可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列,。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部，檢測設備等的晶圓搬運,。

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應設備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速,，高精度地搬運半導體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式,，邊緣夾持式,，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 觸手內(nèi)部分為許多小格子,，通過壓縮空氣流動來做出各種動作,，可以毫無傷害的握起螞蟻的腰部。韶關本地晶圓運送機械吸臂代理

與傳統(tǒng)的SCARA型搬運機械手相比,，蛙腿型機械手的傳動機構(gòu)更簡單,，剛性更高，且工作效率更高,。如上圖所示,，蛙腿型機械手手臂為對稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對大臂和2對小臂,。2個直驅(qū)電機分別通過2個同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂,，大臂末端通過4個旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對小臂，2對小臂的末端又通過2個旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤,。 該機械手雖然只有3個電機,，但水平連桿卻有10個旋轉(zhuǎn)關節(jié)，因此對整個真空機械手建立旋轉(zhuǎn)關節(jié)坐標與末端晶圓托盤坐標之間的函數(shù)關系是一個復雜的過程珠海庫存晶圓運送機械吸臂企業(yè)關節(jié)式機械手因其結(jié)構(gòu)復雜,。

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機械臂的構(gòu)造模塊,。TO-DOM由兩個旋轉(zhuǎn)模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成。根據(jù)空間機械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機械接口進行專門設計,即可配置成確定構(gòu)型的二自由度關節(jié),。由這樣數(shù)個不同構(gòu)型的二自由度關節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個自由度的空間機器臂,。采用一體化概念設計的TODOM減小了關節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性。通過對由TODOM構(gòu)成的一套二自由度關節(jié)進行的試驗初步驗證了TODOM設計概念的合理性及可行性,。

使用匯編語言編寫計算機程序,，程序員仍然需要十分熟悉計算機系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)，所以從程序設計本身上來看仍然是低效率的,、煩瑣的,。但正是由于匯編語言與計算機硬件系統(tǒng)關系密切，在某些特定的場合,，如對時空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實時控制程序等,，迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設計工具。工業(yè)機械臂目前還沒有統(tǒng)一的分類標準,。根據(jù)不同的要求可進行不同的分類,。一、按驅(qū)動方式分1．液壓式 液壓驅(qū)動機械臂通常由液動機（各種油缸、油馬達）,、伺服閥,、油泵、油箱等組成驅(qū)動系統(tǒng),，由驅(qū)動機械臂的執(zhí)行機構(gòu)進行工作,。通常它具有很大的抓舉能力（高達幾百公斤以上），其特點是結(jié)構(gòu)緊湊,，動 作平穩(wěn),，耐沖擊，耐振動,，防爆性好,，但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能，否則漏油將污染環(huán)境,。2．氣動式 其驅(qū)動系統(tǒng)通常由氣缸,、氣閥、氣罐和空壓機組成,，其特點是氣源方便,，動作迅速、結(jié)構(gòu)簡單,、造價較低,、維修方便。但難以進行速度控制,，氣壓不可太高,，故抓舉能力較低。精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點進行作業(yè),。

    基因決定”——生長方法導致若要回答這個問題,，首先要說一個大約有100余年歷史的原因。,。,。1918年，前蘇聯(lián)科學家切克勞斯基（Czochralski）建立起來一種晶體生長方法——直拉式晶體生長方法,，簡稱CZ法,。硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長,、晶圓成型。首先是硅砂的提純及熔煉,。這個階段主要是通過溶解,、提純、蒸餾等一系列措施得到多晶硅,。接下來是單晶硅生長工藝,。就是從硅熔體中生長出單晶硅,。高純度的多晶硅放在石英坩堝中，在保護性氣氛中高溫加熱使其熔化,。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉(zhuǎn)著的熔體中緩慢上升,，即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠。***一步是晶圓成型,。單晶硅錠一般呈圓柱型,，直徑從3英寸到十幾英寸不等。硅錠經(jīng)過切片,、拋光之后,，就得到了單晶硅圓片，也即晶圓,。 此外,，對于熱加工的機械手，還要考慮熱輻射,，手臂要較長,，以遠離熱源，并須裝有冷卻裝置,。汕頭庫存晶圓運送機械吸臂批發(fā)

圖為單軸機械手臂,。單軸機械手臂的組件化**降低了工業(yè)設計的成本.韶關本地晶圓運送機械吸臂代理

可選地，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板,，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠離所述主板的一端,、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊。

可選地,，所述表面為平面,。

另外，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機械手臂,。

在本實用新型的技術(shù)方案中，機械手臂傳送晶圓時,，晶圓放置在托板的表面,，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上,，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述,，本實用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點將會變得清楚,。 韶關本地晶圓運送機械吸臂代理

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