本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送,，在傳送的過(guò)程中，傳送精度越高,，設(shè)備工藝一致性就越好,，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大,。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來(lái)越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度,、柔性化程度要求也越來(lái)越高,，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手,。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便,，多功能集一身，可滿(mǎn)足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

科學(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機(jī)器手臂，可以抓起螞蟻而不是捏死,。汕頭銷(xiāo)售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠(chǎng)家報(bào)價(jià)

可選地,，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板,，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端,、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地，所述表面為平面,。

另外,，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂,。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí)，晶圓放置在托板的表面,，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上,，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述,，本實(shí)用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚,。 汕頭進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂企業(yè)實(shí)現(xiàn)柔性機(jī)械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性,。

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形，故稱(chēng)為晶圓,；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

晶圓的原始材料是硅,，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,，**化,，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅,，其純度高達(dá)99.9%,。

多功能一體化機(jī)械臂，包括機(jī)械臂主體,，所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座,、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的，該種多功能一體化機(jī)械臂,，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn),，本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),，本機(jī)械臂*由底座,、前臂和后臂構(gòu)成的，實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn),，且在生產(chǎn)過(guò)程中由于體積較小,，廠(chǎng)家生產(chǎn)成本費(fèi)較低，同時(shí)工人在使用時(shí),，移動(dòng)較為方便,，設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,，實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),，在使用過(guò)程中完全依靠程序芯片控制,，液壓器液壓精細(xì)不會(huì)隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng),。

工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的,，可重復(fù)編程、多用途,，并可以對(duì)3個(gè)以上軸進(jìn)行編程,。它可以是固定式或者移動(dòng)式,。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”,。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成,。它通常有幾個(gè)自由度,，用以抓取或移動(dòng)物體（工具或工件）?！彼詫?duì)工業(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂,、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng),，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。 而回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的誤差是放大時(shí)的尺寸誤差，當(dāng)轉(zhuǎn)角位置一定時(shí),，手臂伸出越長(zhǎng),，其誤差越大；珠海正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人

在運(yùn)動(dòng)臂上加裝滾動(dòng)軸承或采用滾珠導(dǎo)軌也能使手臂運(yùn)動(dòng)輕快,、平穩(wěn),。汕頭銷(xiāo)售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠(chǎng)家報(bào)價(jià)

2．噴涂機(jī)械臂 這種機(jī)械臂多用于噴漆生產(chǎn)線(xiàn)上，重復(fù)位姿精度要求不高,。但由于漆霧易燃,，一般采用液壓驅(qū)動(dòng)或交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。3．焊接機(jī)械臂 這是目前使用**多的一類(lèi)機(jī)械臂,，它又可分為點(diǎn)焊和弧焊兩類(lèi),。點(diǎn)焊機(jī)械臂負(fù)荷大基本介紹當(dāng)提到機(jī)械人時(shí)，許多人會(huì)想到有手,，有腳的人型機(jī)械.不過(guò),， 這類(lèi)機(jī)械人往往出現(xiàn)在科幻電影，***所,，展覽會(huì)和玩具店中,，它們與工業(yè)用的機(jī)械人大不相同. 工業(yè)機(jī)械人（Industrial Robots）簡(jiǎn)稱(chēng)為IR，它們大多為簡(jiǎn)單的操作設(shè)備,，有時(shí)會(huì)被稱(chēng)為機(jī)械臂,，例如：進(jìn)行簡(jiǎn)單的提起或放下動(dòng)作,，在機(jī)器內(nèi)放入或取出工件等.不過(guò)，亦有不少工業(yè)機(jī)械人可以完全用程式控制,，并可進(jìn)行不同類(lèi)型工作,，汕頭銷(xiāo)售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠(chǎng)家報(bào)價(jià)

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