場景是新技術(shù)應用中的重要一環(huán),，場景越多意味著應用的廣大性和未來的期望空間越大,，而如果一款技術(shù)誕生沒有實際的應用場景,，即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中,，這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。

機械手臂的應用場景有哪些呢,？它的應用特點十分明顯,，主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型、重復性高的動作,。如果工作場景符合上述兩個特點,，機械手臂都可以得到應用,。

機械手臂應用場景多在制造業(yè)，有重工業(yè)屬性,，如金屬加工,、拋光打磨、裝配,、機床上下料,、碼垛/搬運、橡膠/塑料,、分揀等。 機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,。廣東晶圓運送機械吸臂企業(yè)

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓,；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅,，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化,，并經(jīng)蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.9%,。

晶圓是制造半導體芯片的基本材料,，半導體集成電路**主要的原料是硅，因此對應的就是硅晶圓,。 珠海直銷晶圓運送機械吸臂上門服務柔性機械臂在工業(yè),、**等應用領(lǐng)域中占有十分重要的地位,。

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題,，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機,、一級伸展臂,、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié),，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié),，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機,、所述的一級關(guān)節(jié),、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動,。

工業(yè)機械臂不應該稱之為智能制造的未來,，智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業(yè)機械臂這一種工業(yè)產(chǎn)品能夠一言以蔽之的。高精度,、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎,？答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自適應,、多傳感信息融合等,，將現(xiàn)有的制造水平提升到更高的層次，工業(yè)機械臂只是時下研究的熱點,，工業(yè)機械臂在未來智能場景中的角色目前還未能給出定論,。簡單的搬運與碼垛，根本無法稱之為智能制造,。工業(yè)機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走,，而且這條路是否能走得通,，還是一個問號呢，目前各國的研究人員都比較看好這個方向,，普遍認為機械臂是實現(xiàn)智能制造的很好的載體,，可以實現(xiàn)五軸數(shù)控無法實現(xiàn)的大操作空間與靈活性。 主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型,、重復性高的動作,。

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形,，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,，**化，并經(jīng)蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅,，其純度高達99.9%。 此外,，對于熱加工的機械手,，還要考慮熱輻射，手臂要較長,，以遠離熱源,，并須裝有冷卻裝置。中山直銷晶圓運送機械吸臂怎么聯(lián)系

機械手臂是機械人技術(shù)領(lǐng)域中得到*****實際應用的自動化機械裝置.廣東晶圓運送機械吸臂企業(yè)

本發(fā)明涉及一種半導體制造技術(shù),，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手,。

背景技術(shù)：

在半導體加工設(shè)備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中,，傳送精度越高,，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快,，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大,。隨著半導體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復雜,，對設(shè)備自動化程度,、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機械手,。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復定位精度,。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導體設(shè)備,。

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