探針臺(tái)分類，探針臺(tái)從操作上來區(qū)分有:手動(dòng),，半自動(dòng),，全自動(dòng)，從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺(tái),，真空探針臺(tái)(較低溫探針臺(tái))，RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái),，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái),。經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型,，根據(jù)客戶需求定制：chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)；X-Y移動(dòng)行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選),；chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離,；顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡,、單筒顯微鏡(可選),；顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型,、龍門結(jié)構(gòu)型(可選),；探針座:有0.7um,、2um、10um精度可選,，磁性吸附帶磁力開關(guān),；可搭配Probe card測(cè)試；適用領(lǐng)域:晶圓廠,、研究所,、高校等。探針臺(tái)的運(yùn)營(yíng)需要專業(yè)的人員和技術(shù)支持,。河南大型探針臺(tái)廠商

探針臺(tái)用途,，探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè),、集成電路以及封裝的測(cè)試,。ADVANCED儀準(zhǔn)科技研發(fā)高性價(jià)比手動(dòng)探針臺(tái)，普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本,。芯片制造結(jié)束后即可在線測(cè)試,，從源頭即可監(jiān)控。探針臺(tái)用于對(duì)集成電路,、三極管,、二極管及光電探測(cè)器的IV/CV參數(shù)等性能測(cè)試與表征，是研究中不可缺少的基本設(shè)備,。探針臺(tái)系統(tǒng)性能指標(biāo),，可以實(shí)現(xiàn)通過軟件對(duì)晶片載臺(tái)X，Y,，Z,，探針臺(tái)可搭載光纖，未來可升級(jí)滿足光電測(cè)試,。載物臺(tái)在XY方向：±1pm(0.04mls)分辨率,、小于2μm(0.08mls)重復(fù)精度、大于50mm/sec的移動(dòng)速度,；在Z方向:5mm(0.19in)的移動(dòng)范圍,、1pm(0.04mls)分辨率、小于1pmmls)重復(fù)精度.天津高精度探針臺(tái)廠家探針臺(tái)的建設(shè)和運(yùn)行需要具備高度的專業(yè)素養(yǎng)和嚴(yán)謹(jǐn)性,。

手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的,，這意味著晶圓載物臺(tái)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的,。因此一般是在沒有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái),。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要較少的培訓(xùn),，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備,、PC或軟件,。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員使用,。全自動(dòng)探針臺(tái)相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）,。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試,?？梢?4小時(shí)連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓,、封裝基板等,。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴。

真空腔體密封技術(shù),，真空腔體密封技術(shù)是真空探針的關(guān)鍵部分,， 真空腔體密封一旦在設(shè)計(jì)和加工過程中出現(xiàn)設(shè)計(jì) 缺陷、密封效果不好等問題,，就會(huì)產(chǎn)生氣體泄漏,， 對(duì)操作人員造成人身傷害,、甚至對(duì)大氣環(huán)境造成 污染,，這些問題在后期將無法彌補(bǔ)，在腔體裝配前 要進(jìn)行預(yù)裝試驗(yàn),，防止類似事件發(fā)生,。真空腔體采用圓形桶狀，下端面與工作平臺(tái) 緊密結(jié)合,，上端面端蓋可拆卸,。選用不銹鋼材料鍛 造后一體加工。加工過程中合理進(jìn)行材料熱處理,，減少加工變形,。探針臺(tái)開展的研究和觀測(cè)任務(wù)需要高精度的儀器和設(shè)備。

溫控探針臺(tái)是一款使用溫度范圍在-190℃-600℃的儀器,，在我們使用時(shí)還可對(duì)樣品氣氛進(jìn)行控制,，同時(shí)允許探針電測(cè)試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制,。這樣既可以保證,，即使在極低溫度下，腔體也不產(chǎn)生結(jié)霜影響實(shí)驗(yàn),，又可以防止樣品發(fā)生氧化,。探針臺(tái)上蓋與底殼構(gòu)成一個(gè)氣密腔,，可往內(nèi)充入氮?dú)獾缺Ｗo(hù)氣體，來防止樣品在負(fù)溫下結(jié)霜,，或高溫下氧化,。此款通過杠桿式支架，使用的是彎針探針,。相比傳統(tǒng)的直針探針,，這種設(shè)計(jì)不只點(diǎn)針更準(zhǔn)確，而且點(diǎn)針力度更大,，和樣品的電接觸性更好,。探針臺(tái)的觀測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)未來宇宙探索和科學(xué)研究提供了寶貴的資源。江蘇半自動(dòng)探針臺(tái)廠商

探針臺(tái)的建設(shè)需要克服很多技術(shù)難題,。河南大型探針臺(tái)廠商

探針臺(tái)的基本組件,，探針臺(tái)由六個(gè)基本組件組成：Chuck – 一種用于固定晶片或裸片而不損壞它的裝置。載物臺(tái) – 用于將卡盤定位在 X,、Y,、Z 和 Theta (θ) 上。機(jī)械手——用于將探頭定位在被測(cè)設(shè)備 (DUT) 上,。壓板 - 用于固定操縱器并使探針與設(shè)備接觸,。探頭先進(jìn)和臂 - 安裝在機(jī)械手上，它們直接接觸設(shè)備,。光學(xué) - 用于查看和放大被測(cè)設(shè)備和探頭先進(jìn),。它是如何工作的？探針臺(tái)將晶圓或芯片固定在安裝在平臺(tái)上的卡盤上,，該平臺(tái)允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心,。河南大型探針臺(tái)廠商