可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列,。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能,。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn),。

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP（210mm臂長(zhǎng)）

或者3個(gè)FOUP（280mm臂長(zhǎng)）雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,，或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過(guò)S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式,，下托式,，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金,，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 實(shí)現(xiàn)柔性機(jī)械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性,。中山新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

整個(gè)蛙腿型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手共由3個(gè)電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)控制。2臺(tái)直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤(pán)連桿的同步控制,，1臺(tái)直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個(gè)機(jī)械手的上升與下降控制,。雖然軸數(shù)較少，但對(duì)控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高,。整個(gè)控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT。 針對(duì)客戶的需求,，Copley給出了性價(jià)比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動(dòng)器。Dual axis module同時(shí)驅(qū)動(dòng)2臺(tái)直驅(qū)電機(jī),，Single axis module驅(qū)動(dòng)1臺(tái)升降直流電機(jī),。雙軸模塊式驅(qū)動(dòng)器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時(shí)間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點(diǎn)位置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點(diǎn)增益切換小體積可直接安裝于機(jī)械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持庫(kù)存晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)銷批發(fā)手臂伸縮機(jī)構(gòu)是機(jī)械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測(cè)器作用基本等同于升降位置檢測(cè)器。

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī),、一級(jí)伸展臂,、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié),，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī),、所述的一級(jí)關(guān)節(jié),、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線運(yùn)動(dòng),。

    確定性主要分為兩種主要類型:結(jié)構(gòu)(structured)不確定性和非結(jié)構(gòu)(unstructured)不確定性,非結(jié)構(gòu)不確定性主要是由于測(cè)量噪聲,、外界干擾及計(jì)算中的采樣時(shí)滯和舍入誤差等非被控對(duì)象自身因素所引起的不確定性。結(jié)構(gòu)不確定性和建模模型本身有關(guān),可分為系統(tǒng)模型①參數(shù)不確定性如負(fù)載質(zhì)量,、連桿質(zhì)量,、長(zhǎng)度及連桿質(zhì)心等參數(shù)未知或部分已知。②未建模動(dòng)態(tài)高頻未建模動(dòng)態(tài),如執(zhí)行器動(dòng)態(tài)或結(jié)構(gòu)振動(dòng)等;低頻未建模動(dòng)態(tài),如動(dòng)/靜摩擦力等,。模型不確定性給機(jī)械臂軌跡**的實(shí)現(xiàn)帶來(lái)影響,同時(shí)部分控制算法受限于一定的不確定性,。應(yīng)用于機(jī)械臂控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法主要包括PID控制、自適應(yīng)控制和魯棒控制等,然而由于它們自身所存在的缺點(diǎn),促使其與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò),、模糊控制等算法相結(jié)合,一些新的控制方法也在涌現(xiàn),很多算法是彼此結(jié)合在一起的,。 盡管它們的形態(tài)各有不同，但它們都有一個(gè)共同的特點(diǎn),，就是能夠接受指令.

電鍍：

到這一步,，晶圓基本上就完成了，現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,，銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極,。

拋光：

然后將Wafer進(jìn)行打磨，到這一步晶圓就真正的完成了,。

切割：

對(duì)晶圓進(jìn)行切割,，值得一提的是晶圓十分易碎，因此對(duì)切割的工藝要求也是非常高的,。

測(cè)試：

測(cè)試分為三大類：功能測(cè)試,、性能測(cè)試,、抗老化測(cè)試。大致測(cè)試模式如下:接觸測(cè)試,、功耗測(cè)試,、輸入漏電測(cè)試、輸出電平測(cè)試,、動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試,、模擬信號(hào)參數(shù)測(cè)試等等。全部測(cè)試都通過(guò)的,，就是正片,；部分測(cè)試未通過(guò)，但正常使用無(wú)礙,，這是白片,；未開(kāi)始測(cè)試，就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,，這是黑片,。

科學(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機(jī)器手臂，可以抓起螞蟻而不是捏死,。中山銷售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂推廣

手臂的剛性直接影響到手臂抓取工件時(shí)動(dòng)作的平穩(wěn)性,、運(yùn)動(dòng)的速度和定位精度。中山新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手,，其特征在于,，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái),；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺(tái)呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺(tái)所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段,；位于所述吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的偽絕緣凸臺(tái),，所述偽絕緣凸臺(tái)與手臂一體成型，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺(tái)內(nèi),；在垂直于所述手臂的方向上,，所述吸附絕緣凸臺(tái)比所述偽絕緣凸臺(tái)突出；所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度,。中山新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

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