探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè)。針對集成電路以及封裝的測試,。 探針臺廠家生產(chǎn)的探針臺普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。激光探針臺,探針臺應(yīng)用范圍:8寸以內(nèi)Wafer,,IC測試,,IC設(shè)計(jì)等;激光探針臺測試內(nèi)容:1. 微小連接點(diǎn)信號引出,;2. 失效分析失效確認(rèn),;3. FIB電路修改后電學(xué)特性確認(rèn);4. 晶圓可靠性驗(yàn)證,;5. 激光打標(biāo),;6. 表層修復(fù)線路;7. 驅(qū)除短路點(diǎn),;8. 激光斷線,;9. 干擾芯片測試。探針臺的觀測數(shù)據(jù)對未來宇宙探索和科學(xué)研究提供了寶貴的資源,。河南X8M探針臺
探針臺特性1:裝載部件,,令客戶滿意的測試環(huán)境,可以提供從前部開始的通常的8",,12"及基本檢查單元,。也為自動物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。特性2:TTG(一點(diǎn)即到),,更加方便的操作,,UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下,,相關(guān)的屏幕就會切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便,。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義,。晶圓測試的方式主要是通過測試機(jī)和探針臺的聯(lián)動,在測試過程中,,測試機(jī)臺并不能直接對待測晶圓進(jìn)行量測,,而是透過探針卡(Probe Card)中的探針(Probe)與晶圓上的焊墊(Pad)或凸塊(Bump)接觸而構(gòu)成電性接觸。湖北電學(xué)溫控探針臺市價探針臺需要高度的保密性和安全措施,。
高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫,、真空以及磁場環(huán)境的高精度實(shí)驗(yàn)臺,它的諸多設(shè)計(jì)都是專門使用的,。因此,,高低溫磁場探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計(jì)。例如,,要求的磁場值,,均勻區(qū)大小、均勻度大小,、樣品臺的尺寸等,,均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián);位移臺還可與磁流體密封搭配,,實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉(zhuǎn)動,;除此之外,該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶,,可以磁場的高穩(wěn)定性,。因此,該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化,。
除探針臺外,,晶圓檢測環(huán)節(jié)還需要使用測試儀/機(jī),測試儀/機(jī)用于檢測芯片功能和性能,,探針臺實(shí)現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)的連接,,通過探針臺和測試機(jī)的配合使用,可以對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,,可以對芯片的良品,、不良品的進(jìn)行篩選。 在封裝之前對單個芯片進(jìn)行測試可以將有缺陷的器件從流通中移除,,確保只封裝功能器件,。探針臺在整個研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析中都有很大的用途,,工程師需要靈活而精確的工具來對設(shè)備的不同區(qū)域進(jìn)行一系列測試,。探針臺的建設(shè)需要科學(xué)家們共同匯聚自己的智慧,。
探針臺是晶圓輸送與定位任務(wù)的承擔(dān)者,檢測半導(dǎo)體芯片電,、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備,。CP 測試環(huán)節(jié)中,探針臺首先將晶圓移動至晶圓相機(jī)下,,確定晶圓的坐標(biāo)位置,;再將探針相機(jī) 移動至探針卡下,,確定探針卡的坐標(biāo)位置,,當(dāng)確定二者位置后,即通過載片臺將晶圓移動 至探針卡下實(shí)現(xiàn)對針,。其按不同功能可以分為高/低溫探針臺,、RF 探針臺、LCD &TEG探針臺,、光電探針臺等,,當(dāng)晶圓依次與探針接觸完成測試后,探針臺記錄參數(shù)特性不符合要求的芯片,, 并在進(jìn)入后序工序前予以剔除,,以保障質(zhì)量與可靠性,降低器件的制造成本,。探針臺能夠觀測到宇宙的細(xì)微之處,,為人類探索宇宙提供了重要的線索。浙江8寸探針臺設(shè)備
探針臺的科學(xué)研究成果對推動人類的科學(xué)技術(shù)進(jìn)步有著舉足輕重的作用,。河南X8M探針臺
不同的顯微鏡,,顯微鏡的支架會有所不同,通常有立柱安裝和龍門安裝兩種配置,。定位器平臺用于放置定位器(探針座),、形狀和尺寸根據(jù)測試應(yīng)用不同會有不同的設(shè)計(jì)形式。樣品臺(載物臺)用于承載待測樣品,,通常根據(jù)晶圓尺寸設(shè)計(jì),,常用的尺寸從2~12英寸。除了承載樣品的功能,,樣品臺還可根據(jù)測量需求,,設(shè)計(jì)為帶測量通路和帶精密控溫的形式。精密移動組件,。以上承載平臺都配套了相應(yīng)的移動定位功能,,方便用戶對顯微鏡、待測樣品及定位器進(jìn)行精密的移動,。通常有X-Y-Z-R-T這些方向移動功能,。定位器,。定位器(又稱探針座),幫助用戶實(shí)現(xiàn)探針的精密移動定位,。因此,,結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性、驅(qū)動絲桿精度,、導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的直線度,、往復(fù)精度、長期使用時以上指標(biāo)的可靠性都是選購定位器時應(yīng)當(dāng)考慮的主要指標(biāo),。河南X8M探針臺