晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,,故稱為晶圓,;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。
晶圓的原始材料是硅,,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,,**化,,并經(jīng)蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,,其純度高達(dá)99.9%,。
晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料,半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,,因此對應(yīng)的就是硅晶圓,。 關(guān)節(jié)式機(jī)械手因其結(jié)構(gòu)復(fù)雜。廣東官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價格便宜 機(jī)械手臂應(yīng)用場景多在制造業(yè),。廣州進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)
例如:尋找,,運(yùn)輸,握取,,對準(zhǔn),,裝配,,檢驗(yàn)等動作. 為了明確地描述工業(yè)機(jī)械人,美國機(jī)械人協(xié)會在1979年將機(jī)械人定義為一個可用程式控制,,多功能的操作器,,它透過程式控制和多變化的動作設(shè)計來移動材料,工件,,工具或特別設(shè)備,,以完成一連串的工作.所以,雖然許多工業(yè)機(jī)械人并非有人的形態(tài),,但只要它們符合機(jī)械人的定義,,便可以稱為機(jī)械人.工業(yè)機(jī)械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi),但估計在不久將來還會有數(shù)以十萬計的工業(yè)機(jī)械人投入服務(wù).現(xiàn)時,,不少研究人員正為機(jī)械人研究如何加入視覺和感覺,,令機(jī)械人可以完成更復(fù)雜的工作.而研究機(jī)械人的學(xué)問稱為機(jī)械人學(xué)。佛山庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家此外,,對于熱加工的機(jī)械手,,還要考慮熱輻射,手臂要較長,,以遠(yuǎn)離熱源,,并須裝有冷卻裝置。
半導(dǎo)體行業(yè),,尤其是集成電路領(lǐng)域,,晶圓的身影隨處可見。
晶圓就是一塊薄薄的,、圓形的高純硅晶片,,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。
眼前這密密麻麻的元器件,,被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上,都是規(guī)規(guī)矩矩,、方方正正的,。可見,,晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的,。
所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的?為什么是“晶圓”,,而不做成“晶方”,?
要解釋這個問題,有兩方面的原因:一方面似乎是由“基因決定的”,;另一方面是“環(huán)境造成的”,。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,,且傳送晶圓效率較低。
為了解決上述問題,,本實(shí)用新型的一個實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。
可選地,,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上,。
可選地,,所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),,并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。
可選地,,所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛,。
可選地,所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上,。
可選地,,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。
可選地,,所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上,,各個所述絨毛墊之間間隔排布。 手臂的剛性直接影響到手臂抓取工件時動作的平穩(wěn)性,、運(yùn)動的速度和定位精度,。
9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制。是一種語言控制器,可反映人在進(jìn)行控制活動時的思維特點(diǎn),。其主要特點(diǎn)之一是控制系統(tǒng)設(shè)計并不需要通常意義上的被控對象的數(shù)學(xué)模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗(yàn)知識,操作數(shù)據(jù)等,。[3]研究意義與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),在工業(yè),、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位.隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng).。傳統(tǒng)的多剛體動力學(xué)的分析方法及控制方法己不能滿足多柔體系統(tǒng)的動力分析及控制的要求.柔性機(jī)械臂作為**簡單的非平凡多柔體系統(tǒng),被***地用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。 實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn),、升降運(yùn)動是由橫臂和產(chǎn)柱去完成。進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家
操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器,,其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。廣州進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)
整個蛙腿型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手共由3個電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動控制,。2臺直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制,1臺直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個機(jī)械手的上升與下降控制,。雖然軸數(shù)較少,,但對控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高,。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT,。 針對客戶的需求,Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動器,。Dual axis module同時驅(qū)動2臺直驅(qū)電機(jī),,Single axis module驅(qū)動1臺升降直流電機(jī)。雙軸模塊式驅(qū)動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點(diǎn)位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點(diǎn)增益切換小體積可直接安裝于機(jī)械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持廣州進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)
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