基因決定”——生長方法導(dǎo)致若要回答這個問題,，首先要說一個大約有100余年歷史的原因。,。,。1918年，前蘇聯(lián)科學(xué)家切克勞斯基（Czochralski）建立起來一種晶體生長方法——直拉式晶體生長方法,，簡稱CZ法,。硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長,、晶圓成型,。首先是硅砂的提純及熔煉。這個階段主要是通過溶解,、提純,、蒸餾等一系列措施得到多晶硅。接下來是單晶硅生長工藝,。就是從硅熔體中生長出單晶硅,。高純度的多晶硅放在石英坩堝中，在保護性氣氛中高溫加熱使其熔化,。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉(zhuǎn)著的熔體中緩慢上升,，即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠。***一步是晶圓成型,。單晶硅錠一般呈圓柱型,，直徑從3英寸到十幾英寸不等。硅錠經(jīng)過切片,、拋光之后,，就得到了單晶硅圓片，也即晶圓,。 越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機器人代替人工作業(yè),。正規(guī)晶圓運送機械吸臂市場報價

 晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,，晶圓的搬運技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素,。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性,。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機械手：大氣機械手（FI robot) 和真空機械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對準設(shè)備上,，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求,，控制精度要求相對較低。后者將晶圓從預(yù)對準設(shè)備上取下，搬運到各個工位進行刻蝕等工藝流程加工,，并將加工完的晶圓搬運到接口位置,，等待大氣機械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進行,，機械手必須要完全滿足真空潔凈度要求,，控制精度和可靠性要求極高。東莞進口晶圓運送機械吸臂新報價真空腔體開口于所述鋁合金平板上表面.

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題,，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手,，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂,、二級伸展臂和手指固定座,，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié),，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié),，所述的伸展電機、所述的一級關(guān)節(jié),、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動,，所述的手指固定座始終保持直線運動。

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列,。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運,。

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式,，邊緣夾持式,，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 對了懸臂式的機械手,，還要考慮零件在手臂上布置,。

工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的，可重復(fù)編程,、多用途,，并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式,。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”,。操作機又定義為“是一種機器，其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。它通常有幾個自由度,，用以抓取或移動物體（工具或工件）?！彼詫I(yè)機械臂可能理解為：擬人手臂,、手腕和手功能 的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動,，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。 手臂上的零部件，如油缸,、導(dǎo)向桿,、控制件等都安裝在手臂上。汕尾進口晶圓運送機械吸臂維修

柔性機械臂不只是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),，也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合的非線性系統(tǒng),。正規(guī)晶圓運送機械吸臂市場報價

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低,。

為了解決上述問題,，本實用新型的一個實施例提供了一種機械手臂，其包括：托板,；固定在所述托板上的絨毛墊,，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓,。

可選地,，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上,，所述絨毛固定在所述托墊上,。

可選地,，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。

可選地，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛,。

可選地,，所述機械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地,，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上,，各個所述絨毛墊之間間隔排布,。 正規(guī)晶圓運送機械吸臂市場報價

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