本發(fā)明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定,，維護方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求,，適用于各種半導體設備,。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手,，包括升降軸,、旋轉軸和伸展軸，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機,、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座,，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié),，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié),，所述的伸展電機,、所述的一級關節(jié)、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)依次傳動,，所述的手指固定座始終保持直線運動,。 注塑行業(yè)機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手,。進口晶圓運送機械吸臂新報價

研究背景近年來,，隨著機器人技術的發(fā)展，應用高速度,、高精度,、 高負載自重比的機器人結構受到工業(yè)和航空航天領域的關注。由于運動過程中關節(jié)和連桿的柔性效應的增加,，使結構發(fā)生變形從而使任務執(zhí)行的精度降低,。所以，機器人機械臂結構柔性特征必須予以考慮,，實現柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學特性,。柔性機械臂是一個非常復雜的動力學系統(tǒng)，其動力學方程具有非線性, 強耦合, 實變等特點,。而進行柔性臂動力學問題的研究,，其模型的建立是極其重要的,。柔性機械臂不僅是一個剛柔耦合的非線性系統(tǒng)，而且也是系統(tǒng)動力學特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統(tǒng),。動力學建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設計提供依據,。一般控制系統(tǒng)的描述( 包括時域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數描述) 與傳感器/ 執(zhí)行器的定位，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學特性密切相關,。佛山官方晶圓運送機械吸臂價格優(yōu)惠手臂的結構要緊湊小巧,，才能做手臂運動輕快、靈活,。

注塑行業(yè)機械臂常稱為注塑機機械手,、塑料機機械手，它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動剪水口,、模內鑲件,、模內貼標、模外組裝,、整形,、分類、堆疊,、產品包裝,、模具優(yōu)化等等。且可以對其進行自動控制使其按照預定要求輸送制品或操持工具進行生產操作的自動化生產設備,。注塑行業(yè)機械臂是為注塑生產自動化專門配備的機械，它可以在減輕繁重的體力勞動,、改善勞動條件和安全生產;提高注塑成型機的生產效率,、穩(wěn)定產品質量、降低廢品率,、降低生產成本,、增強企業(yè)的競爭力等方面起到及其重要的作用。

輸送半導體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度,。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構成,。在本說明書中，將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿,。典型地,，上臂連桿的一端連結于電機的輸出軸，上臂連桿的另一端連結于前臂連桿的一端,。而且,，前臂連桿的另一端連結于手部。上臂連桿和前臂連桿經由關節(jié)而連結,。前臂連桿和手部也經由關節(jié)而連結,。在各個關節(jié)處安裝有軸承,，以便使連桿順暢地旋轉。在輸送半導體晶圓的機械手中,，為了不污染傳送室內而屏蔽（shield）安裝于關節(jié)的軸承,。直角坐標系機械手臂，球坐標系機械手臂,，極坐標機械手臂.

可選地,，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板,，在所述主板的同一側與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端,、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊,。

可選地，所述表面為平面,。

另外,，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機械手臂,。

在本實用新型的技術方案中,，機械手臂傳送晶圓時，晶圓放置在托板的表面,，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上,，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產效率,。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述,，本實用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點將會變得清楚,。 機械手要獲得較高的位置精度,，除采用先進的控制方法外，在結構上還注意以下幾個問題,；深圳原裝晶圓運送機械吸臂生產廠家

該機械臂由用戶的頭腦完全控制,，靈巧到足以拿起一個玻璃杯，在沒有其他人幫助的情況下喝掉一杯飲料,。進口晶圓運送機械吸臂新報價

工業(yè)機械臂不應該稱之為智能制造的未來,，智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業(yè)機械臂這一種工業(yè)產品能夠一言以蔽之的。高精度,、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎,？答案肯定是否定的,。智能制造的目的在于高度自適應、多傳感信息融合等,，將現有的制造水平提升到更高的層次,，工業(yè)機械臂只是時下研究的熱點，工業(yè)機械臂在未來智能場景中的角色目前還未能給出定論,。簡單的搬運與碼垛,，根本無法稱之為智能制造。工業(yè)機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走,，而且這條路是否能走得通,，還是一個問號呢，目前各國的研究人員都比較看好這個方向,，普遍認為機械臂是實現智能制造的很好的載體,，可以實現五軸數控無法實現的大操作空間與靈活性。 進口晶圓運送機械吸臂新報價

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