如果沒有特別指明晶體材料,通常指硅晶圓,。[1]在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),,而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅,,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,化,,并經(jīng)蒸餾后,,制成了高純度的多晶硅,其純度高達99%,。中文名晶圓外文名Wafer本質(zhì)硅晶片純度99作用制作硅半導體集成電路形狀圓形晶圓是制造半導體芯片的基本材料,,半導體集成電路主要的原料是硅,因此對應的就是硅晶圓,。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式存在于巖石,、砂礫中,硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟:硅提煉及提純,、單晶硅生長,、晶圓成型。首先是硅提純,,將沙石原料放入一個溫度約為2000℃,,并且有碳源存在的電弧熔爐中,在高溫下,,碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應(碳與氧結(jié)合,,剩下硅),得到純度約為98%的純硅,,又稱作冶金級硅,,這對微電子器件來說不夠純。泰克光電多功能固晶機廠家,。荊州澀谷工業(yè)共晶機參考價
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-第二限位盤,;-晶圓,。具體實施方式下面將結(jié)合實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,,顯然,,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例,。基于本發(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,,都屬于本發(fā)明保護的范圍,。如圖和圖所示,本實施例提供一種晶圓加工固定裝置,,用于在晶圓的清洗步驟中,,固定晶圓。該晶圓加工固定裝置包括安裝座,、固定架和片盒架,。固定架可轉(zhuǎn)動的安裝在安裝座上,片盒架可轉(zhuǎn)動的安裝在固定架上,。固定架能夠帶動片盒架一起轉(zhuǎn)動,,且片盒架能夠同步相對固定架自轉(zhuǎn),固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置,??梢岳斫獾氖牵潭艿男D(zhuǎn)軸線也即是固定架圍繞轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)軸所在的直線,,片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線也即是片盒架自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸所在的直線,。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護方面擁有深厚的專業(yè)知識,。無錫共晶機市價