沖床行業(yè)機(jī)械臂又名沖床行業(yè)機(jī)械手,、沖床沖壓機(jī)械手,，它是用于沖床行業(yè)專門用的機(jī)械臂,，沖床沖壓機(jī)械手能按照預(yù)選程序自動(dòng)完成幾個(gè)規(guī)定的動(dòng)作,，實(shí)現(xiàn)物體的自動(dòng)夾取和運(yùn)送。在沖壓生產(chǎn)中,，它不僅用于一臺(tái)壓力機(jī)上完成上下料工作,，實(shí)現(xiàn)單機(jī)自動(dòng)化，也可以用在由若干臺(tái)壓力機(jī)組成的流水生產(chǎn)線上,，實(shí)現(xiàn)各壓力機(jī)之間工件的自動(dòng)傳遞,，形成自動(dòng)沖壓生產(chǎn)線。由于機(jī)械手能方便地改變工作程序,，因而在經(jīng)常變換產(chǎn)品品種的中小件沖壓生產(chǎn)中,，對(duì)于實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動(dòng)化更具有重要意義。沖床沖壓機(jī)械手由執(zhí)行機(jī)構(gòu),、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)等組成,。 科學(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機(jī)器手臂,，可以抓起螞蟻而不是捏死。汕尾直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手,。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送,，在傳送的過程中,，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好,，速度越快,，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜,，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度,、柔性化程度要求也越來越高,，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手,。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

汕尾庫存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司圖為單軸機(jī)械手臂,。單軸機(jī)械手臂的組件化**降低了工業(yè)設(shè)計(jì)的成本.

工業(yè)機(jī)械臂是擬人手臂,、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置。擬人手臂,、手腕和手功能的機(jī)械電子裝置,；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng)，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。如夾持焊鉗或焊***,，對(duì)汽車或摩托車車體進(jìn)行了點(diǎn)焊或弧焊；搬運(yùn)壓鑄或沖壓成型的零件或構(gòu)件,；進(jìn)行激光切割,；噴涂,；裝配機(jī)械零部件等等。機(jī)械臂是“ROBOT”一詞的中文譯名,。由于影視宣傳和科幻小說的影響,，人們往往把機(jī)械臂想像成外貌似人的機(jī)械和電子裝置。但事實(shí)并不是這樣,，特別是工業(yè)機(jī)械臂,，與人的外貌往往毫無相似之處。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn),，工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的,，可重復(fù)編程、多用途,，并可以對(duì)3個(gè)以上軸進(jìn)行編程,。它可以是固定式或者移動(dòng)式。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”,。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器,，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷,，且傳送晶圓效率較低,。

為了解決上述問題，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂,，其包括：托板,；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面,，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓,。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛,，所述托墊固定在所述托板上,，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地,，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔,，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上,。

可選地,，所述絨毛為硅樹脂橡膠絨毛或聚酯樹膠絨毛。

可選地,，所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上,。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形,。

可選地,，所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上,，各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布。 機(jī)械手臂是機(jī)械人技術(shù)領(lǐng)域中得到*****實(shí)際應(yīng)用的自動(dòng)化機(jī)械裝置.

中國擁有龐大的制造業(yè),，是世界弟一工業(yè)機(jī)器人市場(chǎng),，有著1000多家與工業(yè)機(jī)器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國在機(jī)械臂制造領(lǐng)域處于大而不強(qiáng)的狀態(tài),。擁有自主品牌的工業(yè)機(jī)械臂的數(shù)量和市場(chǎng)占有份額偏低?，F(xiàn)在國內(nèi)很多機(jī)器人企業(yè)有很多都不是在真心實(shí)意地在做技術(shù)，很多都是跟著國家提出的中國未來制造的政策與支持來進(jìn)行獲利的,。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴于進(jìn)口,。所以，中國的機(jī)械臂在技術(shù)方面遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國外,，占有的只是低端市場(chǎng)的份額,。不過，在非民用機(jī)器人與航天機(jī)械臂領(lǐng)域,，中國的技術(shù)也不遜色于美國,。所以說只要經(jīng)過技術(shù)的積累，中國的機(jī)械臂技術(shù)也會(huì)不比國外的差多少,。 機(jī)械手臂根據(jù)結(jié)構(gòu)形式的不同分為多關(guān)節(jié)機(jī)械手臂.廣東新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂上門服務(wù)

合理選擇機(jī)械手的坐標(biāo)形式,。直角坐標(biāo)式機(jī)械手的位置精度較高,，其結(jié)構(gòu)和運(yùn)動(dòng)都比較簡單,、誤差也小。汕尾直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列,。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn),。

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長）

或者3個(gè)FOUP（280mm臂長）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式,，下托式,，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金,，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 汕尾直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理

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