為了解決使用機(jī)器語(yǔ)言編寫(xiě)應(yīng)用程序所帶來(lái)的一系列問(wèn)題，人們首先想到了使用助記符號(hào)來(lái)代替不容易記憶的機(jī)器指令,。這種助記符號(hào)來(lái)表示計(jì)算機(jī)指令的語(yǔ)言稱(chēng)為符號(hào)語(yǔ)言,，也稱(chēng)匯編語(yǔ)言。在匯編語(yǔ)言中,，每一條用符號(hào)來(lái)表示的匯編指令與計(jì)算機(jī)機(jī)器指令一一對(duì)應(yīng),；記憶難度**減少了，不僅易于檢查和修改程序錯(cuò)誤,，而且指令,、數(shù)據(jù)的存放位置可以由計(jì)算機(jī)自動(dòng)分配。用匯編語(yǔ)言編寫(xiě)的程序稱(chēng)為源程序,，計(jì)算機(jī)不能直接識(shí)別和處理源程序,，必須通過(guò)某種方法將它翻譯成為計(jì)算機(jī)能夠理解并執(zhí)行的機(jī)器語(yǔ)言，執(zhí)行這個(gè)翻譯工作的程序稱(chēng)為匯編程序,。機(jī)械手是能模仿人手和臂的某些動(dòng)作功能,，用以按固定程序抓取、搬運(yùn)物件或操作工具的自動(dòng)操作裝置,。珠海新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線(xiàn)運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便，多功能集一身,，可滿(mǎn)足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂,、二級(jí)伸展臂和手指固定座,，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié),，所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié),、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng),，所述的手指固定座始終保持直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。

中山庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠(chǎng)家報(bào)價(jià)對(duì)了懸臂式的機(jī)械手,，還要考慮零件在手臂上布置,。

注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱(chēng)為注塑機(jī)機(jī)械手、塑料機(jī)機(jī)械手,，它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動(dòng)剪水口,、模內(nèi)鑲件、模內(nèi)貼標(biāo),、模外組裝,、整形、分類(lèi),、堆疊,、產(chǎn)品包裝、模具優(yōu)化等等,。且可以對(duì)其進(jìn)行自動(dòng)控制使其按照預(yù)定要求輸送制品或操持工具進(jìn)行生產(chǎn)操作的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備,。注塑行業(yè)機(jī)械臂是為注塑生產(chǎn)自動(dòng)化專(zhuān)門(mén)配備的機(jī)械，它可以在減輕繁重的體力勞動(dòng),、改善勞動(dòng)條件和安全生產(chǎn);提高注塑成型機(jī)的生產(chǎn)效率,、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量、降低廢品率,、降低生產(chǎn)成本,、增強(qiáng)企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力等方面起到及其重要的作用。

多功能一體化機(jī)械臂,，包括機(jī)械臂主體,，所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,，該種多功能一體化機(jī)械臂,，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低,、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),，本機(jī)械臂*由底座,、前臂和后臂構(gòu)成的，實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn),，且在生產(chǎn)過(guò)程中由于體積較小,，廠(chǎng)家生產(chǎn)成本費(fèi)較低，同時(shí)工人在使用時(shí),，移動(dòng)較為方便,，設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,，實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),，在使用過(guò)程中完全依靠程序芯片控制，液壓器液壓精細(xì)不會(huì)普遍認(rèn)為機(jī)械臂是實(shí)現(xiàn)智能制造的很好的載體,，可以實(shí)現(xiàn)五軸數(shù)控?zé)o法實(shí)現(xiàn)的大操作空間與靈活性,。

進(jìn)行光刻：

將設(shè)計(jì)好的電路掩模，置于光刻機(jī)的紫外射線(xiàn)下,，然后再在它的下面放置Wafer,，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,，刻上了電路圖,。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致,，然后進(jìn)行再次光刻,。一般來(lái)說(shuō)一個(gè)晶圓的電路要經(jīng)過(guò)多次光刻。而隨著技術(shù)革新,，極紫光刻出現(xiàn)了,，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達(dá)到光刻一次完成,。

注射：

在真空下,，將導(dǎo)電材料注入晶圓的電路內(nèi)部。其真空的標(biāo)準(zhǔn)比無(wú)菌室或ICU還要高出千萬(wàn)倍,。 機(jī)械手的剛度,、偏重力矩、慣性力及緩沖效果都直接影響手臂的位置精度,。東莞晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)位

因此,，在設(shè)計(jì)手臂時(shí)，須根據(jù)機(jī)械手抓取重量,、自由度數(shù),、工作范圍、運(yùn)動(dòng)速度及機(jī)械手的整體布局,。珠海新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂

    建模理論柔性機(jī)械臂動(dòng)力學(xué)方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個(gè)相當(dāng)有代表性的方程,。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機(jī)械臂系統(tǒng)建模與控制的基礎(chǔ),。因此因首先選擇一定的方式描述柔性體的變形,，同時(shí)變形的描述與系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)方程的求解關(guān)系密切。[3]柔性體變形的描述主要有以下幾種：1)有限元法,；2)有限段法,；3)模態(tài)綜合法；4)集中質(zhì)量法,；動(dòng)力學(xué)方程的建立無(wú)論是連續(xù)或離散的動(dòng)力學(xué)模型,，其建模方法主要基于兩類(lèi)基本方法：矢量力學(xué)法和分析力學(xué)法。應(yīng)用較***同時(shí)也是比較成熟的是Newton-Euler公式,、Lagrange方程,、變分原理、虛位移原理和Kane方程,。 珠海新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂

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