9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制,。是一種語(yǔ)言控制器,可反映人在進(jìn)行控制活動(dòng)時(shí)的思維特點(diǎn),。其主要特點(diǎn)之一是控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)并不需要通常意義上的被控對(duì)象的數(shù)學(xué)模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗(yàn)知識(shí),操作數(shù)據(jù)等。[3]研究意義與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位.隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng).,。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法己不能滿足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求.柔性機(jī)械臂作為**簡(jiǎn)單的非平凡多柔體系統(tǒng),被***地用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。 手臂的運(yùn)動(dòng)速度要適當(dāng)，慣性要小.汕尾本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

使用匯編語(yǔ)言編寫(xiě)計(jì)算機(jī)程序,，程序員仍然需要十分熟悉計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu),，所以從程序設(shè)計(jì)本身上來(lái)看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語(yǔ)言與計(jì)算機(jī)硬件系統(tǒng)關(guān)系密切,，在某些特定的場(chǎng)合,，如對(duì)時(shí)空效率要求很高的系統(tǒng)**程序以及實(shí)時(shí)控制程序等，迄今為止匯編語(yǔ)言仍然是十分有效的程序設(shè)計(jì)工具,。工業(yè)機(jī)械臂目前還沒(méi)有統(tǒng)一的分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn),。根據(jù)不同的要求可進(jìn)行不同的分類(lèi)。一,、按驅(qū)動(dòng)方式分1．液壓式 液壓驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂通常由液動(dòng)機(jī)（各種油缸,、油馬達(dá)）、伺服閥,、油泵,、油箱等組成驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，由驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作,。通常它具有很大的抓舉能力（高達(dá)幾百公斤以上）,，其特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊，動(dòng) 作平穩(wěn),，耐沖擊,，耐振動(dòng)，防爆性好,，但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能,，否則漏油將污染環(huán)境。2．氣動(dòng)式 其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)通常由氣缸,、氣閥,、氣罐和空壓機(jī)組成，其特點(diǎn)是氣源方便,，動(dòng)作迅速,、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)較低,、維修方便,。但難以進(jìn)行速度控制，氣壓不可太高,，故抓舉能力較低,。汕尾官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價(jià)工業(yè)機(jī)械臂距離高精度的智能制造還有很長(zhǎng)一段路要走。

 晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件,，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,，晶圓的搬運(yùn)技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運(yùn)機(jī)械手是IC裝備的**之一,，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量,，體現(xiàn)著整個(gè)加工系統(tǒng)的自動(dòng)化程度和可靠性,。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類(lèi)晶圓搬運(yùn)機(jī)械手：大氣機(jī)械手（FI robot) 和真空機(jī)械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備上,，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求,，控制精度要求相對(duì)較低。后者將晶圓從預(yù)對(duì)準(zhǔn)設(shè)備上取下,，搬運(yùn)到各個(gè)工位進(jìn)行刻蝕等工藝流程加工,，并將加工完的晶圓搬運(yùn)到接口位置，等待大氣機(jī)械手放回晶圓盒,。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進(jìn)行,，機(jī)械手必須要完全滿足真空潔凈度要求，控制精度和可靠性要求極高,。

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級(jí)伸展臂,、二級(jí)伸展臂和手指固定座,，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī),、所述的一級(jí)關(guān)節(jié),、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng),。

有X移動(dòng),，Y移動(dòng),，Z移動(dòng)，X轉(zhuǎn)動(dòng),，Y轉(zhuǎn)動(dòng),，Z轉(zhuǎn)動(dòng)六個(gè)自由度組成。

中國(guó)擁有龐大的制造業(yè),，是世界弟一工業(yè)機(jī)器人市場(chǎng),，有著1000多家與工業(yè)機(jī)器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國(guó)在機(jī)械臂制造領(lǐng)域處于大而不強(qiáng)的狀態(tài),。擁有自主品牌的工業(yè)機(jī)械臂的數(shù)量和市場(chǎng)占有份額偏低?，F(xiàn)在國(guó)內(nèi)很多機(jī)器人企業(yè)有很多都不是在真心實(shí)意地在做技術(shù)，很多都是跟著國(guó)家提出的中國(guó)未來(lái)制造的政策與支持來(lái)進(jìn)行獲利的,。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴(lài)于進(jìn)口,。所以，中國(guó)的機(jī)械臂在技術(shù)方面遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國(guó)外,，占有的只是低端市場(chǎng)的份額,。不過(guò)，在非民用機(jī)器人與航天機(jī)械臂領(lǐng)域,，中國(guó)的技術(shù)也不遜色于美國(guó),。所以說(shuō)只要經(jīng)過(guò)技術(shù)的積累，中國(guó)的機(jī)械臂技術(shù)也會(huì)不比國(guó)外的差多少,。 為此,，手臂一般都采用剛性較好的導(dǎo)向桿來(lái)加大手臂的剛度.汕尾本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

科學(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機(jī)器手臂，可以抓起螞蟻而不是捏死,。汕尾本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

研究背景近年來(lái),，隨著機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展，應(yīng)用高速度,、高精度,、 高負(fù)載自重比的機(jī)器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。由于運(yùn)動(dòng)過(guò)程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加,，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低,。所以，機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,，實(shí)現(xiàn)柔性機(jī)械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性,。柔性機(jī)械臂是一個(gè)非常復(fù)雜的動(dòng)力學(xué)系統(tǒng)，其動(dòng)力學(xué)方程具有非線性, 強(qiáng)耦合, 實(shí)變等特點(diǎn),。而進(jìn)行柔性臂動(dòng)力學(xué)問(wèn)題的研究,，其模型的建立是極其重要的。柔性機(jī)械臂不僅是一個(gè)剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),，而且也是系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機(jī)電耦合的非線性系統(tǒng),。動(dòng)力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計(jì)提供依據(jù),。一般控制系統(tǒng)的描述( 包括時(shí)域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述) 與傳感器/ 執(zhí)行器的定位，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機(jī)械臂的動(dòng)力學(xué)特性密切相關(guān),。汕尾本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息

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