半導(dǎo)體行業(yè),,尤其是集成電路領(lǐng)域,晶圓的身影隨處可見,。
晶圓就是一塊薄薄的,、圓形的高純硅晶片,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),,使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。
眼前這密密麻麻的元器件,被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上,,都是規(guī)規(guī)矩矩,、方方正正的??梢?,晶圓在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的。
所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的,?為什么是“晶圓”,,而不做成“晶方”?
要解釋這個問題,,有兩方面的原因:一方面似乎是由“基因決定的”,;另一方面是“環(huán)境造成的”。 臂應(yīng)承載能力大、剛性好,、自重輕.本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠商
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是:現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,,且傳送晶圓效率較低。
為了解決上述問題,,本實(shí)用新型的一個實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,,其包括:托板;固定在所述托板上的絨毛墊,,所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,,并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時利用范德華力吸附晶圓。
可選地,,所述絨毛墊包括托墊和絨毛,,所述托墊固定在所述托板上,所述絨毛固定在所述托墊上,。
可選地,,所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi),,并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。
可選地,所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛,。
可選地,,所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。
可選地,,所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。
可選地,所述絨毛墊的數(shù)量為三個以上,,各個所述絨毛墊之間間隔排布,。 珠海直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂怎么聯(lián)系根據(jù)機(jī)械手運(yùn)動和工作的要求,如管路,、冷卻裝置,、行程定位裝置和自動檢測裝置等.
整個蛙腿型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手共由3個電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動控制。2臺直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制,,1臺直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個機(jī)械手的上升與下降控制,。雖然軸數(shù)較少,但對控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高,。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求,,Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動器,。Dual axis module同時驅(qū)動2臺直驅(qū)電機(jī),Single axis module驅(qū)動1臺升降直流電機(jī)。雙軸模塊式驅(qū)動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點(diǎn)位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點(diǎn)增益切換小體積可直接安裝于機(jī)械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持
裝配機(jī)械人 ,;這燈機(jī)械臂要有較高的位姿精度,,手腕具有較大的柔性。目前大多用于機(jī)電產(chǎn)品的裝配作業(yè),。⒌專門用途的機(jī)械臂 如醫(yī)用護(hù)理機(jī)械臂、航天用機(jī)械臂,、探海用機(jī)械臂以及排險作業(yè)機(jī)械臂等,。三、按操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)形式和自由度數(shù)量分類機(jī)械臂操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)型式是機(jī)械臂重要的外形特征,,按這一類標(biāo)準(zhǔn),,機(jī)械臂可分為直角坐標(biāo)型,圓柱坐標(biāo)型,,球(極)坐標(biāo)型,、關(guān)節(jié)型機(jī)械臂(或擬人機(jī)械臂)。操作機(jī)本身的軸數(shù)(自由度數(shù))**能反應(yīng)機(jī)械臂的工作能力,,也是分類的重要依據(jù),。按這一分類要求,機(jī)械臂可分為4軸(自由度),、5軸(自由度),、6軸(自由度)、7軸(自由度)等機(jī)械臂,。還有其它多種分類方式,。基本介紹工業(yè)設(shè)計工業(yè)機(jī)械人通常由六項(xiàng)基本元素所組成,,包括:結(jié)構(gòu),臂端工具,,電腦數(shù)碼控制器,驅(qū)動器,,量度回輸系統(tǒng)和感應(yīng)器,。柔性機(jī)械臂是一個非常復(fù)雜的動力學(xué)系統(tǒng),其動力學(xué)方程具有非線性,、強(qiáng)耦合,、實(shí)變等特點(diǎn)。
與傳統(tǒng)的SCARA型搬運(yùn)機(jī)械手相比,,蛙腿型機(jī)械手的傳動機(jī)構(gòu)更簡單,,剛性更高,且工作效率更高,。如上圖所示,,蛙腿型機(jī)械手手臂為對稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu),包括1對大臂和2對小臂。2個直驅(qū)電機(jī)分別通過2個同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂,,大臂末端通過4個旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對小臂,,2對小臂的末端又通過2個旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤。 該機(jī)械手雖然只有3個電機(jī),,但水平連桿卻有10個旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié),,因此對整個真空機(jī)械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個復(fù)雜的過程柔性機(jī)械臂作為簡單的非平凡多柔體系統(tǒng),被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。深圳本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修電話
機(jī)械手臂應(yīng)用場景多在制造業(yè),。本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠商
為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸,有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞,,邊角碎掉什么的造成材料損耗,。而且,請仔細(xì)回想一下,,你看到的晶圓是完全的圓的嗎,?非也!在硅棒做出來后,,在200mm以下的硅棒上是切割一個平角,,叫Flat。在200mm(含)以上硅棒上,,為了減少浪費(fèi),,只裁剪個圓形小口,叫做Notch,。***再進(jìn)行切片,,得到的晶圓如下。那么,,這個小豁口是做什么用的呢,?很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定,,在加工的時候也不容易出錯了,。所以,為什么“晶圓”沒有方的,?,??答案很簡單,,是一個歷史遺留的問題,,也是一個技術(shù)限制的問題。而且,,真的沒有必要做出來正方的硅片呢~,。 本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠商
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