控制策略對柔性機械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理。完全忽略結(jié)構(gòu)的彈性變形對結(jié)構(gòu)剛體運動的影響。例如為了避免過大的彈性變形破壞柔性機械臂的穩(wěn)定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運動的比較大角速度為,。2)前饋補償法,。將機械臂柔性變形形成的機械振動看成是對剛性運動的確定性干擾而采用前饋補償?shù)霓k法來抵消這種干擾。德國的BerndGebler研究了具有彈性桿和彈性關(guān)節(jié)的工業(yè)機器人的前饋控制,。張鐵民研究了基于利用增加零點來消除系統(tǒng)的主導(dǎo)極點和系統(tǒng)不穩(wěn)定的方法設(shè)計了具有時間延時的前饋控制器和PID控制器比較起來可以更加明顯的消除系統(tǒng)的殘余振動,。SeeringWarrenP。等學(xué)者對前饋補償技術(shù)進行了深入的研究,。 柔性機械臂不只是一個剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),，也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合的非線性系統(tǒng)。珠海庫存晶圓運送機械吸臂價位

    9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制,。是一種語言控制器,可反映人在進行控制活動時的思維特點,。其主要特點之一是控制系統(tǒng)設(shè)計并不需要通常意義上的被控對象的數(shù)學(xué)模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗知識,操作數(shù)據(jù)等。[3]研究意義與剛性機械臂相比較,柔性機械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,有著很多潛在的優(yōu)點,在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位.隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng).,。傳統(tǒng)的多剛體動力學(xué)的分析方法及控制方法己不能滿足多柔體系統(tǒng)的動力分析及控制的要求.柔性機械臂作為**簡單的非平凡多柔體系統(tǒng),被***地用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。 佛山庫存晶圓運送機械吸臂銷售詞在工業(yè)制造、醫(yī)學(xué)***,、娛樂服務(wù),、***、半導(dǎo)體制造以及太空探索等領(lǐng)域都能見到它的身影,。

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,，**化，并經(jīng)蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅,，其純度高達99.9%。

    環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)展導(dǎo)致其實,，除了晶圓的生長方法決定的“晶圓”是圓形的這個原因之外,，還有以下3條其他的決定因素：2??有人計算過，比較直徑為L毫米的圓和邊長為L毫米的正方形,，考慮晶圓制造過程中邊緣5到8毫米是不可利用的,，算算就知道正方形浪費的使用面積比率是比圓型高的。所以,，圓形是等周長時表面積做大的二維圖形,，加工時能夠充分利用原料，在一片晶圓上能分出**多的芯片,。3??在實際的加工制成當(dāng)中,，圓形的物體比較便于生產(chǎn)操作。圓型具有任意軸對稱性,這是晶圓制作工藝必然的要求,，可以想象一下,，在圓型晶圓表面可以通過旋轉(zhuǎn)涂布法(spincoating，事實上是目前均勻涂布光刻膠的***方法)獲得很均勻一致的光刻膠涂層,，但其它形狀的晶圓呢,？不可能或非常難，可以的話也是成本很高,。 手端的定位由各部關(guān)節(jié)相互轉(zhuǎn)角來確定,，其誤差是積累誤差，因而精度較差,，其位置精度也更難保證,。

工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的，可重復(fù)編程,、多用途,，并可以對3個以上軸進行編程,。它可以是固定式或者移動式,。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”。操作機又定義為“是一種機器,，其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。它通常有幾個自由度,，用以抓取或移動物體（工具或工件）?！彼詫I(yè)機械臂可能理解為：擬人手臂,、手腕和手功能 的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動,，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。 操作機又定義為“是一種機器，其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。珠海本地晶圓運送機械吸臂銷售價格

隨著機器人技術(shù)的發(fā)展,，應(yīng)用高速度、高精度,、高負載自重比的機器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注,。珠海庫存晶圓運送機械吸臂價位

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手,。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中,，傳送精度越高,，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快,，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大,。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜,，對設(shè)備自動化程度,、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機械手,。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

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