背景技術(shù)：

晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術(shù)，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進(jìn)行運(yùn)輸傳遞等作業(yè),。例如,，準(zhǔn)備對晶圓進(jìn)行刻蝕加工時(shí)，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機(jī)臺(tái)內(nèi),。

現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機(jī)械手臂,，該機(jī)械手臂的表面設(shè)有卡槽，晶圓用于放置在該卡槽內(nèi),，以防止機(jī)械手臂在傳送晶圓時(shí)發(fā)生晶圓平移(即晶圓相對機(jī)械手臂運(yùn)動(dòng)),。然而，現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，另外,，機(jī)械手臂的傳送晶圓效率較低，影響了生產(chǎn)效率,。

車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動(dòng)上下料機(jī)械手,、上下料機(jī)械手。廣東進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格

與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比,，蛙腿型機(jī)械手的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)更簡單,，剛性更高，且工作效率更高,。如上圖所示,，蛙腿型機(jī)械手手臂為對稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對大臂和2對小臂,。2個(gè)直驅(qū)電機(jī)分別通過2個(gè)同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂,，大臂末端通過4個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對小臂，2對小臂的末端又通過2個(gè)旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤,。 該機(jī)械手雖然只有3個(gè)電機(jī),，但水平連桿卻有10個(gè)旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，因此對整個(gè)真空機(jī)械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個(gè)復(fù)雜的過程深圳本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理價(jià)錢手臂的剛性直接影響到手臂抓取工件時(shí)動(dòng)作的平穩(wěn)性,、運(yùn)動(dòng)的速度和定位精度,。

注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱為注塑機(jī)機(jī)械手,、塑料機(jī)機(jī)械手，它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動(dòng)剪水口,、模內(nèi)鑲件,、模內(nèi)貼標(biāo)、模外組裝,、整形,、分類、堆疊,、產(chǎn)品包裝,、模具優(yōu)化等等。且可以對其進(jìn)行自動(dòng)控制使其按照預(yù)定要求輸送制品或操持工具進(jìn)行生產(chǎn)操作的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備,。注塑行業(yè)機(jī)械臂是為注塑生產(chǎn)自動(dòng)化專門配備的機(jī)械,，它可以在減輕繁重的體力勞動(dòng)、改善勞動(dòng)條件和安全生產(chǎn);提高注塑成型機(jī)的生產(chǎn)效率,、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量,、降低廢品率、降低生產(chǎn)成本,、增強(qiáng)企業(yè)的競爭力等方面起到及其重要的作用,。

電鍍：

到這一步，晶圓基本上就完成了,，現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,，銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極。

拋光：

然后將Wafer進(jìn)行打磨,，到這一步晶圓就真正的完成了,。

切割：

對晶圓進(jìn)行切割，值得一提的是晶圓十分易碎,，因此對切割的工藝要求也是非常高的,。

測試：

測試分為三大類：功能測試、性能測試,、抗老化測試,。大致測試模式如下:接觸測試、功耗測試,、輸入漏電測試,、輸出電平測試、動(dòng)態(tài)參數(shù)測試,、模擬信號參數(shù)測試等等,。全部測試都通過的，就是正片,；部分測試未通過,，但正常使用無礙，這是白片,；未開始測試,，就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的，這是黑片,。

對于粉塵作業(yè)的機(jī)械手還要添裝防塵設(shè)施,。

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,，檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長）

或者3個(gè)FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過S曲線加減速控制方式以及對運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化

能夠高速,，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式,，邊緣夾持式,，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 通用性強(qiáng),，能適應(yīng)多種作業(yè),；工藝性好，便于維修調(diào)整,。東莞新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂上門服務(wù)

所述鋁合金平板下表面通過金屬箔片密封其真空腔體,。廣東進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格

工業(yè)機(jī)械臂是擬人手臂、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置,。擬人手臂,、手腕和手功能的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng),，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。如夾持焊鉗或焊***，對汽車或摩托車車體進(jìn)行了點(diǎn)焊或弧焊,；搬運(yùn)壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件,；進(jìn)行激光切割；噴涂,；裝配機(jī)械零部件等等,。機(jī)械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名。由于影視宣傳和科幻小說的影響,，人們往往把機(jī)械臂想像成外貌似人的機(jī)械和電子裝置,。但事實(shí)并不是這樣，特別是工業(yè)機(jī)械臂,，與人的外貌往往毫無相似之處,。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn),，工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的，可重復(fù)編程,、多用途,，并可以對3個(gè)以上軸進(jìn)行編程。它可以是固定式或者移動(dòng)式,。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”,。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動(dòng)的構(gòu)件所組成,。廣東進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格

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