可選地，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板,，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端,、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。

可選地,，所述表面為平面,。

另外，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂,。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí),，晶圓放置在托板的表面,，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上,，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。

通過以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述,，本實(shí)用新型的其它特征、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚,。 機(jī)械手臂是機(jī)械人技術(shù)領(lǐng)域中得到*****實(shí)際應(yīng)用的自動(dòng)化機(jī)械裝置.廣州直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

割拋光：

單晶棒將按適當(dāng)?shù)某叽邕M(jìn)行切割,，然后進(jìn)行研磨，將凹凸的切痕磨掉,，再用化學(xué)機(jī)械拋光工藝使其至少一面光滑如鏡,，晶圓片制造就完成了。

二,，晶圓制造步驟

晶圓鍍膜：

通過物理或其他方式（如高溫等）使晶圓上產(chǎn)生一層二氧化硅,。二氧化硅為絕緣材料，但有雜質(zhì)和特殊處理的二氧化硅有一定的導(dǎo)電性,。二氧化硅在這里的作用是為了傳導(dǎo)光,。像是用二氧化硅做光導(dǎo)纖維是同一個(gè)道理。完成這步后就為后面光刻做好了準(zhǔn)備,。

光刻膠涂抹：

顧名思義,，就是在晶圓表面覆蓋上一層光刻膠，而對(duì)其技術(shù)要求是要做到平整和薄,。 庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家機(jī)械手臂的應(yīng)用場(chǎng)景有哪些呢,？

電動(dòng)式 電力驅(qū)動(dòng)是目前機(jī)械臂使用得**多的一種驅(qū)動(dòng)方式。其特點(diǎn)是電源方便,，響應(yīng)快，驅(qū)動(dòng)力較大（關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤）,，信號(hào)檢測(cè),、傳遞、處理方便,，并可以采用多種靈活的控制方案,。驅(qū)動(dòng)電機(jī)一般采用步進(jìn)電機(jī)，直流伺服電機(jī)以及交流伺服電機(jī)（其中交流伺服電機(jī)為目前主要的驅(qū)動(dòng)形式）,。由于電機(jī)速度高,，通常采用減速機(jī)構(gòu)（如諧波傳動(dòng)、RV擺線針輪傳動(dòng),、齒輪傳動(dòng),、螺旋行動(dòng)和多桿式機(jī)構(gòu)等）,。目前，有些機(jī)械臂已開始采用無減速機(jī)構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩,、低轉(zhuǎn)速的電機(jī)進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)（DD）,，這既可以使機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)化，又可提高控制精度,。二,、按用途分⒈搬運(yùn)機(jī)械臂 這種機(jī)械臂用途很廣，一般只需點(diǎn)位控制,。即被搬運(yùn)零件無嚴(yán)格的運(yùn)動(dòng)軌跡要求,，只要求始點(diǎn)和終點(diǎn)位姿準(zhǔn)確。如機(jī)床上用的上下料器人,，工件堆垛機(jī)械臂,，注塑機(jī)配套用的機(jī)械等。

多功能一體化機(jī)械臂,，包括機(jī)械臂主體,，所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,，該種多功能一體化機(jī)械臂,，改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低,、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),，本機(jī)械臂*由底座、前臂和后臂構(gòu)成的,，實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn),，且在生產(chǎn)過程中由于體積較小，廠家生產(chǎn)成本費(fèi)較低,，同時(shí)工人在使用時(shí),，移動(dòng)較為方便，設(shè)有的安全離合器,、液壓器和液壓室,，實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn)，在使用過程中完全依靠程序芯片控制,，液壓器液壓精細(xì)不會(huì)科學(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機(jī)器手臂,，可以抓起螞蟻而不是捏死。

    為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸,，有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞,，邊角碎掉什么的造成材料損耗。而且,，請(qǐng)仔細(xì)回想一下,，你看到的晶圓是完全的圓的嗎,？非也！在硅棒做出來后,，在200mm以下的硅棒上是切割一個(gè)平角,，叫Flat。在200mm（含）以上硅棒上,，為了減少浪費(fèi),，只裁剪個(gè)圓形小口，叫做Notch,。***再進(jìn)行切片,，得到的晶圓如下。那么,，這個(gè)小豁口是做什么用的呢,？很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定,，在加工的時(shí)候也不容易出錯(cuò)了,。所以，為什么“晶圓”沒有方的,？,？？答案很簡(jiǎn)單,，是一個(gè)歷史遺留的問題,，也是一個(gè)技術(shù)限制的問題。而且,，真的沒有必要做出來正方的硅片呢～,。 手臂上的零部件，如油缸,、導(dǎo)向桿,、控制件等都安裝在手臂上。庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理廠家

手臂的運(yùn)動(dòng)速度要適當(dāng),，慣性要小.廣州直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送,，在傳送的過程中,，傳送精度越高,，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快,，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大,。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度,、柔性化程度要求也越來越高,，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手,。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

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