探針臺(tái)是晶圓輸送與定位任務(wù)的承擔(dān)者,，檢測(cè)半導(dǎo)體芯片電,、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備,。CP 測(cè)試環(huán)節(jié)中，探針臺(tái)首先將晶圓移動(dòng)至晶圓相機(jī)下,，確定晶圓的坐標(biāo)位置,；再將探針相機(jī) 移動(dòng)至探針卡下,，確定探針卡的坐標(biāo)位置,，當(dāng)確定二者位置后,，即通過(guò)載片臺(tái)將晶圓移動(dòng) 至探針卡下實(shí)現(xiàn)對(duì)針。其按不同功能可以分為高/低溫探針臺(tái),、RF 探針臺(tái),、LCD &TEG探針臺(tái)、光電探針臺(tái)等,，當(dāng)晶圓依次與探針接觸完成測(cè)試后,，探針臺(tái)記錄參數(shù)特性不符合要求的芯片， 并在進(jìn)入后序工序前予以剔除,，以保障質(zhì)量與可靠性,，降低器件的制造成本。探針臺(tái)是人類(lèi)探索宇宙的一個(gè)重要基石,。浙江電學(xué)溫控探針臺(tái)廠商

探針臺(tái),，是我們半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室電學(xué)性能測(cè)試的常用設(shè)備，也是各大實(shí)驗(yàn)室以及芯片設(shè)計(jì),、封裝測(cè)試的熟客。設(shè)備具備各項(xiàng)優(yōu)勢(shì),，高性能低成本,，用途廣，操作方便,，在不同測(cè)試環(huán)境下,，測(cè)試結(jié)果穩(wěn)定，客觀,，深受工程師們的青睞,。探針臺(tái)主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測(cè)試環(huán)節(jié),，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號(hào)，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試,，實(shí)現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測(cè)試測(cè)量,。半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備主要包括測(cè)試機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī),。在所有的測(cè)試環(huán)節(jié)中都會(huì)用到測(cè)試機(jī),，不同環(huán)節(jié)中測(cè)試機(jī)需要和分選機(jī)或探針臺(tái)配合使用,。安徽真空溫控探針臺(tái)廠家直銷(xiāo)探針臺(tái)具有規(guī)模化,、系統(tǒng)性,、戰(zhàn)略性和國(guó)際性等特點(diǎn)，是人類(lèi)探索宇宙的中心樞紐,。

探針臺(tái)由哪些部分組成,？樣品臺(tái)（載物臺(tái)）：是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小,，并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能,。光學(xué)元件：這個(gè)部件的作用使得用戶(hù)能夠從視覺(jué)上放大觀察待測(cè)物，以便精確地將探針先進(jìn)對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/芯片的測(cè)量點(diǎn)上,。有的采用立體變焦顯微鏡,，有的采用數(shù)碼相機(jī)，或者兩者兼有,。探針（探針卡）：待測(cè)芯片需要測(cè)試探針的連接,，才能與測(cè)試儀器建立連接。常見(jiàn)的有普通 DC 測(cè)試探針,、同軸DC測(cè)試探針,、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上,。探針先進(jìn)尺寸和材料取決于被探測(cè)特征的尺寸和所需的測(cè)量類(lèi)型,。探針尖直接接觸被測(cè)件，探針臂應(yīng)與探針尖匹配,。

真空腔體密封技術(shù),，真空腔體密封技術(shù)是真空探針的關(guān)鍵部分， 真空腔體密封一旦在設(shè)計(jì)和加工過(guò)程中出現(xiàn)設(shè)計(jì) 缺陷,、密封效果不好等問(wèn)題,，就會(huì)產(chǎn)生氣體泄漏， 對(duì)操作人員造成人身傷害,、甚至對(duì)大氣環(huán)境造成 污染,，這些問(wèn)題在后期將無(wú)法彌補(bǔ)，在腔體裝配前 要進(jìn)行預(yù)裝試驗(yàn),，防止類(lèi)似事件發(fā)生,。真空腔體采用圓形桶狀，下端面與工作平臺(tái) 緊密結(jié)合,，上端面端蓋可拆卸,。選用不銹鋼材料鍛 造后一體加工。加工過(guò)程中合理進(jìn)行材料熱處理,，減少加工變形,。探針臺(tái)建設(shè)需要綜合考慮技術(shù),、人力、資金等眾多因素,。

探針,、探針夾具及電纜組件。（1）探針,。待測(cè)點(diǎn)需要測(cè)試探針的連接,，才能與測(cè)試儀器發(fā)生交流。常見(jiàn)的有：普通DC測(cè)試探針,、同軸DC測(cè)試探針,、有源探針和微波探針。（2）探針夾具及電纜組件,。探針夾具用于夾持探針,、并將探針連接至測(cè)量?jī)x器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接,、延展探針夾具上的電纜組件,。根據(jù)測(cè)量應(yīng)用，可粗略地劃分為以下幾種：I-V/CV測(cè)試用,、RF測(cè)試用,、高壓大電流I-V/C-V測(cè)試用等。主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái),，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片,，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓,、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)材料,、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析,，抽查測(cè)試等用途,。探針臺(tái)的科研成果對(duì)探索宇宙,、維護(hù)人類(lèi)福祉和生存環(huán)境有著重要的促進(jìn)作用。12寸探針臺(tái)生產(chǎn)廠家

探針臺(tái)是專(zhuān)門(mén)為探索宇宙而設(shè)計(jì)的機(jī)構(gòu)之一,。浙江電學(xué)溫控探針臺(tái)廠商

半自動(dòng)型,，chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm,；chuck粗調(diào)升降9mm,，微調(diào)升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡,；針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆,；顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2",；可搭配Probe card測(cè)試；適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer,、IC測(cè)試之產(chǎn)品,；電動(dòng)型；chuck尺寸1200mm,，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金),；X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm；chuck粗調(diào)升降9mm,，微調(diào)升降16mm,，微調(diào)精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡,。浙江電學(xué)溫控探針臺(tái)廠商