年來(lái)全球硅晶圓供給不足,，導(dǎo)致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見(jiàn)度分別已達(dá)2019上半年和年底,。目前國(guó)內(nèi)多個(gè)硅晶圓項(xiàng)目已經(jīng)開(kāi)始籌備,，期望有朝一日能夠打破進(jìn)口依賴,，并有足夠的能力滿足市場(chǎng)需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石,、砂礫中,，硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長(zhǎng),、晶圓成型,。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個(gè)溫度約為2000℃,，并且有碳源存在的電弧熔爐中,，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)（碳氧結(jié)合,，得硅）,，提純得純度約為98%的純硅，又稱冶金級(jí)硅,，這對(duì)微電子器件來(lái)說(shuō)依然不夠純,，因?yàn)榘雽?dǎo)體材料的電學(xué)特性對(duì)雜質(zhì)的濃度相當(dāng)?shù)拿舾校蚨鴮?duì)冶金級(jí)硅作進(jìn)一步提純：將粉碎的冶金級(jí)硅與氣態(tài)的氯化氫進(jìn)行氯化反應(yīng),，生成液態(tài)的硅烷,，然后通過(guò)蒸餾和化學(xué)還原工藝，得到了高純度的多晶硅,，其純度達(dá)99%,，成為電子級(jí)硅。機(jī)械手臂是機(jī)械人技術(shù)領(lǐng)域中得到*****實(shí)際應(yīng)用的自動(dòng)化機(jī)械裝置.廣東晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手,。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送,，在傳送的過(guò)程中,，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好,，速度越快,，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來(lái)越復(fù)雜,，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來(lái)越高,，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機(jī)械手。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

韶關(guān)庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂參考價(jià)柔性機(jī)械臂在工業(yè),、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位。

進(jìn)行光刻：

將設(shè)計(jì)好的電路掩模,，置于光刻機(jī)的紫外射線下,，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻,，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除,，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進(jìn)行再次光刻,。一般來(lái)說(shuō)一個(gè)晶圓的電路要經(jīng)過(guò)多次光刻,。而隨著技術(shù)革新，極紫光刻出現(xiàn)了,，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高,，甚至于可以達(dá)到光刻一次完成。

注射：

在真空下,，將導(dǎo)電材料注入晶圓的電路內(nèi)部,。其真空的標(biāo)準(zhǔn)比無(wú)菌室或ICU還要高出千萬(wàn)倍。

電動(dòng)式 電力驅(qū)動(dòng)是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動(dòng)方式,。其特點(diǎn)是電源方便,，響應(yīng)快，驅(qū)動(dòng)力較大（關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤）,，信號(hào)檢測(cè),、傳遞、處理方便,，并可以采用多種靈活的控制方案,。驅(qū)動(dòng)電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī)，直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)（其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動(dòng)形式）,。由于電機(jī)速度高,，通常采用減速機(jī)構(gòu)（如諧波傳動(dòng),、RV擺線針輪傳動(dòng)、齒輪傳動(dòng),、螺旋行動(dòng)和多桿式機(jī)構(gòu)等）,。目前，有些機(jī)械臂已開(kāi)始采用無(wú)減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩,、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)（DD）,，這既可以使機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)化，又可提高控制精度,。二,、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣，一般只需點(diǎn)位控制,。即被搬運(yùn)零件無(wú)嚴(yán)格的運(yùn)動(dòng)軌跡要求,，只要求始點(diǎn)和終點(diǎn)位姿準(zhǔn)確。如機(jī)床上用的上下料器人,，工件堆垛機(jī)械臂,，注塑機(jī)配套用的機(jī)械等。簡(jiǎn)單的搬運(yùn)與碼垛,，根本無(wú)法稱之為智能制造,。

有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手。具體地,，該機(jī)械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber）,，或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室,。機(jī)械手配置在該傳送室內(nèi),。利用機(jī)械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間移動(dòng)。傳送室相當(dāng)于小的無(wú)塵室,。傳送室防止灰塵等雜質(zhì)附著于半導(dǎo)體晶圓,。在傳送室內(nèi)保持空氣（或者氣體）清潔。另外,，傳送室內(nèi)有時(shí)被保持為真空,。要求使在傳送室內(nèi)工作的機(jī)械手不產(chǎn)生雜質(zhì)的方法。手臂的剛性直接影響到手臂抓取工件時(shí)動(dòng)作的平穩(wěn)性,、運(yùn)動(dòng)的速度和定位精度,。廣東晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

臂應(yīng)承載能力大、剛性好,、自重輕.廣東晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

    6)自適應(yīng)控制,。采用組合自適應(yīng)控制將系統(tǒng)劃分成關(guān)節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng)。利用參數(shù)線性化的方法設(shè)計(jì)自適應(yīng)控制規(guī)則來(lái)辨識(shí)柔性機(jī)械臂的不確定性參數(shù)。對(duì)具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機(jī)械臂進(jìn)行了**控制器的設(shè)計(jì),?？刂破鞯脑O(shè)計(jì)是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和自適應(yīng)控制設(shè)計(jì)。通過(guò)狀態(tài)轉(zhuǎn)換將系統(tǒng)分成兩個(gè)子系統(tǒng),。用自適應(yīng)控制和魯棒控制分別對(duì)兩個(gè)子系統(tǒng)進(jìn)行控制,。7)PID控制。PID控制器作為很受歡迎和**廣泛應(yīng)用的控制器,由于其簡(jiǎn)單,、有效,、實(shí)用,被普遍地用于剛性機(jī)械臂控制,常通過(guò)調(diào)整控制器增益構(gòu)成自校正PID控制器或與其它控制方法結(jié)合構(gòu)成復(fù)合控制系統(tǒng)以改善PID控制器性能。8)變結(jié)構(gòu)控制,。變結(jié)構(gòu)控制系統(tǒng)是一種不連續(xù)的反饋控制系統(tǒng),其中滑?？刂剖?*普遍的變結(jié)構(gòu)控制。其特點(diǎn);在切換面上,具有所謂的滑動(dòng)方式,在滑動(dòng)方式中系統(tǒng)對(duì)參數(shù)變化和擾動(dòng)保持不敏感,同時(shí),它的軌跡位于切換面上,滑動(dòng)現(xiàn)象并不依賴于系統(tǒng)參數(shù),具有穩(wěn)定的性質(zhì),。變結(jié)構(gòu)控制器的設(shè)計(jì),不需要機(jī)械臂精確的動(dòng)態(tài)模型,模型參數(shù)的邊界就足以構(gòu)造一個(gè)控制器,。 廣東晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

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