車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動(dòng)上下料機(jī)械手,、上下料機(jī)械手,，車床自動(dòng)上下料機(jī)械手主要實(shí)現(xiàn)機(jī)床制造過程的完全自動(dòng)化，并采用了集成加工技術(shù),，適用于生產(chǎn)線的上下料,、工件翻轉(zhuǎn)、工件轉(zhuǎn)序等,。在國(guó)內(nèi)的機(jī)械加工,， 很多都是使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料的方式， 這在產(chǎn)品比較單一,、產(chǎn)能不高的情況下是非常適合的,， 但是隨著社會(huì)的進(jìn)步和發(fā)展， 科技的日益進(jìn)步,， 產(chǎn)品更新?lián)Q代加快,， 使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料就暴露出了很多的不足和弱點(diǎn),， 一方面專機(jī)占地面積大結(jié)構(gòu)復(fù)雜、維修不便,， 不利于自動(dòng)化流水線的生產(chǎn),；另一方面， 它的柔性不夠,， 難以適應(yīng)日益加快的變化，不利于產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整,；其次,， 使用人工會(huì)造成勞動(dòng)強(qiáng)度的增加， 容易產(chǎn)生工傷事故,， 效率也比較低下,， 且使用人工上下料的產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性不夠， 不能滿足大批量生產(chǎn)的需求,。 關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜,。中山庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

    基因決定”——生長(zhǎng)方法導(dǎo)致若要回答這個(gè)問題，首先要說一個(gè)大約有100余年歷史的原因,。,。。1918年,，前蘇聯(lián)科學(xué)家切克勞斯基（Czochralski）建立起來一種晶體生長(zhǎng)方法——直拉式晶體生長(zhǎng)方法,，簡(jiǎn)稱CZ法。硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純,、單晶硅生長(zhǎng),、晶圓成型。首先是硅砂的提純及熔煉,。這個(gè)階段主要是通過溶解,、提純、蒸餾等一系列措施得到多晶硅,。接下來是單晶硅生長(zhǎng)工藝,。就是從硅熔體中生長(zhǎng)出單晶硅。高純度的多晶硅放在石英坩堝中,，在保護(hù)性氣氛中高溫加熱使其熔化,。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉(zhuǎn)著的熔體中緩慢上升，即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠,。***一步是晶圓成型,。單晶硅錠一般呈圓柱型，直徑從3英寸到十幾英寸不等,。硅錠經(jīng)過切片,、拋光之后,，就得到了單晶硅圓片，也即晶圓,。 中山晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂手臂就要產(chǎn)生振動(dòng),，或動(dòng)作時(shí)工件卡死無法工作。

與剛性機(jī)械臂相比較,，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性，因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率,，其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確，有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),，在工業(yè),、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,，越來越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng),。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求。柔性機(jī)械臂作為簡(jiǎn)單的非平凡多柔體系統(tǒng),，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。

    建模理論柔性機(jī)械臂動(dòng)力學(xué)方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個(gè)相當(dāng)有代表性的方程。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法,。而柔性體變形的描述是柔性機(jī)械臂系統(tǒng)建模與控制的基礎(chǔ),。因此因首先選擇一定的方式描述柔性體的變形，同時(shí)變形的描述與系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)方程的求解關(guān)系密切,。[3]柔性體變形的描述主要有以下幾種：1)有限元法,；2)有限段法；3)模態(tài)綜合法,；4)集中質(zhì)量法,；動(dòng)力學(xué)方程的建立無論是連續(xù)或離散的動(dòng)力學(xué)模型，其建模方法主要基于兩類基本方法：矢量力學(xué)法和分析力學(xué)法,。應(yīng)用較***同時(shí)也是比較成熟的是Newton-Euler公式,、Lagrange方程、變分原理,、虛位移原理和Kane方程,。 通用性強(qiáng)，能適應(yīng)多種作業(yè),；工藝性好,，便于維修調(diào)整。

    確定性主要分為兩種主要類型:結(jié)構(gòu)(structured)不確定性和非結(jié)構(gòu)(unstructured)不確定性,非結(jié)構(gòu)不確定性主要是由于測(cè)量噪聲,、外界干擾及計(jì)算中的采樣時(shí)滯和舍入誤差等非被控對(duì)象自身因素所引起的不確定性,。結(jié)構(gòu)不確定性和建模模型本身有關(guān),可分為系統(tǒng)模型①參數(shù)不確定性如負(fù)載質(zhì)量,、連桿質(zhì)量、長(zhǎng)度及連桿質(zhì)心等參數(shù)未知或部分已知,。②未建模動(dòng)態(tài)高頻未建模動(dòng)態(tài),如執(zhí)行器動(dòng)態(tài)或結(jié)構(gòu)振動(dòng)等;低頻未建模動(dòng)態(tài),如動(dòng)/靜摩擦力等,。模型不確定性給機(jī)械臂軌跡**的實(shí)現(xiàn)帶來影響,同時(shí)部分控制算法受限于一定的不確定性。應(yīng)用于機(jī)械臂控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法主要包括PID控制,、自適應(yīng)控制和魯棒控制等,然而由于它們自身所存在的缺點(diǎn),促使其與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò),、模糊控制等算法相結(jié)合,一些新的控制方法也在涌現(xiàn),很多算法是彼此結(jié)合在一起的。 普遍認(rèn)為機(jī)械臂是實(shí)現(xiàn)智能制造的很好的載體,，可以實(shí)現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實(shí)現(xiàn)的大操作空間與靈活性,。東莞新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

因此，在設(shè)計(jì)手臂時(shí),，須根據(jù)機(jī)械手抓取重量,、自由度數(shù),、工作范圍,、運(yùn)動(dòng)速度及機(jī)械手的整體布局。中山庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機(jī),、一級(jí)伸展臂、二級(jí)伸展臂和手指固定座,，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié),，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié)，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié),，所述的伸展電機(jī),、所述的一級(jí)關(guān)節(jié),、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng),。 中山庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

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