可選地,，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端,、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。

可選地,，所述表面為平面,。

另外，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂,。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中，機(jī)械手臂傳送晶圓時,，晶圓放置在托板的表面,，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上,，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。

通過以下參照附圖對本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會變得清楚,。 手臂一般有3個運(yùn)動：伸縮、旋轉(zhuǎn)和升降.韶關(guān)進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂參考價

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形,，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,，**化,，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅,，其純度高達(dá)99.9%,。

晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅,，因此對應(yīng)的就是硅晶圓,。 韶關(guān)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂市場報(bào)價機(jī)械手臂的應(yīng)用場景有哪些呢？

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓,；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅,，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化,，并經(jīng)蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.9%,。

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機(jī)械臂的構(gòu)造模塊,。TO-DOM由兩個旋轉(zhuǎn)模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成。根據(jù)空間機(jī)械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機(jī)械接口進(jìn)行專門設(shè)計(jì),即可配置成確定構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié),。由這樣數(shù)個不同構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個自由度的空間機(jī)器臂,。采用一體化概念設(shè)計(jì)的TODOM減小了關(guān)節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性。通過對由TODOM構(gòu)成的一套二自由度關(guān)節(jié)進(jìn)行的試驗(yàn)初步驗(yàn)證了TODOM設(shè)計(jì)概念的合理性及可行性。如剛性差則會引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側(cè)向扭轉(zhuǎn)變形.

輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手通常具有兩個以上的自由度,。這種機(jī)械手典型地由兩個連桿和手部構(gòu)成,。在本說明書中，將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿,。典型地,，上臂連桿的一端連結(jié)于電機(jī)的輸出軸，上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端,。而且,，前臂連桿的另一端連結(jié)于手部。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié),。前臂連桿和手部也經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié),。在各個關(guān)節(jié)處安裝有軸承，以便使連桿順暢地旋轉(zhuǎn),。在輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手中,，為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽（shield）安裝于關(guān)節(jié)的軸承。柔性機(jī)械臂作為簡單的非平凡多柔體系統(tǒng),，被用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。汕尾正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)

手臂的結(jié)構(gòu)要緊湊小巧，才能做手臂運(yùn)動輕快,、靈活,。韶關(guān)進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂參考價

車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動上下料機(jī)械手、上下料機(jī)械手,，車床自動上下料機(jī)械手主要實(shí)現(xiàn)機(jī)床制造過程的完全自動化,，并采用了集成加工技術(shù)，適用于生產(chǎn)線的上下料,、工件翻轉(zhuǎn),、工件轉(zhuǎn)序等。在國內(nèi)的機(jī)械加工,， 很多都是使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料的方式,， 這在產(chǎn)品比較單一、產(chǎn)能不高的情況下是非常適合的,， 但是隨著社會的進(jìn)步和發(fā)展,， 科技的日益進(jìn)步， 產(chǎn)品更新?lián)Q代加快,， 使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料就暴露出了很多的不足和弱點(diǎn),， 一方面專機(jī)占地面積大結(jié)構(gòu)復(fù)雜、維修不便,， 不利于自動化流水線的生產(chǎn),；另一方面,， 它的柔性不夠， 難以適應(yīng)日益加快的變化,，不利于產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整,；其次， 使用人工會造成勞動強(qiáng)度的增加,， 容易產(chǎn)生工傷事故,， 效率也比較低下， 且使用人工上下料的產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性不夠,， 不能滿足大批量生產(chǎn)的需求,。 韶關(guān)進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂參考價

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