一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手,，其特征在于,，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺,；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形,，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段,；位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型,，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內(nèi),；在垂直于所述手臂的方向上，所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出,；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。盡管它們的形態(tài)各有不同,，但它們都有一個共同的特點(diǎn),，就是能夠接受指令.廣州銷售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂設(shè)計

與剛性機(jī)械臂相比較，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性,，因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率,，其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,，有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn)，在工業(yè),、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位,。隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng),。傳統(tǒng)的多剛體動力學(xué)的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統(tǒng)的動力分析及控制的要求,。柔性機(jī)械臂作為簡單的非平凡多柔體系統(tǒng)，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。 汕頭晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂新報價因此,，在設(shè)計手臂時，須根據(jù)機(jī)械手抓取重量、自由度數(shù),、工作范圍,、運(yùn)動速度及機(jī)械手的整體布局。

機(jī)械臂是指高精度,，多輸入多輸出,、高度非線性、強(qiáng)耦合的復(fù)雜系統(tǒng),。因其獨(dú)特的操作靈活性, 已在工業(yè)裝配, 安全防爆等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,。機(jī)械臂是一個復(fù)雜系統(tǒng), 存在著參數(shù)攝動、外界干擾及未建模動態(tài)等不確定性,。因而機(jī)械臂的建模模型也存在著不確定性,，對于不同的任務(wù), 需要規(guī)劃機(jī)械臂關(guān)節(jié)空間的運(yùn)動軌跡，從而級聯(lián)構(gòu)成末端位姿 [1]  ,。機(jī)器人系統(tǒng)是由視覺傳感器,、機(jī)械臂系統(tǒng)及主控計算機(jī)組成，其中機(jī)械臂系統(tǒng)又包括模塊化機(jī)械臂和靈巧手兩部分,。整個系統(tǒng)的構(gòu)建模型如圖1 所示．

裝配機(jī)械人 ,；這燈機(jī)械臂要有較高的位姿精度，手腕具有較大的柔性,。目前大多用于機(jī)電產(chǎn)品的裝配作業(yè),。⒌專門用途的機(jī)械臂 如醫(yī)用護(hù)理機(jī)械臂、航天用機(jī)械臂,、探海用機(jī)械臂以及排險作業(yè)機(jī)械臂等,。三、按操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)形式和自由度數(shù)量分類機(jī)械臂操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)型式是機(jī)械臂重要的外形特征,，按這一類標(biāo)準(zhǔn),，機(jī)械臂可分為直角坐標(biāo)型，圓柱坐標(biāo)型,，球（極）坐標(biāo)型,、關(guān)節(jié)型機(jī)械臂（或擬人機(jī)械臂）。操作機(jī)本身的軸數(shù)（自由度數(shù)）**能反應(yīng)機(jī)械臂的工作能力,，也是分類的重要依據(jù),。按這一分類要求，機(jī)械臂可分為4軸（自由度）,、5軸（自由度）,、6軸（自由度）、7軸（自由度）等機(jī)械臂,。還有其它多種分類方式,?；窘榻B工業(yè)設(shè)計工業(yè)機(jī)械人通常由六項基本元素所組成，包括：結(jié)構(gòu),臂端工具,，電腦數(shù)碼控制器,，驅(qū)動器,，量度回輸系統(tǒng)和感應(yīng)器,。機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮。

有用于輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手,。具體地,，該機(jī)械手將半導(dǎo)體晶圓插入到處理室（process chamber），或者將半導(dǎo)體晶圓從處理室中取出,。傳送室（transfer chamber）連結(jié)于處理室,。機(jī)械手配置在該傳送室內(nèi)。利用機(jī)械手使半導(dǎo)體晶圓在傳送室與處理室之間移動,。傳送室相當(dāng)于小的無塵室,。傳送室防止灰塵等雜質(zhì)附著于半導(dǎo)體晶圓。在傳送室內(nèi)保持空氣（或者氣體）清潔,。另外,，傳送室內(nèi)有時被保持為真空。要求使在傳送室內(nèi)工作的機(jī)械手不產(chǎn)生雜質(zhì)的方法,。與剛性機(jī)械臂相比較,，柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,。韶關(guān)原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

運(yùn)動元件,。如油缸、氣缸,、齒條,、凸輪等是驅(qū)動手臂運(yùn)動的部件。廣州銷售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂設(shè)計

背景技術(shù)：

晶圓的生產(chǎn)與制作屬極為精密的加工技術(shù),，其通常需借助晶圓傳輸裝置來進(jìn)行運(yùn)輸傳遞等作業(yè),。例如，準(zhǔn)備對晶圓進(jìn)行刻蝕加工時,，需要利用晶圓傳輸裝置將晶舟內(nèi)的待刻蝕晶圓傳輸至刻蝕機(jī)臺內(nèi),。

現(xiàn)有一種晶圓傳輸裝置包括機(jī)械手臂，該機(jī)械手臂的表面設(shè)有卡槽,，晶圓用于放置在該卡槽內(nèi),，以防止機(jī)械手臂在傳送晶圓時發(fā)生晶圓平移(即晶圓相對機(jī)械手臂運(yùn)動)。然而,，現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，另外,，機(jī)械手臂的傳送晶圓效率較低，影響了生產(chǎn)效率,。

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