槽式清洗機以高效、可靠和批量清洗等特性被應(yīng)用,。隨著晶圓尺寸變大和晶圓表面的數(shù)字化圖形尺寸變小,,為了保證晶圓加工的均勻性和終清洗效果,對槽式清洗機的要求越來越高,。如何提高晶圓的清洗均勻性是目前一直在研究的重要課題,。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓加工固定裝置,以提高晶圓的清洗均勻性。本發(fā)明的目的還在于提供一種晶圓加工設(shè)備,,以提供晶圓的清洗均勻性,。本發(fā)明提供的晶圓加工固定裝置,包括安裝座,、固定架和片盒架,,所述固定架可轉(zhuǎn)動的安裝在所述安裝座上。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案。所述片盒架可轉(zhuǎn)動的安裝在所述固定架上,;所述固定架能夠帶動所述片盒架一起轉(zhuǎn)動,。口碑好的高精度共晶機找泰克光電,。萍鄉(xiāng)全自動共晶機廠商
作為推薦方案,,所述固定板的頂部設(shè)有至少一條滑軌,所述托臂的底部通過滑塊滑動連接在所述滑軌上,,所述滑塊的頂部與所述托臂的底側(cè)固定連接,,所述滑塊的底部與所述滑軌滑動連接。本實用新型實施例提供的晶圓視覺檢測機的晶圓移載機構(gòu)與現(xiàn)有技術(shù)相比,,其有益效果在于:本實用新型實施例的晶圓移載機構(gòu)包括控制系統(tǒng),、升降裝置、承接裝置和感應(yīng)裝置,,承接裝置包括托臂,。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案。托臂安裝在升降裝置上,,可隨升降裝置升降,。在工作狀態(tài)下,晶圓視覺檢測機的夾取機構(gòu)夾住晶圓,。感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置,,并將信息反饋給控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)控制升降裝置帶動托臂上升或下降到晶圓所在位置的下方,,盡量接近晶圓的位置,。廈門固晶共晶機價格COC共晶機“共晶臺采用電流脈沖加熱模塊,設(shè)有氮氣保護(hù)系統(tǒng)”找泰克光電,。
隨同步帶移動而左右移動,。托臂通過連接塊與同步帶固定連接,連接塊的底部固定連接在同步帶上,,連接塊的頂部與托臂的底部固定連接,。托臂位于固定板的頂側(cè),以便托住晶圓,。連接塊伸出于固定板的前側(cè)或后側(cè),,托臂通過連接塊與設(shè)于固定板底側(cè)的同步帶固定連接。連接塊有利于托臂與同步帶連接穩(wěn)固,。具體地,,托臂的數(shù)量為兩個,各托臂分別固定連接在同步帶的不同輸送側(cè)上,,移動電機驅(qū)動主動輪轉(zhuǎn)動,,帶動從動輪和同步帶轉(zhuǎn)動,使得各托臂在固定板上做張合運動。一個托臂通過一個連接塊粘附在同步帶的前側(cè),,另一托臂通過另一連接塊連接在同步帶的后側(cè),。當(dāng)同步帶轉(zhuǎn)動時,連接在不同輸送側(cè)的連接塊帶動托臂往不同方向移動,,實現(xiàn)兩個托臂在固定板上做張合運動,。工作人員可根據(jù)不同規(guī)格的晶圓,通過控制系統(tǒng)控制移動電機驅(qū)動主動輪轉(zhuǎn)動,,帶動同步帶和從動輪轉(zhuǎn)動,。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識,。
泰克光電的共晶機廣泛應(yīng)用于電子、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案,。固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置,也即固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與片盒架的自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸線相交或平行,,也即固定架和片盒架的旋轉(zhuǎn)軌跡是不重合的,,以使固定架帶動片盒架的旋轉(zhuǎn)與片盒架的自轉(zhuǎn)能夠是兩種不同的旋轉(zhuǎn)。固定架帶動片盒架的旋轉(zhuǎn)是為了實現(xiàn)片盒架與清洗槽內(nèi)的不同位置的清洗液接觸,,由于在清洗晶圓的過程中,,一般清洗槽是水平放置的,固定架推薦可繞水平的旋轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動,,以帶動片盒架在清洗槽的不同深度移動,,片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線可以是如圖所示的,與固定架的旋轉(zhuǎn)軸線平行的水平軸,,也可是與水平面垂直的豎直軸等,。本實施例主要以片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線與固定架的旋轉(zhuǎn)軸線平行為例進(jìn)行說明。本實施例晶圓加工固定裝置,在使用過程中,,先將晶圓放置到片盒架上,,然后將片盒架安裝到固定架上,固定架通過安裝座安裝在清洗槽上,,而后通過固定架帶動片盒架轉(zhuǎn)動,,片盒架同步自轉(zhuǎn),使得片盒架上的晶圓與清洗槽內(nèi)的清洗液(藥液)充分接觸,,完成晶圓的清洗操作,。高精度TO共晶機價格怎么樣加工TO共晶機,泰克光電,。
可同時橫跨兩條滑軌并在兩條滑軌上來回移動,。本實用新型的工作過程為:使用者需要搬運晶圓時。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量,、高性能的共晶機設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們在共晶機設(shè)計,、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機電子,、光電子,、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝,、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案,。可先根據(jù)晶圓的尺寸,,設(shè)定兩個托臂之間的間距,,具體操作為:通過控制系統(tǒng)控制移動電機驅(qū)動主動輪轉(zhuǎn)動,帶動從動輪和同步帶轉(zhuǎn)動,,使得固定連接在同步帶不同輸送側(cè)上的兩個連接塊帶動兩個托臂做相向移動或相背運動,。晶圓視覺檢測機上的夾取機構(gòu)夾取晶圓后,感應(yīng)裝置感應(yīng)晶圓的位置,,并將位置信息反饋給控制系統(tǒng),??刂葡到y(tǒng)控制升降電機驅(qū)動升降絲桿機構(gòu)帶動升降板上下移動,使得固定在升降板頂側(cè)的固定板隨之移動,。托臂通過滑軌和滑塊滑動連接在固定板的頂側(cè),,固定板在豎直方向上移動時,托臂隨之上下移動,。高精度TO共晶機價格怎么樣,?找泰克光電。溫州貼片共晶機行價
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升降板滑動連接在導(dǎo)軌上,。進(jìn)一步地,為了使托臂能夠在水平方向上自由移動,。泰克光電是一家專注于共晶機制造的公司,。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機設(shè)備,,以滿足不同行業(yè)的需求,。作為共晶機制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗,。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,,他們在共晶機設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識,。泰克光電的共晶機ce-ad-bb-abe-e電子,、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè),。我們的設(shè)備可以用于焊接,、封裝、封裝和其他共晶工藝,。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,,我們都能提供適合的共晶解決方案。以便更好地承托晶圓,,托臂通過移動模塊安裝在升降板上,移動模塊與控制系統(tǒng)電連接,,移動模塊安裝在升降板的頂部且與托臂的底部連接,,用于驅(qū)動托臂在升降板上沿水平方向來回滑動??刂葡到y(tǒng)控制移動模塊在水平方向上來回移動,,以帶動托臂在升降板的頂部來回移動。移動模塊包括固定板,、移動電機和傳動組件,,固定板水平安裝在升降板上,,移動電機固定安裝在固定板上且與控制系統(tǒng)電連接,移動電機的輸出端與傳動組件的輸入端連接,,傳動組件的輸出端與托臂連接,,移動電機驅(qū)動傳動組件帶動托臂在固定板上滑動。萍鄉(xiāng)全自動共晶機廠商